【課題】 （１）高精度に製作でき、（２）高精度に値付け測定ができ、（３）トレーサビリティの保証も容易に行える、はすば歯車歯筋測定に対する検査・校正に用いる検査・校正アーティファクト及び検査・校正法を提供する。
【解決手段】 アーティファクト１０は、第１の平面に含まれる第１の基準部１６と、第１の平面と非直角の所定の角度γをなす第２の平面に含まれる第２の基準部１２とを備える。第１の基準部１６の位置及び傾きが、歯車歯面形状測定機に設置される測定対象はすば歯車の歯筋測定が行われるときの歯筋測定歯面の位置及び傾きと略一致するように、かつ、第２の基準部１２が、測定対象はすば歯車の中心軸と略平行又は略垂直となるように、歯車歯面形状測定機に設置された状態で、第１の基準部１６を測定対象はすば歯車の歯筋測定歯面と見立てて、歯筋測定が行われる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の正確な３次元形状測定を行うために、精度のよい座標変換関数を計算することが可能な座標変換関数の補正方法を提供する。
【解決手段】カメラ座標系の各座標軸の向きと基準座標系の各座標軸の向きとを一致させた状態で、両座標系の２つの座標軸に対してそれぞれ平行に３次元形状測定装置３０を移動させ、各移動方向においてそれぞれ少なくとも２つの位置で基準球６０の３次元形状を測定する。そして、各移動方向ごとに座標変換関数によって座標変換された基準球６０の中心座標を定点として計算し、各移動方向ごとの各定点によって基準座標系に定義される直線の傾きを計算する。この各移動方向ごとに直線の傾きに応じて第１座標変換関数を座標回転関数Ｍ’を用いて補正した後、この補正された第１座標変換関数によって座標変換された定点を用いて第１座標変換関数の座標移動関数を補正する。 （もっと読む）

【課題】高抵抗率のウェーハをプレートに張付けた状態で高精度に測定できるウェーハ厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】本ウェーハ厚さ測定装置は、平板状のセンサー較正用マスターワーク及びウェーハ貼付け用プレートが載置されるインデックステーブルと、センサーヘッドを備えた厚み測定センサー及び基準ピンが設けられたセンサー部と、センサーヘッドの先端をマスターワークあるいはウェーハに当接させ、基準ピンの先端を前記マスターワークあるいはプレートに当接させるセンサー当接機構を有し、センサーヘッド及び基準ピンの先端をマスターワークに当てて厚み測定センサーの較正を行い、厚み測定センサーの先端をウェーハに当接させ、基準ピンの先端をプレートに当接させて、両先端の後退量により、ウェーハの厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】 大気中で安定的な表面を有し、保管方法が簡便で寿命の長いＡＦＭ標準試料を提供すること。
【解決手段】 被検体の垂直方向の測定値を１０^−１０〜１０^−８ｍの分解能で直接的に校正する為に用いられるＡＦＭ標準試料であって、
主面として（０００１）面、または（０００１）面から１０度以内のオフ角度を持った面を有する単結晶サファイヤ基板からなり、該凹部の内側の面にステップ構造を有することを特徴とするＡＦＭ標準試料及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 マスタを間違えた誤った校正処理を防止できる寸法測定システムの実現。
【解決手段】 寸法測定装置10と、所定の寸法値の部分を有する複数のマスタ50A,50Bとを備え、所定の寸法値の部分を測定して寸法測定装置を校正する寸法測定システムであって、各マスタは、寸法測定装置がマスタの所定の寸法値の部分を測定する状態にあることを検出する測定状態検出手段55と、寸法測定装置が所定の寸法値の部分を測定する状態にあることを検出したことを示す測定状態信号を送信する無線通信手段とを備え、寸法測定装置は、測定状態信号を受信する無線通信手段37を備え、無線通信手段が測定状態信号を受信している時に校正処理を行う。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダボアの真円度あるいは円筒度を測定する際、実際のエンジンの作動状態に近似させた状態で測定を行い、エンジンの作動状態における正確な真円度の測定データを得る。
【解決手段】測定するエンジンのシリンダブロック１とシリンダヘッド３とを締結ボルト４により組み付けて組立体９とする。これをシリンダブロック１が上側となるように設置し、両方のウォータジャケットに高温の流体を送り込む。この状態で測定装置２０を組立体９の上方からシリンダボア２に挿入して測定することにより、エンジンの作動時の状態を再現し、内部応力や熱膨張の影響を反映した真円度を測定することができる。測定装置２０には、位置決めのため、シリンダボア２と合致する第１基準部材２１と、シリンダブロック１の主軸受部７に合致する第２基準部材とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】 複数軸をもつ機械の軸間角度補正が高精度に且つ容易に行える方法の提供。
【解決手段】 機械16のテーブル12に置かれた一の基準球36上の指定移動軸方向位置での測定軸方向形状情報をテーブル12の直線移動により同一基準球36上の複数の異なる指定移動軸方向位置について取得する基準球測定工程(S10)と、該形状情報に基づき該基準球36の測定軸方向形状のピーク点での該センサー14よりの測定軸方向位置情報を各指定移動軸方向位置について求めるピーク検出工程(S12)と、該各ピーク点の位置情報に基づきテーブル12の実際の移動方向を表わす実直線情報を求める誤差情報取得工程(S14)と、該実直線情報に基づき補正用情報を求める補正用情報取得工程(S16)と、該補正用情報に基づき該センサー14よりの測定軸方向位置情報を補正する補正工程(S20)と、を備えたことを特徴とする軸間角度補正方法。 （もっと読む）

