【課題】トリミングに起因した音叉アームの破損を抑制した慣性力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】慣性力を検出する音叉型の振動子１０と処理回路とを備え、振動子１０は、２つの音叉アーム１２、１３と、これらを連結する基部１４とを有し、音叉アーム１２、１３の一方の面は電極１５を形成した電極面１６とし、他方の面はトリミング部１７を形成したトリミング面１８とし、トリミング部１７は音叉アーム１２、１３の角部１９を除いた部分に形成した構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１、第２の質量部の振動が固定部を介して外部へ漏れることを低減するとともに、第１、第２の質量部の振動振幅が過大とならないようにでき、これにより、安定で、高精度な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と、第２の質量部２６の固有周波数とに差を設けるとともに、前記第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と前記第２の質量部２６の固有周波数との差を、前記第１の質量部を共振駆動する振動周波数の±３８％以内としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自己診断機能を有する回路の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、ＡＤ変換器１３のサンプリン
グ周波数を変化させる周波数可変回路１５と、ＡＤ変換器１３の出力信号に通過帯域を制限するフィルタ１６と、フィルタ１６を通過したＡＤ変換器１３の出力信号におけるノイズレベルの積分値を算出する出力電圧判定回路１７と、を備え、ＡＤ変換器１３のサンプリング周波数を前記フィルタ１６における通過帯域外まで変化させることにより、ＡＤ変換器１３の量子化ノイズレベルを変化させ、当該量子化ノイズレベルの積分値が所定の範囲内にあるか否かを前記出力電圧判定回路１７において判定することにより自己診断を行う電子機器としたものである。 （もっと読む）

【課題】 占有面積の縮小、容量の増大、ブラウンノイズの低減及び可動部の質量の増大等の二律背反の要請をバランスよく満足して検出精度を向上することができるＭＥＭＳセンサー及びその製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサー１０は、固定部２０と、弾性変形部３０と、弾性変形部を介して固定部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部４０と、固定部に第１の方向Ａに沿って配列固定され、第１の方向と直交する第２の方向Ｂに沿って突出する複数の固定電極部５０と、可動錘部より第２の方向に沿って突出形成されて、複数の固定電極部５０にそれぞれ対向して配置され、第１の方向に沿って配列された複数の可動電極部６０とを有する。可動錘部４０は、複数の可動電極部と同一の層に形成され、複数の可動電極部を連結する連結部４２と、複数の可動電極部及び連結部とは異なる層に形成され、連結部に接続された付加錘部４６とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子における共振振動の周波数を変化させることができる構成を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、振動子１１と、モニタ回路１２と、フィルタ回路１３と、振動制御回路１４と、駆動回路１５とを少なくとも有する振動子駆動制御回路ループ１６と、前記振動子駆動制御回路ループ１６内における信号が基準信号として入力されると共に前記振動子１１の振動周波数と同期した信号を生成し出力する位相同期回路１７と、前記位相同期回路１７の出力信号周波数が前記基準信号に対して独立となるよう切り替える切替回路２１とを具備し、前記フィルタ回路１３が、前記位相同期回路１７の出力信号周波数に応じてその通過周波数帯域を可変させるセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の検出精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、位相調整部３０が前記ドライブ入力処理部１０の温度特性と検波部２１の温度特性との差を用いてドライブ信号の位相を調整する構成としたものである。この構成により、ドライブ入力処理部１０や検波部２１が温度特性を持っていても、位相調整部３０がドライブ入力処理部１０の温度特性と検波部２１の温度特性との差を用いてドライブ信号の位相を調整するため、ドライブ信号とセンス信号との周波数ずれの発生を抑制することができ、正しい検波を可能とすることができるため、その結果としてセンサ装置の検出精度を向上させることができるのである。 （もっと読む）

