【課題】複数の検出軸の慣性力を検出でき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持する支持部６と、支持部６に一端を連結するとともに他端を実装基板（図示せず）に固定する２つの固定用アーム８とを有する検出素子１を備え、第２アーム４には第２アーム４自身と対向するまで折曲した対向部１６を設け、第２アーム４の先端部には錘部１１を連結し、この錘部１１に凹部１２を設けるとともにこの凹部１２に第２アーム４の先端部を連結した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム８の一端を支持する支持部１２と、第２アーム１０の先端に連結した錘部２とを有し、第１アーム８の厚みを第２アーム１０の厚みよりも薄くし、かつ、第１アーム８の他端にて実装基板に固定した構成である。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル配線板の弾性力を接触方向に作用させてフレキシブル配線板の接続端子を接続し、その接続にずれを生じさせることがない端子接続構造を有した電子部品装置を提供する。
【解決手段】 物理量を検出する水晶振動子１３および電子部品素子が取り付けられる実装基材１０と、実装基材１０への振動を吸収する振動吸収部材１６と、これら実装基材１０および振動吸収部材１６を搭載する基台２０と、実装基材１０および基台２０の各端子部を接続するフレキシブル配線板３０と、を備えている。このフレキシブル配線板３０は、弾性的に曲げ変形可能な帯状部３１を有し、この帯状部３１を弾性的に曲げた状態で、実装基材１０および基台２０の端子部１９、２３に接続端子３２、３３が対面接触し、且つ接続端子３２、３３に対して、接続対象の端子部１９、２３を押圧する方向に、帯状部３１の曲げにより生じた弾性力が作用している。 （もっと読む）

【課題】ディザースプリングとブロックの接合構造にディザ角振動伝達に十分な接合強度を備えるリングレーザージャイロを供給する。
【解決手段】回転運動を検出するブロック６１と、リングレーザージャイロにディザー角振動を印加するために、ブロック６１の中央部の円形貫通穴６２に装着されて、円筒形の外周壁６４と、中心から外周壁６４に向かって、放射方向に伸長する複数の腕６８を有するディザースプリング６３と、を備える前記ジャイロにおいて、ディザースプリング６３の外周壁６４の外周面６４ａ上には、ディザースプリング６３の軸線と平行な直線状の凸部６６、あるいは溝７２が複数の腕６８の隣接間にそれぞれ備えられ、ブロック６１の貫通穴６２の内周面６２ａ上には、凸部６６あるいは溝７２にそれぞれ嵌合された直線状溝７２あるいは凸部８２が備えられていることを特徴とするリングレーザージャイロ。 （もっと読む）

【課題】複数の検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】２つの第２アーム４に配置された第１感知手段１９と第２感知手段２０と第３感知手段２１は検出回路部に接続され、この検出回路部において、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂから出力される角速度信号に基づき角速度を検出しており、この角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＹ軸周りのＹ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号および可撓体の振動成分信号が含まれ、上記の検出回路部には、これらのＸ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】コリオリ力に起因して撓む第２アーム４に形成した角速度検出部と、錘部１１の可動に起因して撓む第１アーム２に形成した加速度検出部とを有する検出素子１を備え、検出素子１は、相互作用を抑制する抑制層を介在させて積層した圧電層と歪抵抗層とを設け、角速度検出部は、コリオリ力に起因して撓む第２アーム４の状態変化を圧電層で検出して角速度を検出し、加速度検出部は、錘部１１の可動に起因して撓む第１アーム２の状態変化を歪抵抗素子３０で検出して加速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２の一端を支持する支持部６とを備え、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂを第２アームに配置し、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂは、上部電極１５と下部電極１４との間に圧電層１３を介在させて形成し、上部電極１５から上部信号線１５ａを引き出すとともに下部電極１４から下部信号線１４ａを引き出し、かつ、互いに対向させずに引き出した構成である。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を受け難く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部４１の表面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結された上連結腕２１および下連結腕２２と、上連結腕２１に連結された一対の上検出腕２３と、各上検出腕２３の表面に形成された圧電素子２３Ａ，２３Ｂと、下連結腕２２に連結された一対の下検出腕２４と、各下検出腕２４の表面に形成された圧電素子２４Ａ，２４Ｂと、各上検出腕２３に連結された上駆動腕２５と、各上駆動腕２５の表面に形成された圧電素子２５Ａ，２５Ｂと、各下検出腕２４に連結された下駆動腕２６と、各下駆動腕２６の表面に形成された圧電素子２６Ａ，２６Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、補正データの分解能を高くしても、記憶手段の容量が大きくなって、角速度センサおよびその出力信号が入力される車両制御装置が大きくなるということがない小形の角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出回路３７からの出力信号を補正する補正データを少なくとも２次曲線以上の較正曲線で構成するとともに、この較正曲線の係数を記憶手段５０に記憶するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 振動子の発振の妨害を最小限に抑えて効率的に発振起動を行うことで発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための駆動装置は、前記振動子に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と、所与の電圧値を基準に、前記電圧値に変換された信号に基づいて前記振動子に駆動振動を励振するコンパレータと、前記発振ループ内で前記電流電圧変換器と前記コンパレータとの間に設けられたハイパスフィルタとを含む。ハイパスフィルタの基準電位を変化させて前記振動子に駆動振動を励振した後に、前記基準電位を固定して前記振動子に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

