【課題】駆動振動系が受けたコリオリ力を直接的に検出振動に反映させるようにすることで、振動特性を安定させた角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、少なくとも１つの駆動腕３と、駆動腕３の両端を支持する枠２と、枠２および駆動腕３を含む検出振動系１１の振動を検出する検出腕４と、を有する単位構造を少なくとも１つ備える。 （もっと読む）

電子アセンブリを形成するためのシステムおよび方法が提示される。第１の感知軸を有する第１の慣性センサが、ブラケットに装着される。第２の感知軸を有する第２の慣性センサは、第２の感知軸が第１の感知軸に対して実質的に直交となるように、ブラケットに装着される。ブラケットは、少なくとも１つのマイクロ電子デバイスが設置された回路基板に装着される。
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【課題】素子部における振動の伝達過程における枠状の固定部の変形を防止して、素子部において効率良く駆動系から検出系の振動腕へ振動を伝達させることにより、検出出力を高めることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子２は、枠状の固定部２１と、固定部２１の枠内に固定され、駆動系及び検出系の振動腕２２〜２４を備えた素子部２０と、固定部２１上であって少なくとも固定部２１と素子部２０との連結部位に形成された、固定部２１を補強する接着剤２６（補強材）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】外部から突発的な振動が与えられた場合であっても、その振動を吸収して、素子部への振動の伝達を防止することができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子２は、枠状の固定部２１と、固定部２１の枠内に配置され、駆動系及び検出系の振動腕２１〜２４を備えた素子部２０と、固定部２１に両端が連結された両持ち梁状に形成され、梁の途中において素子部２０に連結された連結部２５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度検出部と加速度検出部とを有し、検出素子２は、第１アーム４と第２アーム６とを直交方向に連結して形成した直交アームと、第１アーム４の一端を支持する支持部８とを有し、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸において、第１アーム４をＸ軸方向に配置し、第２アーム６をＹ軸方向に配置し、角速度検出部は、第２アーム６をＸ軸方向に振動させ、角速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき角速度を検出しており、加速度検出部は、加速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき加速度を検出しており、第１アーム４の厚みを支持部８の厚みよりも薄くした構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸において、第１アーム４をＸ軸方向に配置し、第２アーム６をＹ軸方向に配置し、角速度検出部は、第２アーム６をＸ軸方向に振動させ、角速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき角速度を検出しており、加速度検出部は、加速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき加速度を検出しており、対向部２１はＸ、Ｙ、Ｚ軸方向のいずれかの軸方向の加速度に起因していずれかの軸方向に可動自在であって、加速度に起因した対向部２１の可動によって変化する対向電極２２間の静電容量に基づき加速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、周期性を有するジッタノイズが検波タイミングの位相誤差として発生するということはなく、出力特性が安定している角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、センス回路８１とドライブ回路４１とにタイミング信号を出力するタイミング制御回路７１に、定電圧出力器１２８ａと電圧制御発振器１２９を有するＰＬＬ回路１２１と、振幅判定回路１２４を設け、さらに前記ＰＬＬ回路１２１には、前記振幅判定回路１２４の出力信号に応じてタイミング信号を切り替えるタイミング切替手段１２８を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出するにあたり、検出誤差の発生を抑制し、検出精度の向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度検出部と加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、互いに対向する第１、第２対向基板５、１５と、各々の対向面に配置した第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と第５〜第８対向電極１５、１７、１９、２１と、これら対向電極と静電容量結合するとともに第１、第２対向基板５、１５の各々の対向面に配置した接地電極３０とを有し、この接地電極３０を第１、第２対向基板５、１５の各々の対向面に配置された隣接する対向電極の間に設けた構成である。 （もっと読む）

本発明の方法は、現実のナビゲーション環境における計算による移動体の軌道と、少なくとも１つの基準軌道とを比較することによって、角運動シミュレータ２に搭載されている移動体の慣性ユニット３を検査するハイブリッドシミュレーションを実施する。 （もっと読む）

本発明は、自動利得制御ループを使用した力平衡制御システム及び制御方法に関するもので、質量体の速度信号を制御する自動利得制御ループを使用して振動型角速度計の力平衡フィードバック制御を遂行するように構成され、複雑で雑音に敏感な従来のデジタル回路を簡単なアナログ回路で具現することができ、マイクロ角速度計に適用可能であるのみならず、汎用振動型角速度計または慣性センサー、圧力センサー、温度センサーなどの多様なセンサーに拡張可能な効果がある。
さらに、本発明の自動利得制御ループを使用した力平衡制御システムを多様なセンサーに適用することで、センサーの動的領域、帯域幅、線形性などの性能向上をはかることができる。
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【課題】本発明は、補正データに改竄が生じた場合に、改竄が起きているビット自身の特定を可能にして、容易に補正データを修正することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１の不揮発性メモリ６４におけるパリティ領域を水平パリティ７４、第１の垂直パリティ７１および第２の垂直パリティ７２で構成し、データ領域７３、水平パリティ７４の水平方向およびデータ領域７３、第１の垂直パリティ７１、第２の垂直パリティ７２の垂直方向のデータの和が奇数または偶数に統一されるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの周囲の温度が急激に変化する環境下においても、正確に角速度を検出することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ケース３０の外側に周囲の温度を測定する外側温度センサを設けるとともに、ケース３０の内側にケース３０の内側の温度を測定する内側温度センサ５８を設け、さらに前記ケース３０の内側に温度可変素子５７を設けた構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】自己較正型の容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロを提供する。
【解決手段】閉ループ・モードで動作される容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロを有する。自己較正システムは、容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロスコープに動作提供に結合されている。ジャイロのジャイロ・バイアスの自己較正は、ジャイロのアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することによって実現される。 （もっと読む）

