【課題】周囲の気体の屈折率変動の影響を低減させて、ステージの位置決め精度等を向上できる露光装置である。
【解決手段】投影光学系（ＰＬ）を介してウエハステージ（ＷＳＴ）上のウエハ（Ｗ）に露光用の照明光を照射して、ウエハ（Ｗ）に所定のパターンを形成する露光装置であって、ウエハステージ（ＷＳＴ）に設けられたスケールと、このスケールの位置情報を検出する複数のＸヘッド（６６）と、複数のＸヘッド（６６）を一体的に支持し、線膨張率がウエハステージ（ＷＳＴ）の本体部よりも小さい計測フレーム（２１）と、複数のＸヘッド（６４）の検出結果からウエハステージ（ＷＳＴ）の変位情報を求める制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って出力歯車の回転角を正確に検出できる回転検出装置、給紙装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置は給紙装置１を備えている。給紙装置１は給紙カセット２と押し上げ部材４と駆動軸５と回転検出装置６を備えている。回転検出装置６は駆動軸５と連結する出力歯車を備えている。出力歯車が外縁に歯が設けられた歯車本体と歯車本体に取り付けられかつ回転電極を取り付けているとともにケース９に回転自在に設けられる電極保持部材を備えている。電極保持部材がＰＯＭ、ＰＡ、ＰＢＴ、ＰＰ、ＰＥ、ＡＢＳ樹脂、ＰＳ、ＰＰＥ、ＰＣ、ＰＭＭＡから選ばれる少なくとも一つの熱可塑性樹脂で構成されている。歯車本体が電極保持部材を構成する熱可塑性樹脂よりも強度の高い材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】静電容量の大きさに拘わらず、精度の高い位置検出を行うことのできる慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法及び慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】静電容量にて移動体の位置検出を行う慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法であって、移動体の駆動を行う駆動ステップと、移動体に設けられた移動体電極と、移動体電極と対向して設けられた検出電極と、が対向する部分の静電容量を検出するための第１信号を出力する出力ステップと、出力ステップにて出力された第１信号が移動体電極と検出電極を通過して得られる第２信号を受信する受信ステップと、受信ステップで得られた受信信号に基づいて最適第１信号を演算する演算ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】静電容量式センサ装置において、一対のセンサキャパシタが経年変化して静電容量のオフセットが変化した場合であっても、そのオフセットを適切に補償する。
【解決方法】本発明の静電容量式センサ装置では、反転入力端子が第１センサキャパシタと第２センサキャパシタの接続部に接続されたオペアンプの非反転入力端子に補償信号を印加する。補償信号は、所定の基準電圧に、第１クロック信号または第２クロック信号に同期して補償電圧が重畳されたものである。この補償電圧に起因する出力電圧の変動は、静電容量のオフセットに起因する出力電圧の変動と同期しているので、補償電圧の大きさを適切に調整することによって、静電容量のオフセットを補償することができる。補償電圧の大きさを事後的に再調整することで、静電容量のオフセットが経年変化した場合であっても、そのオフセットを補償することができる。 （もっと読む）

【課題】安価に高精度な測定を可能とするリニアスケールを提供する。
【解決手段】リニアスケール１０は、変位測定に用いられる。リニアスケール１０は、低膨張セラミックスにて構成されたスケール台１１と、スケール台１１の上面に一体的に固定され測定時に読み取られる目盛り部１２と、スケール台１１をベース部材３０に取り付けるための取り付け部１３とを備える。取り付け部１３は、スケール台１１を貫通するように形成された貫通孔１３１ａ〜１３１ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 静電容量式センサ装置において、一対のセンサキャパシタが経年変化して静電容量のオフセットが変化した場合であっても、そのオフセットを適切に補償する。
