【課題】短時間でかつ高精度に倣いプローブの校正を行う倣いプローブの校正方法を提供する。
【解決手段】半径および中心座標値が既知の真球であるマスターボール７の表面を倣い測定する測定経路として第１測定経路７１と第２測定経路７２とを設定する（測定経路設定工程）。次に、測定経路設定工程において設定された第１測定経路７１および第２測定経路７２を倣い測定する（測定工程）。測定工程における倣いプローブの検出センサの出力値を測定経路７１、７２上の座標値と対比して、この検出センサの出力値を補正する補正データを算出する（補正データ算出工程）。ここで、測定経路設定工程にて設定される第１測定経路７１および第２測定経路７２は、マスターボール７の表面において螺旋形状である。そして、２つの測定経路７１、７２の起点７１１、７２１は赤道上において互いに９０度ずれている。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の光学面と円筒基準形状の相対位置を高精度で評価する。
【解決手段】３つの球４を有する測定用の治具２に、非球面レンズ１のレンズ第１面７およびレンズ第２面８の外周部に形成された円筒基準形状９を三次元形状測定用のプローブによって測定するための基準形状測定空間３を設ける。まず、非球面レンズ１のレンズ第１面７およびレンズ第２面８の表面形状を測定し、治具２の３つの球４を基準とした座標の点列データを得る。次いで、非球面レンズ１の円筒基準形状９を測定し、３つの球４を基準とした座標の点群データを得て、円筒基準形状９とレンズ第１面７およびレンズ第２面８の相対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】様々な厚みの測定試料の表面形状を測定する場合でも、事前の校正作業工数の増大を伴うことなく、高い測定精度を確保して測定できること。
【解決手段】変位計２で測定位置を２次元方向に走査させつつ得られる計測値から測定ウェハ４の表面形状を測定する場合に、測定ウェハ４と厚みが異なるが材料及び平面視した形状が同じ基準ウェハの厚み、及びそれが支持部１で支持された場合の自重による撓み量、並びに走査手段３の走査ぶれ量を予め記憶し、対向配置した変位計２ａ，２ｂによる測定ウェハ４の厚み計測、変位計２による測定ウェハ４の表面変位計測を行い、計算機７により、予め記憶された基準ウェハの厚み及び自重撓み量と測定ウェハの厚み計測値とにより、測定ウェハ４の自重撓み量を算出し、走査ぶれ量と測定ウェハ４の自重撓み量及び表面変位計測値とにより測定ウェハ４の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く膜厚測定可能な厚み測定装置または厚み測定方法を提供する。
【解決手段】基準部材１６の上に載置された測定対象部材１８上に載置されるように挿入された厚みの異なる複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の測定結果に基づいた該距離の差分と、該厚み測定装置１０において予め特定環境条件下において測定された複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の差分と、の比較結果に基づいて、膜厚センサ１２によって測定した膜厚測定結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】測長干渉計の測定基準となる基準ミラーを保持する構造体に、ベースの変形や振動が伝播するのを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定のためのプローブ等を保持する移動ステージ７の三次元位置を測長干渉計１〜６によって計測する。測長干渉計１〜６に対向するＸ、Ｙ、Ｚ方向の基準ミラー８、９、１０は、一本の根幹支柱１４から三股に分岐する片持ち梁１１、１２、１３の先端に支持される。この構造体（１１、１２、１３、１４）は、根幹支柱１４とベース１５の接触面積が小さいため、ベース１５の変形や振動が基準ミラー８、９、１０に伝播するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 眼鏡枠形状測定装置の測定誤差の校正を三次元で実施できる眼鏡枠形状測定装置の校正治具を提供すること。
【解決手段】 眼鏡枠等の形状を測定する眼鏡枠形状測定装置の測定誤差を校正するために用いられる校正治具３０であって、眼鏡枠形状測定装置の測定子がトレースするトレース溝が、眼鏡枠のリム２Ａ、２Ｂの内周に形成されて眼鏡レンズのヤゲンを嵌合するための枠溝２０であり、上記リムが、当該リムよりも剛性の高い枠体３１に固定されて構成され、上記枠溝が半径方向の変位ｒ、回転方向の変位θ及び高さ方向の変位zを有して構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】
非接触光計測において歪曲収差などの系統誤差を低減させ、高精度の絶対値計測を実現する。
【解決手段】
本計測処理方法は、三次元空間においてグリッド状に配置されているノードに対応する複数の特定位置についての計測結果である計測座標値を取得し、上記特定位置の座標値と共にデータ格納部に格納するステップと、データ格納部に格納されている上記特定位置の座標値と計測座標値とを用いて、上記特定位置の座標値と計測座標値との間の関係を表すテンソル積型複合超曲面のための制御点のデータを生成し、制御点データ格納部に格納する制御点データ生成ステップとを含む。上で述べたようなテンソル積型複合超曲面を採用することにより高精度の絶対値計測が可能となる。 （もっと読む）

