【課題】回折格子を用いて相対移動量を計測する際に、格子パターン面の法線方向の絶対位置を検出する。
【解決手段】原点検出装置１１Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする反射型の回折格子１２Ｘと、第１計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに第１の入射角で入射させ、回折光と第１参照光ＭＲ１との第１干渉光を検出する第１干渉ヘッド１４Ｘと、第３計測光ＭＸ３を回折格子１２Ｘにその第１の入射角と異なる第２の入射角で入射させ、回折光と第３参照光ＭＲ３との第３干渉光を検出する第２干渉ヘッド１５Ｘと、その第１、第３干渉光の検出信号からＺ方向の相対位置を求める第３演算部４１Ｃと、を備える。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】位置検出器の走査組立品のキャリアに対する放射線源の所定の位置決めを簡単な手段によって可能にする。
【解決手段】放射線源が、異なる位置でそれぞれの電気導体要素に電気接触していて、この放射線源４をキャリア１に対する調整軌道に沿って異なる位置に配置できるようにするため、キャリア１の電気導体要素と放射線源４の電気接続要素４４，４６とが、導通部分を形成し、放射線源４をキャリア１に対して固定する前に、この放射線源４が、この放射線源４と電気導体要素との間の電気接触を維持しながら調整軌道に沿ってキャリア１に対して導通部分に接して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】高分解能を有するアブソリュートエンコーダに有用なスケールを提供する。
【解決手段】 アブソリュートエンコーダのスケールには、少なくとも１つの方向に沿って所定のピッチで複数のマークが配列されている。前記スケールは、前記少なくとも１つの方向に沿って前記所定のピッチで配置された光反射性または光透過性を有する複数のマークを含む基材を有する。前記複数のマークのうちの一部のマークには、光を減衰させる膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転が規制された非回転体であるエンコーダ本体２ａと、エンコーダ本体２ａに回転自在に軸支された回転体である回転軸３とを有し、エンコーダ本体２ａに対する回転軸３の相対的な回転角度を検出する相対的角度検出手段としてのロータリエンコーダ２と、エンコーダ本体２ａの絶対的な回転角度を検出する絶対角度検出手段としての非接触角度検出手段２０とを備える。これにより、ロータリエンコーダ２が検出した回転角度を、非接触角度検出手段２０で検出した回転角度に基づいて補正することができ、回転角度を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】９０度位相差の２つの正弦波信号を内挿演算することによって高分解能で回転位置を検出する光学式エンコーダにおいて、部品を追加することなく容易な手段で光学系の異常を検出することが可能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】９０度位相差の２つの正弦波信号をそれぞれ２乗して加算する２乗和演算器と、信号の異常レベルを記録する異常信号メモリと、信号の異常を判定する異常判定器からなり、前記２乗和演算器で求めた演算結果が、前記異常信号メモリに記録した値より下回った場合に前記異常判定器が異常信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】安定して高調波歪を抑え、位置を高精度に検出することが可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】光源１２と、受光素子１７と、前記光源からの光を反射または透過することによって前記受光素子に導くパターン２４Ａを含む複数の単位ブロックパターンＫＡを含むスケール２０と、を備えるエンコーダを提供する。複数の単位ブロックパターンは、Ｘ方向に沿って、ピッチＰの周期で配置されており、パターンは、中心線Ｘｃに関して対称な形状であり、各単位ブロックパターンはＹ方向に複数の分割領域を含み、パターンの面積比は隣接する二つの分割領域の間で異なり、各分割領域において、前記パターンは、前記測位方向に延びる２つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる２つの平行な直線によって規定される矩形形状を有する。 （もっと読む）

