【課題】本発明は、温度変化の多い環境下で使用しても出力特性が安定している角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、モニタ信号検出回路３９からのモニタ信号が所定値のときの出力信号検出回路４０からの出力信号を角速度の信号としてサンプリングするサンプリング制御手段４５を設けた構成としたことにより、出力信号が温度変化により変化するのを抑制できるため、温度変化の多い環境下で使用しても出力特性が安定している角速度センサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】１軸の回転系の角速度を検出する圧電振動片と１系列の検出手段でＺ軸回転系とＹ軸回転系の２軸の回転系の角速度検出を実現する角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ１は、基部２０と、基部２０または基部２０に接続された連結腕３１，３２からＹ軸に平行に延出されＹ軸に直行するＸ軸方向に屈曲振動を行う駆動腕４０，５０と、駆動腕４０，５０に平行な検出腕６０と、がＸＹ平面に形成される圧電振動片１０と、Ｙ軸回りの回転により与えられるＺ軸方向のコリオリ力により検出腕６０に発生する振動成分と、前記ＸＹ平面に対し垂直なＺ軸回りの回転により与えられるＹ軸方向のコリオリ力により検出腕６０に発生する振動成分との両方に応じて、検出信号を出力する検出手段と、が備えられている。また、検出腕６０の先端には、検出腕部６１，６２の幅の５〜１０倍の幅を有する錘部６３，６４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｙ軸回転系の捩れ振動成分の検出を実現する簡単な構造で小型の角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ１は、基部２０と、基部２０または基部２０に接続された第１の連結腕３１、第２の連結腕３２からＹ軸に平行に延出されＹ軸に直交するＸ軸方向に屈曲振動をする駆動腕４０，５０と、駆動腕４０，５０に平行な検出腕６０と、がＸＹ平面に形成される圧電振動片１０と、Ｙ軸回りの回転により与えられるコリオリ力により検出腕６０に発生する振動成分に応じて、検出信号を出力する検出手段と、が備えられている。Ｙ軸回転系の振動成分は検出腕６０の捩れ振動成分である。 （もっと読む）

【課題】本発明は各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】検出素子１１は、第２アーム１４の駆動振動面と第２アーム１４の歪面とが同一平面であって、前記第１、第２感知手段は、圧電体４１を介在させた上部電極２３と下部電極２２とからなる第１、第２感知電極部２９、３０を有し、圧電体４１には分極方向を異ならせた２つの分極部を並べて配置しており、第１、第２感知電極部２９、３０は各々１つの感知信号を出力するとともに、この感知信号に基づく加算信号から角速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出素子２と角速度検出素子４を互いに積層配置するとともに加速度検出素子２の錘部１２と離隔させて加速度検出素子２の上方に角速度検出素子４を配置し、かつ、角速度検出素子４は、加速度検出素子２の錘部１２と対向する対向面に、加速度検出素子２の錘部１２と離隔させる凹部２６を設けるとともに、この凹部２６の少なくとも一部は錘部１２の可動範囲（Ｈ）を超えない深さ（Ｄ）として、加速度検出素子２の錘部１２の上方可動を抑制した構成である。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸の慣性力を検出でき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持する支持部６と、支持部６に一端を連結するとともに他端を実装基板（図示せず）に固定する２つの固定用アーム８とを有する検出素子１を備え、第２アーム４には第２アーム４自身と対向するまで折曲した対向部１６を設け、第２アーム４の先端部には錘部１１を連結し、この錘部１１に凹部１２を設けるとともにこの凹部１２に第２アーム４の先端部を連結した構成である。 （もっと読む）