【課題】正確な旋回軸中心を容易に測定可能であって、高精度な加工を実現させることのできる旋回軸中心測定方法を提供する。
【解決手段】まず、テーブル上の所定位置にマスター球２５を設置するとともに、Ａ軸の旋回軸中心をＡ（ｙ０，ｚ０）と仮定する。次に、テーブルをＡ軸周りに任意の旋回角度βだけ旋回させ、その傾斜状態（旋回角度β）においてマスター球２５の中心Ｃ１（ｃｙ１，ｃｚ１）を求める。その後、さらにテーブルをＡ軸周りに所定角度αだけ旋回させて旋回角度γ（すなわち、γ＝α＋β）とし、その傾斜状態（旋回角度γ）においてマスター球２５の中心Ｃ２（ｃｙ２，ｃｚ２）を求める。ここで、ベクトルＡＣ１をα度回転させた直線がベクトルＡＣ２となるため、旋回軸中心Ａ（ｙ０，ｚ０）を演算により算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、所望の表面粗さを維持することができると共に、つくりやすい粗さ標準片を提供することにある。
【解決手段】 粗さ測定器の校正に用いられる粗さ標準片１０において、所望の表面粗さを満足する微細な凹凸が形成されている型に樹脂を当てて得られた、該型の凹凸に対応する微細な凹凸１２ａをもつ基準体１２と、前記基準体１２上に均一な厚みでしっかり密着された、所望の硬度を有する保護膜１４と、を備え、前記保護膜１４が基準体１２と同じ凹凸１４ａをもち、該保護膜１４の凹凸１４ａが前記粗さ測定器の校正に用いられることを特徴とする粗さ標準片１０。 （もっと読む）

【課題】 チャック装置の芯ずれを自動的に補正してワークの真の外径位置を得ることができるワーク計測装置、およびワーク計測方法を提供する。
【解決手段】 このワーク計測装置は、軸心回りに回転自在であってワークＷを支持可能なチャック装置１と、このチャック装置１に支持されたワークＷの外径位置を計測する計測器２とを備える。チャック装置１に断面が真円であるマスタワークＭＷを支持させた際の計測器２の計測値を記憶するマスタワーク外径記憶手段１４と、チャック装置１に計測対象ワークＷを支持させた際の計測値を記憶するワーク計測値記憶手段１５とを設ける。この計測対象ワークＷの計測値をマスタワーク外径記憶手段１４に記憶された計測値で補正するワーク計測値補正手段１７を設ける。 （もっと読む）

対象物の周囲での再配置を容易化する計測装置、システム及び方法を提供する。本システムでは有関節座標計測機（ＣＭＭ）（２００）及びレーザトラッカ（４００）を使用し、そのＣＭＭ上にはレーザトラッカと対をなすレトロリフレクタ（３１０，３１２）を配置する。共通の基準座標系による座標値にＣＭＭによる計測値及びレーザトラッカによる計測値を変換できるためＣＭＭを移動させることができる。更に、レーザトラッカでは計測できない隠れ点を有関節ＣＭＭ等で計測することができる。
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【課題】キャリブレーション点数を不必要に増やすことなく、高い形状精度測定結果を保証するキャリブレーションを、精度よく、短時間で行うこと。
【解決手段】被測定物の表面上に指定された測定点における被測定物表面の法線ベクトルデータを取得し、その法線ベクトルデータによる法線ベクトル方向に関してのみキャリブレーションを行う。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションを、精度よく、短時間で行えるようにすること。
【解決手段】キャリブレーションゲージ１００が凹球面１０１を有するすり鉢形状にする。 （もっと読む）