【解決方法】 本発明の静電容量式センサ装置は、第１センサキャパシタと第２センサキャパシタの接続部に接続された補償キャパシタと、補償キャパシタの開放端に印加される補償信号を生成する補償信号生成手段を備える。補償信号は、第１センサキャパシタに印加される第１クロック信号または第２センサキャパシタに印加される第２クロック信号と同じ位相であり、振幅が調整可能である。補償キャパシタによって、第１センサキャパシタまたは第２センサキャパシタの静電容量が見かけ上増加し、静電容量のオフセットを補償することができる。補償信号の振幅を事後的に再調整することで、静電容量のオフセットが経年変化した場合であっても、そのオフセットを補償することができる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダフィルムの波打ち、歪み等や、折れや倒れによる周辺部材との接触等を回避してリニアエンコーダの読取精度を維持するとともに、エンコーダフィルムの交換、調整作業を容易に行なうことのできる直線位置検出装置を提供する。
【解決手段】キャリッジ１５の直線位置をリニアエンコーダ２により検出する直線位置検出装置１０１であって、キャリッジ１５の直進移動方向に延在する主走査ビーム１４と、主走査ビーム１４の延在方向に沿ってフィルム主部が延在して設けられるエンコーダフィルム２１と、エンコーダフィルム２１のフィルム主部外側のフィルム部分の少なくとも一方が巻き掛けられる円筒部材２６と、円筒部材２６に巻き掛けられたフィルム部分であってフィルム主部とは反対側のフィルム部分においてエンコーダフィルム２１の延在方向に引張り力を付与する付勢部材２８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】回転位置センサの簡素化、小型化等を図りつつ、回転体の回転角度位置を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】ハウジング１０，２０の軸受部により所定の軸線Ｌ回りに回動自在に支持される回転体４０、回転体の回転角度位置を検出するべく回転体に設けられた可動センサ要素７１及びハウジングに設けられた固定センサ要素７２を含むセンサユニット７０を備え、回転体４０は軸線Ｌ上に頂点Ｐをもつ仮想円錐面Ｃの一部を画定するテーパ状の環状当接面４２ａを有し、軸受部は仮想円錐面Ｃ上において環状当接面を回動自在に支持するテーパ状の環状軸受面３２ａを有する。これによれば、回転体は自動調芯作用により常に軸線上に位置付けられるようになっている。したがって、摩耗等の軸受領域の経時的な変化を生じても、回転体の回転角度位置を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】可動子としての磁石２、３により形成される磁界や固定子としての磁界検出手段４、５から出力される電気信号が温度に応じて変動しても、検出精度の高い位置検出センサ１を得ることにある。
【解決手段】位置検出センサ１は、短手方向に円弧状に膨出する膨出部６、７を有し、長手方向に変位する２つの磁石２、３と、磁石２、３により形成される磁界を検出する２つの磁界検出手段４、５とを備える。また、磁石２、３は、両方とも長手方向に着磁されて一端側がＳ極、他端側がＮ極をなす。また、磁界検出手段４、５は、長手方向に所定の間隔を有して配され、この間隔は、長手方向の座標とエアギャップに形成される磁界の磁束密度との相関特性を三角関数とみなした場合、三角関数の周期ｄの１／２である。これにより、温度にかかわらず、検出精度の高い位置検出センサ１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】磁気回路部を樹脂製の最終ギヤの内部にインサート成形して長期に使用しても、センサ特性が変化しない信頼性の高い回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】ヨーク３３と磁石３４とは、軸方向から見て各ヨーク３３の円弧中心と回転中心とを通る直線方向と平行なＸ方向に沿う当接面３８にて面接触する。