【課題】 小型に構成することができ、応答性に優れた角速度センサと、角速度センサ用のカンチレバーを提供すること。
【解決手段】 固定側に配された第１の支軸部１４と、該第１の支軸部に沿って揺動する第１の揺動部１２と、該第１の揺動部に配された第２の支軸部１５と、該第２の支軸部に沿って揺動する第２の揺動部１３と、該第２の揺動部に保持され回転駆動される回転体３５とを備え、前記第１の揺動部１２と前記固定側との間、および前記第１の揺動部１２と前記第２の揺動部１３との間にそれぞれ設けられ、前記第１の支軸部と前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する第１の回転角速度ω１と、該第１の回転角速度の作用する前記軸と、前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する第２の回転角速度ω２とが、それぞれ働くことにより生じる前記各揺動を検出するための第１および第２の検出体４０−１，４０−２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 小型に構成することができ、応答性に優れた角速度センサと、角速度センサ用のカンチレバーを提供すること。
【解決手段】 固定側に配された支軸部２３と、該支軸部に沿って揺動する揺動部２４と、該揺動部に保持され回転駆動される回転体３５とを備えており、前記支軸部２３と前記回転体の回転軸Ｍ１とが交差されており、前記揺動部２３と前記固定側との間に設けられ、前記支軸部と前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する回転角速度が働くことにより生じる前記揺動を検出するための検出体３１と有する。 （もっと読む）

【課題】干渉計を形成する方法を提供すること。
【解決手段】この方法は、単一の半導体基板上に、リング干渉計と、光ファイバジャイロスコープを形成するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉の主面に検知電極を設けた場合でも、出力信号の補正をすることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検知部２７と連続して音叉１１を構成する第１のアーム１２の長手方向の一端に、この第１のアーム１２の内側および外側に分岐する内側分岐部３３と外側分岐部３４を設けるとともに、外側分岐部３４に第１の調整部３５を設けた構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内に内蔵される回路の試験や調整を行うための端子において、実装前の状態においてパッケージ内の回路と電気的に接続する機能と、パッケージを外部装置に取り付けた状態においてパッケージ内の回路へのノイズの侵入を防ぐ機能とを備える。
【解決手段】電子回路を備えるパッケージは、電子回路から出力信号を出力する出力端子と、電子回路において所定電位を設定するための電位入力端子と、電子回路の回路調整を行う調整信号を入出力する調整用端子とを備え、調整用端子は、外部装置側の端子との接続状態において所定電位に設定する。調整用端子は、電子回路の回路調整時には、端子を通じて電子回路内に回路調整のための信号や電圧を入力し、実動時には、回路調整のための信号の授受を行わず、電源電圧や接地電圧等の所定の安定電位に設定し、調整用端子を通じて行われるノイズの電子回路内への侵入を低減する。 （もっと読む）

【課題】高い感度と低消費電力を実現することが可能な新規なレーザジャイロを提案する。
【解決手段】本発明のレーザジャイロは、リング状の光路４０（共振器）を備え光路４０を互いに逆方向に伝搬する第１および第２のレーザ光を発生させる半導体レーザ素子１００と、第１および第２のレーザ光のそれぞれを光路４０から引き出して重ね合わせるための結合手段（光導波路４１および４２）と、重ね合わされた第１のレーザ光と第２のレーザ光とによって生じる干渉信号を観測するための光検出器とを備える。光路４０には、光増幅を生じるアクティブ領域４０ａと、光増幅を生じないパッシブ領域４０ｂとが存在する。 （もっと読む）

【課題】温度ドリフトを低減し、製造歩留まりを向上させることが可能な圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】たとえば、中央基部７と、中央基部７から前後へ延出し、屈曲振動する１対の検出用振動アーム８ａ、８ｂと、検出用振動アーム８ａ、８ｂに直交して中央基部７から左右へ延出する１対の連結アーム９ａ、９ｂと、検出用振動アーム８ａ、８ｂに平行して連結アームの先端に設けられた基部から前後に延出し、屈曲振動する２対の駆動用振動アーム１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂと、電極を有する基板１３と、中央基部７を支持し、中央基部７に一端が固定され、基板１３の電極に他端が固定された金属タブテープ１４と、金属タブテープ１４に設けられた樹脂２１と、を備えた圧電振動ジャイロ。 （もっと読む）

