本発明の方法は、測定される部品を代表する原器を形成する工程と、この原器に関連付けられた基準座標で重要な点の座標の測定学の研究室における測定を行う工程と、工業的な環境で、原器に関連付けられた基準座標において、各重要な点の３つの座標を与えることができる測定設備で重要な点の座標の測定を行う工程と、各重要な点に対して測定学の研究室の条件で測定された座標と工業的な動作条件で測定された座標との間のずれを決定する工程と、このずれを各重要な点に対してメモリに記憶する工程と、工業的な動作環境の下で、上述の観測装備で部品の各重要な点の座標の測定を行う工程と、これら座標をメモリに記憶する工程と、修正された座標を得るようにずれの代数的な推測からなる各座標のデジタル処理のために相関計算機を使用する工程と、部品の寸法の欠陥を決定するために、修正された座標のデジタル処理を行う工程とを有する。
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本発明はＸ線源（１０）及びＸ線を検出する少なくとも１個のＸ線センサ（７）からなる第１の感知装置としてのＸ線感知装置及び測定物に対して座標測定装置のｘ、ｙ及びｚ方向に位置決めすることができる第２の感知装置、例えば触覚式及び／又は光学式感知装置（８、１１；９）を有する、測定物（３）の測定のための座標測定装置（１１０）に関する。大きなサイズの測定物も問題なく測定できるように、Ｘ線感知装置（７、１０）が第２の感知装置（８，１１；９）に対応して座標測定装置（１０）に位置決めされることを提案する。 （もっと読む）

本発明は、ワークピース（９）に対して不動に位置決めされている第一座標系を固定すること、 ワークピース（９）の第一座標を、第一座標測定装置（３）を使用することにより測定すること、 ワークピース（９）の第二座標を、第二座標測定装置（５）を使用することにより測定すること、そして 第一座標と第二座標から、共通の座標組を、ワークピース（９）に不動に位置決めされた座標系に対する第一座標系においてあるいは第二座標系において作ることを特徴とするワークピース（９）の座標を確定するための方法に関する。特に多数のワークピース（９）の座標はワークピース（９）の製造工程および／または加工工程の最中および／または後に確定することができる。さらに本発明はワークピース（９）が両座標測定装置（３，５）を用いた測定の間に位置および／または姿勢が変化する場合にも関する。
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本発明は、パターンを形成するマークを有する人工の板を使用して少なくとも２次元で計測ステージを較正する方法であって、人工の板を計測ステージの少なくとも３つの位置に置くステップと、計測ステージ及び人工の板の幾何学的特性並びに各測定の人工の板の位置を仮定するステップと、人工の板の測定値を予測するモデルを形成するステップと、計測ステージによってマークを測定するステップと、並びに計測ステージ及び人工の板に対する仮定を改善するために前記モデルを逆転するステップとを含む方法に関する。
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関節プローブヘッドを較正する方法であって、関節プローブヘッドに取り付けられたワークピース検出プローブによって、既知の寸法を有する疑似品を測定するステップを備え、前記関節プローブヘッドがアンロックされている方法。疑似品の測定された寸法と既知の寸法との差に応じて、誤差関数又はマップが発生される。アンロックされた関節プローブヘッドによって以降のワークピースが測定され、対応する修正が適用される。疑似品の真の寸法は、関節プローブヘッドに取り付けられたプローブによって疑似品を測定することにより決定されてもよく、この場合、関節プローブヘッドの軸はロックされる。機械式ロック手段が、関節プローブヘッドの軸をロックするために設けられる。

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ベース端及びプローブ端を有する内部ＣＭＭアームと、複数の伝達手段を介して内部ＣＭＭアームを駆動する外骨格とを備える、外骨格を有するＣＭＭアームの装置が提供される。１つ又は複数の接触プローブ、光学プローブ、及び工具が、プローブ端に取り付けられる。外骨格を有するＣＭＭアームは、手動操作可能な実施形態及び自動実施形態で提供される。外骨格を有するＣＭＭアームは、高精度測定のため、又は高精度動作を行うために動作可能である。外骨格を有するＣＭＭアームの動作の方法が提供される。

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