【課題】大型化を招かずに広範囲で絶対位置信号を高精度に取得可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターンは、｜(ｍ・Ｐ１−ｎ・Ｐ２)｜＜｜(Ｐ１−Ｐ２)｜を満たすように移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。エンコーダの信号処理手段３０は、第１の変調周期Ｐ１の位相である第１の位相Φ１を取得する第１の位相取得手段３２と、第２の変調周期Ｐ２の位相である第２の位相Φ２を取得する第２の位相取得手段３３と、整数ｍ、ｎに対し、Ａ／Ｂ＝ｎ／ｍの関係を満たす２つの係数Ａ、Ｂを用いてＳｖ＝Ａ・Φ１−Ｂ・Φ２を満たすＳｖを前記スケールの位置を表す位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 簡易でかつ安定した目盛担持体の組立てを可能にする、角度測定装置のための組立体を提供することである。
【解決手段】−前記目盛担持体（１）に位置決め部材（３）が第一の材料一体的結合部を用いて固定されていること、
−目盛担持体（１）を担持している位置決め部材（３）が、支持体（２）の凹部（２１）内に配置されており、位置決め部材（３）が半径方向で遊びがなく位置決めされるように凹部（２１）が採寸されていること、そして
−目盛担持体（１）と支持体（２）の間に第二の材料一体的結合部が設けられていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、一直線状の光透過部１７に被検出光を透過させることにより、スケール板１１において、配列ラインＬ１，Ｌ２の互いに離間した一部を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、他の領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。したがって、光強度ピークＰ１，Ｐ２間の相対角度（基準相対角度）は、光透過部１７の形状から一義的に算出できる。そこで、エンコーダ１では、角度検出時の相対角度と基準相対角度とのずれ量を補正量α°として算出することにより、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストで高精度なアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】アブソリュートエンコーダは、第１スリットを有する第１トラック及び第２スリットを有する第２トラックを備えたスケール部と、第１及び第２スリットに光を照射する光源と、第１スリットで反射した光から得られた第１信号を検出する第１検出手段と、第２スリットで反射した光から得られた第２信号を検出する第２検出手段とを有し、第２スリットは、スケール部の移動方向における位置に応じて光源から照射された光の反射光量が異なるように形成され、演算手段は、第２検出手段で得られた光電流の電圧値又は第２信号の振幅値に基づいて上位信号を取得し、第１及び第２信号を用いてバーニア演算を行い中位信号を取得し、第１信号を用いてアークタンジェント演算を行い下位信号を取得し、上位信号、中位信号、及び、下位信号に基づいて被計測物の絶対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、計測位置に応じて異なる検出精度を有する小型で安価なアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】被計測物の絶対位置を検出するアブソリュートエンコーダであって、前記被計測物とともに移動可能に構成され、第１スリットを有する第１トラック及び第２スリットを有する第２トラックを備えたスケール部と、前記第１スリットから得られた第１信号を検出する第１検出手段と、前記第２スリットから得られた第２信号を検出する第２検出手段と、前記第１信号及び前記第２信号を用いてバーニア演算を行う演算手段とを有し、前記第２スリットの間隔は、前記スケール部の移動方向における位置に応じて異なる。 （もっと読む）

【課題】高精度で、小型かつローコストなロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】ロータリーエンコーダ１００は、螺旋状パターン５０１及び放射状パターン５０２を有して回転軸を中心に回転可能なスケール２０１と、螺旋状パターン５０１を透過した光束を検出して第１検出信号を出力する第１センサユニット３０１と、放射状パターン５０２を透過した光束を検出して第２検出信号を出力する第２センサユニット３０２と、第１検出信号に基づいて偏芯補正信号を生成し、偏芯補正信号に基づいて第２検出信号を補正する信号処理回路４０１とを有し、螺旋状パターン５０１は、所定値より大きい回転角変位を検出し、放射状パターン５０２は、螺旋状パターン５０１で検出される回転角変位よりも小さい回転角変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して分解能を向上させつつ、製造等を容易にすることが可能な、エンコーダ、サーボモータ、サーボユニット及びエンコーダの製造方法を提供する。