【課題】簡素な工程で水晶振動片の周波数の値を制御し、個々の水晶振動片の離調度バラツキが小さい水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】基部と複数の振動脚とを有する複数の水晶振動片の外形を決める複数の耐食膜パターンを、水晶ウエハーの主表面に形成する耐食膜パターン形成工程と、エッチングにより前記水晶振動片の外形を形成するエッチング工程と、前記水晶振動片に電極を形成する電極成形工程と、を有する水晶振動子の製造方法において、前記複数の耐食膜パターンは、前記水晶ウエハーの形状特性に対応するために、前記水晶ウエハーに配置される位置によって、それらの外形形状が異なることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】非常に大きな衝撃が検出素子に加わっても、検出素子の破壊を抑制したセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】この検出素子２４は、第１アーム２６を第２アーム２８に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２６の一端を支持する支持部３０とを有し、第１アーム２６はメアンダ形状であって弾性を有し、支持部３０に対して対称形状としており、第１アーム２６には歪抵抗素子を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】 回路規模を増大させることなく発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための発振駆動回路１０は、発振ループ内に設けられ振動子１２に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器３０と、発振ループ内に設けられ電流電圧変換器３０の出力と所与の電圧との比較結果に対応した信号を振動子１２に出力するコンパレータとしてのＧＣＡ２０とを含む。ＧＣＡ２０が、発振起動過程では、第１のハイレベル電圧又はローレベル電圧を出力し、発振定常状態では、第２のハイレベル電圧又はローレベル電圧を出力する。第１のハイレベル電圧は、第２のハイレベル電圧より高電位の電圧である。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を除去し易い、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部４１の上面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結されると共にセンサ素子支持部４１の上面と平行な面に沿って延在する上検出腕２１および下検出腕２２と、上検出腕２１を間にして固定部２０に連結されると共に上検出腕２１の延在方向に延在する一対の上振動腕２３とを備える。つまり、本角速度センサ素子２では、下検出腕２２が上検出腕２１および一対の上振動腕２３のそれぞれの延在方向とは反対側に延在して形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１個のみの球型軸受け体を用いて可動体を２軸方向に可動させ、小型化と簡易化を目的とする。
【解決手段】本発明による空間安定装置は、フレーム(1)の1個のみの球型軸受け体(24)を介して可動体(9)を２軸可動とし、一対のリニアアクチュエータ(25,30)及び非接触型位置センサ(32)を用いて可動体(9)の空間安定動作を行う構成である。 （もっと読む）

性能の改良を得るための、振動の面内寄生モードを持つ平面共振子ジャイロの動作が開示される。円板共振子ジャイロ等の平面共振子ジャイロは、埋め込み電極により作動可能である。埋め込み電極は、平面共振子に隣接し、寄生振動モードの１以上のアンチノードに近接して配設可能である。寄生モードの検出された振幅は、ジャイロの作動に用いられる差動信号に加えられる。寄生モード減衰用のフィードバックコントローラは、平面共振子の寄生振動モードの１以上のアンチノードに近接して配設された、平面共振子に隣接する１以上の駆動電極に対して、比例電圧から生成された駆動電圧を印加する。よって、寄生面内モードを、アナログオペアンプまたはディジタルフィードバックを介して加えられる能動的な減衰により、ジャイロの動作に際して減衰させ得る。
（もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を受け難く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】固定部２０と、固定部２０の北側に連結された北側振動腕２１と、固定部２０の南側に連結された南側振動腕２２とを備える。北側振動腕２１は、固定部２０の北側に連結されると共に固定部２０の北側に延在する北側検出腕２３と、北側検出腕２３の固定中央部２０Ａとは反対側の端部に連結された北側梁部２４と、北側梁部２４の両端にそれぞれ連結された一対の北側駆動腕２５および加重部２６とを有する。南側振動腕２１は、固定部２０の南側に連結されると共に固定部２０の南側に延在する南側検出腕２７と、南側検出腕２７の固定部２０とは反対側の端部に連結された南側梁部２８と、南側梁部２８の両端にそれぞれ連結された一対の南側駆動腕２９および加重部２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】 振動子の発振の妨害を最小限に抑えて効率的に発振起動を行うことで発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に基づいて前記振動子から出力される検出信号を同期検波した出力信号を用いて物理量を測定するのに際して、前記振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための駆動装置は、前記振動子に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と、前記発振ループ内の発振振幅を制御して前記振動子に駆動振動を励振するゲインコントロールアンプと、前記発振ループ内で前記電流電圧変換器と前記ゲインコントロールアンプとの間に設けられたハイパスフィルタとを含み、ハイパスフィルタの基準電位を変化させて前記振動子に駆動振動を励振した後に、前記基準電位を固定して前記振動子に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

【課題】航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いられる慣性力センサに関して、検出精度を高める。
【解決手段】慣性力センサを構成する駆動回路２を、モニタ電極８から出力されたモニタ信号１１をＡＤ変換してモニタ信号１１のデジタル値及び振幅情報を形成し、振幅情報を予め決められた基準振幅情報と比較し、この比較情報を基にモニタ信号１１のデジタル値を演算処理してマルチビット信号に変換し、このマルチビット信号を所定の出力信号に変換し駆動電極６に出力する構成としたのである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特に、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いられる慣性力センサに関して、検出精度を高めることを目的とする。
【解決手段】慣性力センサを構成する駆動回路２を、センス素子１から出力されるモニタ信号１１を１ビットデジタル信号にシグマ・デルタ変換して振幅情報を形成し、この振幅情報を予め決められた基準振幅情報と比較し、この比較情報を基にモニタ信号１１を演算処理し、マルチビット信号に変換し、このマルチビット信号を所定の出力信号に変換し、駆動入力に出力するとともに、演算処理は、モニタ信号１１より形成される矩形波信号と比較情報とを演算させる構成とした。 （もっと読む）