【課題】慣性速度センサ素子が正常に動作していない場合であっても、異常を検知する。
【解決手段】慣性速度センサ素子１１は、駆動電気信号Ｓｄの周波数および振幅に応じて振動しその振動に対応する振動電気信号Ｓｏを出力するとともに、自己に加えられた慣性力に対応する慣性電気信号Ｓｉを出力する。駆動回路１２は、振動電気信号Ｓｏに応じて駆動電気信号Ｓｄの周波数および振幅を調整する。慣性力検出回路１３は、アナログ検波用信号（クロック信号ＣＬＫ１）用いて、慣性電気信号Ｓｉから慣性力成分を抽出する。異常検知回路１４は、駆動回路１２の動作状態が正常であるのか異常であるのかを判定する。また、異常検知回路１４は、ＣＲ発振器１５からのクロック信号ＣＬＫ２に同期して駆動回路１２の動作状態が異常である期間（異常状態期間）を計測し、その異常状態期間が異常検知期間（予め定められた期間）に到達すると異常検知信号Ｓａを出力する。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロセンサのような、すでに小型である電子部品装置をさらに小型化でき、かつ、組み立てやすいことにより、製品歩留まりのよい電子部品装置の提供を課題とする。
【解決手段】基材１０と基台２０とをＵ字状に折り曲げたフレキシブル配線板３０で電気的に接続したものを振動吸収部材１６と共に有底筒状のケース内に装てんする際に、フレキシブル配線板３０の屈曲されたＵ字状空間に振動吸収部材１６の一部である連結部１６ｄを配置する。基材１０と基台２０の端子部が近接するため、Ｕ字状に屈曲されたフレキシブル配線板３０の両端部における第１の接続端子３２と第２の接続端子３３とが近接しても、前記Ｕ字状空間の連結部１６ｄがスペーサとなって第１の接続端子３２と第２の接続端子３３とが短絡してしまう事態を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１、第２アーム４、６、錘部１４をＺ軸方向で挟むように、Ｚ軸の正方向に配置した第１対向基板２４とＺ軸の負方向に配置した第２対向基板２６とを設け、第１アーム４により第２アーム６および支持部８を中空保持して、第１、第２対向基板２４、２６が互いに接触しないように一定の間隔を設けるとともに、錘部１４と第１対向基板２４の各々の対向面に対向電極２２を配置し、支持部８のＺ軸方向における変位を抑制するストッパーを支持部８のＺ軸方向に設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】過大な衝撃が与えられた場合であっても、振動腕の破壊を防止することができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子２は、半導体材料により形成される振動腕２２，２３，２４と、振動腕の振動範囲を制限するように設けられたストッパ部材とを有する。このようなストッパ部材として、例えば、振動腕の少なくとも１つの面内における振動範囲を制限する第１のストッパ部材２５が設けられる。固定部２１、振動腕２２，２３，２４および第１のストッパ部材２５は、シリコンのような半導体材料を加工することにより一体的に形成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、簡易な構成、かつ二軸方向の検出が可能である、干渉縞発生装置、リングレーザジャイロ及びリングレーザジャイロの形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明のリングレーザジャイロは、基体が有する基準平面に直交する方向へ、当該基準平面に対して平行に積層される平板状プリズム基板を有し、周回光路で発振した順逆方向のレーザ光の各一部が平板状プリズムの入射面から平板状プリズムに入射し、順逆方向のレーザ光のうちいずれか一方のレーザ光が平板状プリズムの２つの反射面で反射され、他方向のレーザ光に対して微小角度で交叉した状態で重ね合わされて干渉縞を発生し、当該干渉縞の変化を検出手段で検出する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で消費電力が少ない新規な光ジャイロ素子を提供する。
【解決手段】本発明の光ジャイロ素子は、環状の光路５０を互いに逆方向に伝播するレーザ光Ｌ１およびＬ２の周波数差から回転角速度を求める。この光ジャイロ素子は、第１の基板１０に形成された光導波路１１と、第２の基板に形成された半導体光増幅器４０と、レーザ光Ｌ１およびＬ２の一部を環状の光路５０から引き出す引き出し手段と、レーザ光Ｌ１およびＬ２の周波数差を観測するフォトダイオード３１と、実装基板７０とを備える。半導体光増幅器４０は、少なくとも一部が光増幅領域である光導波路２２を含む。光導波路１１の２つの端部と光導波路２２の２つの端部とが結合されるように、第１の基板１０および半導体光増幅器４０が実装基板７０上に配置されている。そして、光導波路１１と光導波路２２とによって環状の光路５０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）