【課題】 煩雑な電源スイッチの操作を必要としない寸法測定装置の実現。
【解決手段】 寸法測定部33と、電源を供給するバッテリィ31とを有する寸法測定装置10と、寸法測定装置10がセットされるとバッテリィ31を充電する充電スタンド20とを備える寸法測定システムであって、寸法測定装置10は、充電スタンドにセットされた状態であるかを検出するセット状態検出回路34を備え、充電スタンドにセットされた状態である時には、バッテリィ31から寸法測定部33への電源の供給を自動的に停止し、充電スタンドにセットされていない状態である時には、バッテリィ31から寸法測定部33へ自動的に電源を供給する。 （もっと読む）

【課題】 容易に特異な構造を一意に決めることができ、かつ危険な化学薬品（酸やアルカリなど）などを用いないで校正試料を得ることができる校正試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 この出願の発明による校正試料の作製方法は、（１１０）面を鏡面研磨したＬａ₂ＣｕＯ₄単結晶を２３０から５００℃の温度でアニールした後、徐冷することにより、（１１０）面に断面が鋸歯状の凹凸を有する双晶構造の校正試料を作製することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 理論解析が困難な測定システムの不確かさをモンテカルロ法により推定すると共に、ユーザの負担を小さく抑え、かつ信頼性の高い不確かさ推定を行うことを可能にする。
【解決手段】 推定対象の測定機により得られた測定値を入力し、測定値の誤差を推定する（Ｓ１）。推定された測定値の誤差に基づいて測定値間の共分散行列又は相関行列を求め（Ｓ２）、共分散行列又は相関行列を固有値分解することにより固有値と固有ベクトルを求め（Ｓ３）、各固有ベクトルに対して、期待値が０で、且つ分散がその固有ベクトルに対応する固有値となるような正規乱数を結合係数として生成し、全固有ベクトルの線形結合をとることにより前記測定機の擬似測定値を生成する（Ｓ４）。得られた擬似測定値を統計処理することにより測定機の不確かさを推定する（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】 形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを検査・校正することができ、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することができ、値付けや検査・校正の際の設置状態の把握や測定に好適な形状を有する、形状測定機の検査・校正に用いるアーティファクトを提供する。
【解決手段】 要素アーティファクト１０は、互いに平行な一対の端面１２，１４と、一対の端面１２，１４の間に延在する外周面１６とを有する。外周面１６は、一対の端面に対して直角に延在する円筒面又は平面に含まれる基準部を含む。少なくとも一方の端面１２は、円弧状又は直線状に延在する１又は２以上の溝２２，２４，２６と、平面部分とを有する。溝２２，２４，２６は、溝幅が溝深さの２０倍以上である。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの操作性および耐久性を向上させることのできるスピンドルの制動装置および測定器を提供すること。
【解決手段】制動装置６００は、スピンドル３００が移動するシリンダ６１０と、このシリンダ６１０内を２つに区画するピストン６２０と、スピンドル３００とピストン６２０とを、軸方向および軸直交方向に対し一定のクリアランス６３３を介して連結する連動手段６６０と備え、連動手段６６０は、ピストン６２０に形成された中空室６２３と、スピンドル３００の他端に設けられ、他端側が中空室６２３内に係合収納される係合部６３０とを含み構成され、スピンドル３００が一端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の一端側内壁に当接し、かつ、他端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の他端側内壁に当接するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】微粒子サイズと同程度の大きさの平坦部（１μｍ以下）をもったダイヤモンド圧子を採用するとともにダイヤモンド基板を装着したステージを１μｍ以下の制御が可能であるクローズドループ制御により制御し、さらに、微粒子の粒径を原子間力顕微鏡で測定するようにしたことにより、１μｍ以下の大きさの微粒子の強度を正確に測定可能とする。
【解決手段】ダイヤモンド基板上に微粒子を分散させ、測定しようとする微粒子を一つ選び原子間力顕微鏡を用いて微粒子の粒径を測定し、次いで、ダイヤモンド基板をクローズドループ制御のステージにより測定しようとする微粒子がダイヤモンド圧子の真下に位置するように移動させ、その後、微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部を形成したダイヤモンド圧子を変位させ微粒子に負荷をかけることにより微粒子の強度を測定するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】直交３軸方向に移動可能な移動機構に設けられたローリング及びピッチング回転可能な回転ヘッドに、接触位置センサに代えて、非接触式位置センサが取付け可能な三次元形状計測機において、ローリング及びピッチング回転角に対する非接触式のセンサ原点位置のキャリブレーションデータを簡単に作成する。
【解決手段】接触式用キャリブレーションデータにより較正した基準ローリング回転角及び基準ピッチング回転について、回転ヘッド中心位置Ｏoを固定した状態で、非接触位置センサ２０により、座標値が既知の基準点を計測することによりセンサ原点位置Ｏｓの基準座標値を算出し、その回転ヘッド中心位置Ｏoに対するＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の基準オフセット量Ｈ，Ｌ，Ｗを算出し、較正したローリング及びピッチング回転角θr，θpについてＨ，Ｌ，Ｗに対するオフセット量を算出して基準座標値を補正することにより、センサ原点位置Ｏｓの座標値（Ｘso,Ｙso,Ｚso）のキャリブレーションデータを作成する。
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【課題】定量的に摩耗状態を評価することで、継続使用の可否を的確に判定する。
【解決手段】本発明方法は、ガスタービンの定期点検毎に、動翼１または静翼の摩耗量を計測し、この計測値に基づき、計測対象翼が翼の材料値の範囲内であるか否かを判定するものである。 （もっと読む）