これにより、経時変化により樹脂製の最終ギヤ２３と磁気回路部３１とがクリープしてＸ方向の隙間が変化したとしても、ヨーク３３と磁石３４とが当接面３８を介して面接触する状態が継続するため、回転角度検出装置６のセンサ特性が変化する不具合を回避でき、長期に亘って高い信頼性を得ることができる。また、ヨーク３３の端部には、磁石３４を挟み付けるための突起部３９が一体に設けられており、インサート成形前に治具を用いなくても磁気回路部３１を略円筒状に組み付けた状態に保つことができ、生産性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】検出信号がドリフトした場合であっても、当該検出信号に応じて適切に出力信号を出力することが可能なセンサ信号処理装置を提供する。
【解決手段】センサ２から入力される検出信号と当該検出信号から演算される閾値とに基づいて出力信号を生成するセンサ信号処理装置１は、検出信号のピーク値と予め設定されたレンジ幅の中央値とに基づいて上側振幅値を算出する上側振幅値算出部１５と、中央値と検出信号のボトム値とに基づいて下側振幅値を算出する下側振幅値算出部１６と、出力信号に応じて、上側振幅値及び下側振幅値の一方を基準値とし、他方の振幅値が基準値に基づいて規定された設定値よりも大きくなった場合に検出信号のオフセット調整を行うオフセット調整信号を生成するオフセット調整信号生成部１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＰＵに大きな負担を掛けずに磁界検出素子のオフセットの温度ドリフトを低減し、低コストで高精度の磁気式エンコーダ装置を提供する。
【解決手段】オフセット演算回路６５１で、Ａ相信号Ｖａのオフセット値Ｖｏｆｆｍａを演算し、差分演算器６５３で、オフセット記憶回路６５２に予め入力されているオフセット基準値Ｖｏｆｆｎａと前記オフセット値との差である差分値ｄＶｏｆｆａを演算する。次に比較器６５５で、この差分値と予め閾値設定回路６５４に設定されている閾値Ｖｃａとを比較し、閾値を超えている場合、オフセット値Ｖｏｆｆｍａでオフセット基準値Ｖｏｆｆｎａを更新する。更新されたオフセット基準値でＡ相信号Ｖａを補正し、この補正されたＡ相信号Ｖａ’と、同様にして得られたＢ相信号Ｖｂ’を用いて図示しない磁気式エンコーダ装置の角度信号を算出する。 （もっと読む）

【課題】原点検出センサの検出精度が変化しても原点位置を高精度で検出する。
【解決手段】メモリ２４は原点を検出する前にあらかじめ、フォトインタラプタ１３の出力電圧が所定のレベルまで低下した時点でアークタンジェント計算部２２により計算された第１のアークタンジェント信号のレベルＤａを記憶し、比較部２５及び原点設定部２６は原点を検出する場合に、フォトインタラプタの出力電圧が所定のレベルまで低下した時点でアークタンジェント計算部により計算された第２のアークタンジェント信号のレベルＤｂとメモリに記憶されている第１のアークタンジェントの信号のレベルＤａを比較して、第２のアークタンジェントの信号のレベルＤｂがメモリの第１のアークタンジェントの信号のレベルとなった位置であって、第２のアークタンジェントの信号のレベルＤａに最も近い位置を原点として設定する。 （もっと読む）

【課題】経年変化の影響を抑制しつつ、マグネットと回転ディスクとのギャップ管理をより簡単にできる回転センサを提供する。
【解決手段】回転センサ８は、スプール４に一体回転可能に支持されかつＮ極マグネット１４ＮとＳ極マグネット１４Ｓとが交互に隙間なく配設された多数のマグネット１４を備えた回転ディスク１０と、マグネット１４を検出するホール素子１２とからなる。ホール素子１２は第１ホール素子１２ａと第２ホール素子１２ｂの２個、それぞれ所定位置に来た対応するマグネット１４に対向するように円環状のマグネット１４の円周方向に沿って所定間隔を置いてブラケット１１に取り付けられている。 （もっと読む）