【解決手段】
回転格子が形成されたリング状の第１トラックＴＡ及び第２トラックＴＢを有するディスク１１０と、第１トラック及び第２トラックに対向して固定配置され、固定格子を有して回折干渉光を検出する第１検出部１３０Ａ及び第２検出部１３０Ｂと、を有し、第１トラックの複数のスリットは、湾曲スリットとして形成され、第１トラックに対向する第１検出部は、第２検出部が対向する位置におけるスリットの接線ＬＩＮＥＢに対して、第１トラックの回折格子に含まれるスリットの接線ＬＩＮＥＡが平行となる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】検出対象の回転位置及び直線位置が測定可能な、且、小型化及び製造コスト削減が可能な、直動回転エンコーダ、直動回転モータ及び直動回転モータシステムを提供すること。
【解決手段】この直動回転エンコーダ１００は、駆動軸ＡＸ周りに回転可能で且、直線移動可能な検出対象２１の回転及び直線移動に追従可能な直動回転部１１０と、直動回転部の表面１１１に設けた、駆動軸までの距離が一定でありかつ駆動軸方向の位置が直動回転部の１回転内で１周期以上変化する形状を有するリング状のトラックＴと、トラックに対向してそれぞれ固定配置され、トラックまでの駆動軸に沿った距離Ｌ１〜Ｌ４に応じた検出信号Ｇ１〜Ｇ４を検出する検出部Ｓ１〜Ｓ４と、検出信号に基づいて、検出対象の駆動軸方向の直線位置及び駆動軸周りの回転位置を特定する位置特定部１２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御及び速度制御を実現可能とする。
【解決手段】エンコーダ装置４０から出力される正弦波のアナログＡ相及びＢ相信号を、信号処理回路５０で次のように変換する。即ち、信号処理回路５０では、アナログＡ相及びＢ相信号をディジタル化して無逓倍のディジタルＡ相及びＢ相信号を生成すると共に、アナログＡ相及びＢ相信号を４倍に逓倍且つディジタル化して、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号を生成する。更には、ディジタルＡ相及びＢ相信号の排他的論理和（ＸＯＲ）信号を、ディジタルＺ相信号として生成する。位置検出部６１は、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号に基づき、対象物の位置を検出する。一方、速度検出部６３１，６３２，６３３は、ディジタルＡ相信号、又は、ディジタルＺ相信号、又は、ディジタルＡ相及びＢ相信号の両者に基づき、対象物の速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて、受光部における反射光の利用効率が向上可能な反射型の光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光源１０１と、反射スケール１３０と、光検出部１６０と、演算部１７０とを備え、反射スケールにおける第１反射部１１１，１２１からの反射光を、光検出部の第１受光部１４１，１５１にて受光し、第１反射部と異なる傾斜をつけた第２反射部１１２，１２２からの反射光を第２受光部１４２，１５２にて受光し、演算部はその２つの出力を元に演算する。 （もっと読む）

【課題】相対的に移動する部材間で効率よく電力供給を行うことが可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】パターン部（５）を有し、所定方向に移動する移動体（１）と、パターン部に光（Ｌ）を照射する発光部（３）と、パターン部を介した光を検出する光検出部（１１）と、移動体に設けられ、発光部に電気的に接続されたコイル部（６）と、エンコーダ本体（１０）又は測定対象（Ｍ）に設けられ、コイル部を貫く磁束を発生させる磁石部（７）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】供給電力を削減することができるエンコーダを提供する。
【解決手段】磁場（Ｂ）を発生する磁石部（２）を有し、所定方向に移動する移動体（１）と、移動体に設けられたパターン部（３）と、パターン部に光を照射する発光部（１１ａ）と、エンコーダ本体（１０）に設けられ、パターン部を介した光を検出する光検出部（１１ｂ）と、エンコーダ本体に設けられ、発光部と電気的に接続され磁場の磁束が貫通するコイル部（１３）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）