【課題】機械の較正を行うために用いられる装置もしくは機械自身として用いられる装置について記述される。
【解決手段】装置は、２つの構造体を具え、その各々は、その上に三角形状に間隔を置いて配置された３つの支持部を有する。支持部は、ボールもしくはソケットとすることができる。構造体は６つの部材によって相互に接続され、各々の支持部には２つの部材の端部が接続される。較正デバイスとして用いる場合には、部材を伸縮駆動される測定バーとし、構造体をそれぞれ機械の固定部および可動部に接続すれば、機械の部分の変位が構造体間の相対変位を生じさせ、測定バーの長さを変化させる。機械として用いる場合には、部材を構造体の一方によって動力が供給される支柱とする。その構造体は、ワークピースに対し工具またはプローブを相対的に位置づけるべく工具またはプローブを保持して他方の構造体に対し相対的に操作されるものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】小型で簡素な構成により、被測定物の表面と裏面との相対的な位置ずれを測定できる測定用治具を用いた被測定物の３次元形状を測定するための３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定用治具１００に平行平面１４０を保持し、その表面１４１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１４２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。また、測定用治具１００に基準球１５０を保持し、その表面１５１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１５２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。この測定結果から、円錐面１１１、１１２の位置関係に対応する補正値を算出する。さらに、測定用治具１００に非球面レンズ１２０を保持し、その表面１２１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１２２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。そして、上記補正値を用いて表面１２１と裏面１２２との相対的な位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】両面非球面レンズの偏心の大きさを手間をかけずに精度よく測定する。
【解決手段】偏心測定装置１０は、プローブ１１及び触針１３とを備え、治具１２に取り付けられたレンズ３１の表面を走査してその形状を測定する。治具１２は、回転軸１８によって支持台１６に軸支された回転ステージ１７を備えており、レンズ３１を１８０度反転させることで、レンズ３１の表裏両面の形状を測定できる。レンズ３１の両面の形状を測定した後、演算部２６により各面の光軸との交点座標が求められる。また、演算部２６では、回転軸１８の偏心等に基づいて光軸との交点座標を補正する処理が行われ、２つの非球面の偏心量が高精度に測定される。 （もっと読む）

【課題】 表面性状測定機の校正作業を単純化するとともに校正作業にかかる時間の短縮を可能とする校正標本を提供する。
【解決手段】表面性状測定機が単一の軌跡として測定できる一のラインに沿って、各種のパラメータを校正するための異なる幾何学的形状が連続して配設されている。幾何学的形状としては、略平坦な平面部１、所定の周期および振幅を有する正弦波形状に形成された正弦波部２、所定の深さを有する溝部３、既知の形状であってランダムな凹凸を有する擬似ランダム波部４、所定の傾斜角を有する斜面である傾斜面部５、高精度な平面に仕上げられた高精度平面部６、スタイラスの当接圧によって弾性的にしなる弾性片部７、既知の高さを有するとともにその先端が先鋭である先鋭部８、がある。 （もっと読む）

測定用プローブが取り付けられる機械を用いて人工物を計測する方法。この方法は、以下のステップ、人工物の表面上の１つ以上の地点の近似的な位置を決定するステップと、この近似的な位置を用いてプローブおよび人工物のうちの少なくとも一方をそのプローブおよび人工物における所望の１つ以上の相対位置に移動させるステップと、該位置において人工物の表面上の地点の１つ以上の表面計測値を取得するステップであって、１つ以上の表面計測値が取得される間、そのプローブと人工物との間の相対移動がないステップと、その計測値からのデータを用いて、動誤差が実質的に低減されるその表面上の１つ以上の地点の位置を決定するステップと、を有する。
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