【課題】無軌道式移動台車が球面，円筒面，平面を移動する場合の位置検出装置において、無軌道式移動台車が例えば球面や円筒面を周方向に移動して位置検出装置から隠れてしまう場合であっても、位置検出が可能な位置検出装置を与えることを目的とする。
【解決手段】本体内部にワイヤを備え、前記ワイヤが牽引された量をエンコーダ値として出力する第二リニアエンコーダが取り付けられた第二保持治具を設置し、前記第二のリニアエンコーダのワイヤ先端を前記無軌道式移動台車の前記リニアエンコーダのワイヤ先端の取り付けられた位置に取り付け、前記第一のリニアエンコーダのワイヤが牽引された量と前記第二のリニアエンコーダのワイヤが牽引された量とから前記無軌道式移動台車の位置を前記演算装置にて演算すること特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生器の伝熱管と振止部材との相対変位を計測できる相対変位計測方法を提供することにある。
【解決手段】伝熱管と振止部材との間で発生する相対変位を検出する相対変位計測方法であって、伝熱管に配置された距離測定手段により、振止部材に配置されたターゲットとの距離を測定する測定ステップと、測定ステップにより測定した間隔に基づいて、伝熱管と振止部材との相対変位を算出する算出ステップとを有し、振動時の伝熱管の所定位置と振止部材の所定位置との相対変位を計測することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】水中移動体の位置の検知精度を向上させることができる水中検査装置の位置検知装置を提供する。
【解決手段】水中検査装置９は、上下位置を検出するための圧力センサ１８と、姿勢角を検出するための慣性センサ部１９とを備えている。また、水中検査装置９は、ほぼ同一平面上の多数の方向における周囲の構造物Ａとの相対距離を検出するレンジセンサユニット２３を備えている。制御装置１１は、圧力センサ１８及び慣性センサ部１９で検出された水中検査装置９の上下位置及び姿勢角等に基づいてレンジセンサユニット２３の検出方向面の位置を演算し、その検出方向面位置における構造物の断面形状及びその位置を演算する。そして、制御装置１１は、構造物の断面形状に対する水中検査装置９の相対位置をレンジセンサユニット２３の検出結果に基づいて演算し、さらに構造物の断面形状の位置情報に基づいて水中検査装置９の水平位置を演算する。 （もっと読む）

【課題】均一なガスフローパターンにより均一な堆積フィルムを生じる半導体処理システムを提供する。
【解決手段】 半導体基板を処理するために、リモートコントロールされ、基板ホルダのスロット内に挿入されたセンサシステム１００が、リアクター等のバッチリアクター内において、ウェハボート等の基板ホルダのアライメントを測定するために用いられる。センサシステム１００は、コントローラと通信するためのトランシーバと、プロセスチャンバ外部のデータ収集ユニットとを備える。さらに、センサシステム１００は、センサからプロセスチャンバの壁まで距離を測定するための距離センサ１２０を備える。センサは、プロセスチャンバの周囲３６０°に渡る範囲の測定を得るために回転される。プロセスチャンバ内の基板ホルダのアライメントは、回転角と、測定された距離又は距離センサ１２０によって受信された信号との関係に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】管路計測や孔内計測において、管路や地盤等の内部状況を的確に把握可能な内部検査装置を提供する。
【解決手段】ピッチ角、方位角、ロール角を検出する角度検出器２と、この角度検出器２の管内又は孔内の壁面に対する踊り量を検出する非接触変位センサ３，４と、を有し、管路内又は地盤に形成された孔内に挿入され、内部を移動可能な内部検査装置１であって、該管路内又は孔内を撮影する撮影手段を先端に備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 複雑な気液二相流の界面微細構造と輸送機構を解明できる測定装置を提供する。
【解決手段】 測定装置は、気液二相流中に配置され、該気液二相流における気相および液相を検出するセンサからの出力信号を受信するセンサ出力受信部と、上記センサ出力受信部によって受信された出力信号に基づいて、上記気液二相流における気相と液層との間の界面に関する物理特性を算出する測定演算部とを備える。測定演算部は、６つのセンサから、４つのセンサからなるセンサセットを３セット分設定し、センサ出力受信部は、各センサからの出力信号を受信する。そして、測定演算部は、各センサからの出力信号に基づいて、上記界面の３次元速度を算出する。 （もっと読む）