本発明は、円筒（ｒ、Ｑ、ｚ）または直交（ｘ、ｙ、ｚ）座標系において規定される少なくとも１つの永久磁石（１）と、少なくとも２つの磁気感応素子（２、３）とを備え、磁石（１）は前記２つの磁気感応素子（２、３）に対して移動可能な磁気式角度または直線センサに関する。本発明は、磁石（１）の少なくとも１つの寸法が非定常関数として変化し、かつ磁石（１）の磁化が単一方向に、すなわち直交座標系において規定される磁石の場合にはｘ、ｙ、またはｚに、もしくは円筒座標系において規定される磁石の場合にはｒ、Ｑ、またはｚに向けられることを特徴とする。
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【課題】回転角度の検出誤差を低減する回転角度検出装置、特に製品出荷後の回転角度の検出誤差の増大を防止する回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】２個のホール素子は、検出対象の回転に伴う磁界の変化に応じて互いに位相差の異なる正弦波形の出力信号を出力する。ＥＣＵは、２個のホール素子の出力信号にオフセット補正（Ｓ１１４）および振幅補正（Ｓ１１６）を施す。次に、ＥＣＵは、２個のホール素子のいずれか一方の出力信号が０であるとき（Ｓ１１８）、２個のホール素子のいずれか他方の出力信号の大きさから三角関数演算によって２個のホール素子の出力信号の位相差を算出し、算出した位相差で検出対象の回転角度の検出に用いる位相差を更新する（Ｓ１２０）。そしてＥＣＵは、出力信号の位相差に基づいて検出対象の回転角度を検出する（Ｓ１２２）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度条件および運用条件に応じた補正データテーブルを選択することにより角度検出精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明による角度信号補正方法は、レゾルバ信号(2)をＲ／Ｄ変換したデジタル角度信号(5)を補正する補正部(10)に、レゾルバ部(1)を搭載した機器(30)の温度条件及び運用条件に応じた補正データが格納された補正データテーブル(11A〜11n)を選択して入力して補正することにより、高精度角度信号を得ることができる構成である。 （もっと読む）

【課題】２相の正弦波信号の周波数が高い場合にも、容易な演算処理で位相誤差を補正でき、位置検出精度が高いエンコーダ信号の補正回路を提供する。
【解決手段】ＡＤ変換器２の出力信号であるＡ１信号とＢ１信号のピーク値を検出するピーク検出器１５と、検出したピーク値を用いてオフセットおよび振幅の誤差を補正してＡ２信号とＢ２信号を生成するオフセット／振幅補正手段４と、Ａ２信号とＢ２信号の交点値を検出する位相誤差検出器７と、位相誤差検出器７で検出した交点値からＡ２信号とＢ２信号の補正係数を演算する位相補正手段６と、Ａ相とＢ相の正弦波信号を位置データに変換する位置データ変換手段１０を有した位置検出器において、Ａ相とＢ相の正弦波信号の周波数又は前記位置データから速度を検出する速度検出器２１と、オフセットおよび振幅と位相の補正値の更新に対し有効か無効かを切替える補正判定手段２２を設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】内挿処理に使用する２相の正弦波信号の周波数が高い場合にも、容易な演算処理で位相誤差を補正でき、位置検出精度が高いエンコーダ信号の補正回路を提供する。
【解決手段】ＡＤ変換器２の出力信号であるＡ１信号とＢ１信号のピーク値を検出するピーク検出器１５と、検出したピーク値を用いてオフセットおよび振幅の誤差を補正してＡ２信号とＢ２信号を生成するオフセット／振幅補正手段４と、Ａ２信号とＢ２信号の交点値を検出する位相誤差検出器７と、位相誤差検出器７で検出した交点値からＡ２信号とＢ２信号の補正係数を演算する位相補正手段６と、Ａ相とＢ相の正弦波信号を位置データに変換する位置データ変換手段１０を有した位置検出器において、Ａ相とＢ相の正弦波信号の周波数を検出する速度検出器２１と、オフセットおよび振幅と位相の補正値の更新を有効か無効かを切替える補正判定手段２２を設ける構成とする。 （もっと読む）