【課題】加速度センサからの出力値を補正することで移動体の移動中の姿勢角を精度良く検出する姿勢角検出装置及びその方法を提供する。
【解決手段】移動体７に加わる加速度を測定する加速度センサ２と、移動体７のヨーレートを測定するヨーレートセンサ３と、移動体７の速度を測定する速度センサ４と、速度から実加速度を計算し、ヨーレートと速度とから遠心力を計算し、実加速度と遠心力との合力である移動成分加速度を計算する移動成分加速度計算手段５と、移動成分加速度で加速度を補正して得られる重力加速度から姿勢角を計算する姿勢角計算手段６と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品を一層小型化するための新規の設計法を提供すると同時に、部品の縮小化に伴う感度の低下を解決する表面搭載型ＭＥＭＳ共振センサ、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】平面内で励振する共振器４を備えた表面型ＭＥＭＳ共振センサであって−第１の厚さ（Ｅ_１）を有し、振動マスを構成する、いわゆる厚い第１領域２と、−第１の厚さより小さい第２の厚さ（Ｅ_２）を有し、検出を行なう薄い第２領域４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ジャイロの構成部品間で光ビームを送るための薄膜導波管を使用する低コストの光ジャイロのための方法および装置を提供する。
【解決手段】ジャイロは、絶縁体層を有する基板（１６）と、絶縁体層に形成されるシリコン導波管（１６）と、シリコン導波管に結合され、第１の光ビームの一部分を第１の逆向き伝搬方向に循環させ、第２の光ビームの一部分を第２の逆向き伝搬方向に循環させるように構成された共振器（１８）とを備える。第１のシリコン導波管は、それを通して第１および第２の光ビームを伝搬させる。第１および第２の光ビームの各々は、共振器内を循環するとき、共振周波数を有する。 （もっと読む）

（１００）および（１１１）シリコン基盤上に実装された容量式バルク超音波ｘ・ｙおよびｚ軸ジャイロスコープが開示される。典型的なジャイロスコープは、ハンドル基盤・ハンドル基盤に支持されたバルク超音波共振素子・共振素子の周りの非常に小さい容量式間隙によって隔離された複数個の電極からなる。電極は共振回路内で少なくとも２つの変性バルク超音波共振モードを励振し検知可能である。小型化されたサイズ・ノイズとバイアス安定性・広い帯域を向上させる高いＱ、そして向上された対衝撃性において優位性がある。加えて、高いＱは大気圧または大気圧に近い圧力においても維持され、それはコストとジャイロスコープのパッケージング時のウエハー規模の複雑性を削減している。バルク超音波モードを用いるジャイロスコープ１０にとっては、通常電気的ノイズによって制限される、最小可観測回転各速度は、従来手に入る振動型マイクロジャイロスコープに比べると、複数桁のオーダーの違いで改善することが可能である。
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【課題】揮発性メモリの故障を検知することにより、常に、正確に揮発性メモリによる補正データの比較をすることが可能な信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】電源立ち上げ時に前記読み出し用揮発性メモリ７８および比較回路７９の初期化動作完了後に前記読み出し用揮発性メモリの初期データを比較回路７９を介して比較することにより、この読み出し用揮発性メモリ７８および比較回路７９の故障診断をする構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】出力用揮発性メモリが故障している場合には、故障状態を認識することにより、常に正確な出力信号を出力可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】電源立ち上げ直後に前記不揮発性メモリ７７から読み出し用揮発性メモリ７８および比較回路７９を介して出力用揮発性メモリ８０に移送された初期データの最初の２ビットが所定のデータであることを確認することにより、出力用揮発性メモリ８０の故障診断をする構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】故障時の角速度センサの出力信号を即座に認識可能な信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】検出回路４６からのアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器６０と、このＡ／Ｄ変換器６０により変換されたデジタル信号を記憶する記憶手段６２と、外部に設けたマスタコンピュータ６８とチップセレクト端子６４、クロック端子６７、入力端子６５および出力端子６６を介して電気的に接続された通信制御回路６３とを備え、前記Ａ／Ｄ変換器６０から出力されるデジタル信号からなる角速度情報に故障情報を付加させる構成としたものである。 （もっと読む）