【課題】 極座標制御方式マシニングセンタにおける基準点の補正方法を提供する。
【解決手段】 極座標制御方式マシニングセンタは、ワークを載置する旋回テーブル５０と、旋回テーブル５０の旋回中心Ｃ_０を通るＹ軸に沿って制御される工具ヘッドを有し、工具ヘッドの工具主軸は、旋回テーブル５０に垂直なＺ軸に沿って制御される。旋回テーブル５０上に基準点誤差量測定用ピン１００を取付け、工具主軸に取付けたタッチセンサＳ_１でＹ軸上の座標を検知して主軸原点位置からの距離Ｌを演算し、Ｙ軸上の基準点誤差量ΔＹを補正する。距離Ｒ位置にタッチセンサＳ_１を設定し、ピン１００を両側からタッチさせて、角度θ_１，θ_２を検知する。この角度差からＸ軸方向の誤差量ΔＸを演算して補正する。 （もっと読む）

【課題】 測定プローブを傾斜させて支持しながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる形状測定器を提供する。
【解決手段】 形状測定器３０により既知形状の被測定物（真球）の形状を測定する（Ｓ１２）。次に、測定プローブの設計傾斜角度の値から±０．５度間を５等分し、それぞれの形状誤差を算出し、誤差が最小となる角度値を決定する（Ｓ１６）。更に同様な計算を繰り返すことで、誤差が最小となる傾斜角度に収束させる（Ｓ１８、Ｓ２０）。被加工部材を測定する際には、測定した形状を傾斜角度による誤差分で補正することで、測定精度を高める。 （もっと読む）

【課題】 非接触三次元測定装置を用いて製缶構造物の寸法測定を行う方法と装置を提供する。
【解決手段】 寸法測定装置１は、マスト１０とターンテーブル３０を備え、レーザビームを用いた三次元測定機２２はマスト１０に昇降自在に取付けられる。ターンテーブル３０上にはワーク１００が取付けられ、基準点位置に複数のスチールボールＢ_１，Ｂ_２・・・が置かれる。三次元測定機２２は、複数のスチールボールの位置を測定するとともに、ワークの各部の座標位置の測定データを得る。測定データで作成されたワーク形状をＣＡＤデータに重ね合わせて、ベストフィットを得る。ベストフィットに基づいてワークの各部品の寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】 底面を持ち、かつ配列制御を自由に行うことのできる微小穴の配列形成方法を提供すること。
【解決手段】 （０００１）面、または（０００１）面から１０度以内のオフ角度を持った面を主面として有する単結晶サファイヤ基板１の表面に対して、所望の位置にアレイ状にエッチングの起点となる微小欠陥２を形成し、該微小欠陥２にエッチングを行ってエッチピット２ａを形成し、該エッチピット２ａに熱処理を行うことを特徴とする、アレイ状に微小穴を配列形成する方法である。 （もっと読む）

【課題】 上面より表面形状を測定する３次元測定機において用いられる、長さ測定とＸＹＺ軸の直角度をナノメートルのオーダで高精度に校正するための校正治具を提供する。
【解決手段】 ３次元測定機の校正治具であって、長さ標準器であるブロックゲージと、それぞれ所定の基準径をもつ少なくとも３つの基準球と、上記ブロックゲージの側端面に一定の力で上記各基準球を当接させる付勢手段とを備える。上記基準球は、少なくとも１つが上記ブロックゲージの第一の側端面側に配置され、少なくとも２つが上記第一の側端面と反対側の第二の側端面側に配置される。 （もっと読む）

【課題】複雑なオートフォーカス機能を必要としない簡単な光学系によって、形状測定の基準となる位置マーク球の位置を高精度で検出する。
【解決手段】被測定物Ｗ₁ を保持するジグ２は３個の位置マーク球３を有し、被測定物Ｗ₁ の表面をトレースするプローブ１０とは別に、各位置マーク球３の反射光から位置マーク球３の光学像の２次元位置を互いに異なる光軸方向から検出する２つの光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂを、Ｚスライダ７に保持させる。各光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂのポジションセンサーから得られる２組の２次元位置情報を用いた演算によって、各位置マーク球３の位置を３次元的に求める。 （もっと読む）