【課題】引出電極の断線を防止することができ、高い信頼性を有する双音叉型振動片を提供する。
【解決手段】本発明に係る双音叉型振動片１００では、引出電極１１２，１２２は、隣り合う領域のうちの、一方の領域の表面または裏面に形成された励振電極１１０，１２０から延出し、少なくとも二又に分岐して、分岐した一方の電極が他方の領域の一方の側面に形成された励振電極１１０，１２０と接続し、分岐した他方の電極が他方の領域の他方の側面に形成された励振電極１１０，１２０と接続し、引出電極１１２，１２２の励振電極１１０，１２０から延出している部分の幅の大きさは、領域の表面または裏面に形成された励振電極１１０，１２０の幅の大きさ以上である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、誤検出を低減させることができるとともに、角速度センサ素子の耐久信頼性を向上させることができる角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】振動部２における駆動電極６および検出電極７が形成された面に駆動電極６および検出電極７を覆う保護膜８を設けるとともに、保護膜８を振動部２と固着部３との境界部にも形成し、かつこの境界部に位置する保護膜８に溝を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センス電極の周りの回路パターンが断線した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電圧源７７を第１の断線検知スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電圧源７９を第２の断線検知スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の出力信号の感度が劣化したままの状態で出力信号を出力し続けるということがなく、振動子の出力信号の感度を監視することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ドライブ回路の出力信号を第１のセンス電極３４または第２のセンス電極３５のうちのいずれか一方のセンス電極に入力するとともに、他方のセンス電極からの出力信号を検出することにより、振動子３０の出力信号の感度を監視する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】人工衛星、航空機等の姿勢制御装置としてジャイロ機構を適用する際に、ロータのスピン軸回り回転速度を可変とした場合でも、ジャイロ機構の制御性能を維持もしくは向上させることのできるジンバル制御装置を得る。
【解決手段】ジンバル軸回りの回転角度の検出結果に基づく制御演算結果から、ジャイロ機構１０のジンバル・モータ７をフィードバック制御するジンバル制御装置であって、ロータ１のスピン軸回りの回転速度に応じて、ジンバル軸回りの回転角速度あるいは回転角度を制御するためのフィードバック制御ゲインを変化させる制御部９を備える。 （もっと読む）

ディスク状共振器ジャイロスコープ（ＤＲＧ）のようなプレーナ共振器ジャイロスコープのパッケージング方法が開示される。１つの実施形態では、パッケージングされた共振器ジャイロスコープは、支持材と、支持材に取り付けられた基板と、基板に接続されて基板とベースプレートとの間に空洞を画定するベースプレートと、ベースプレートに取り付けられ、かつ空洞内に吊り下げられている共振器とを備える。他の実施形態も記載される。
（もっと読む）

【課題】高速スピン条件下で飛行中の飛行体のためのバイアス誤差を高精度で推定する。
【解決手段】飛行体１００の処理部１３０は、カナード１５２の展開前の時間１及び時間２それぞれにおいて、ジャイロスコープ１１２、Ｘ、Ｙ及びＺ方向の加速度計１１４から一連のデータを収集する。そして、２つの時点で収集したデータに基づき、Ｙ方向加速度計の推定加速度計バイアスb_Yを、b_Y＝(A_Y2ω₁²−A_Y1ω₂²)／（ω₁²−ω₂²）によって計算する。ω_１及びω_２は、ジャイロスコープから得られた時間１及び２でのロールレート、A_Y1及びA_Y2は、Ｙ方向加速度計によって測定された時間１及び時間２での加速度である。Ｚ方向加速度計についても同様に計算する。 （もっと読む）

本発明は、基板上に作られた共振マイクロジャイロスコープの連結構造（５）に関し、連結構造は、励起手段（３，４）によって与えられた振動運動が第１軸に沿って検出されることを可能にし、かつ第１軸を含む平面に載置された振動質量体（１，２）に伝達されることを可能にする。連結構造は、振動質量体にのみ固定されるような、振動質量体に接続されたビーム（５）の閉じた組立体を含み、励起手段によって与えられた振動運動を検出するように、かつ前記平面に収容される少なくとも第２軸に沿って振動質量体（１，２）に伝達するように組立体は配置され、連結構造は、固定点を有しない。
（もっと読む）

【課題】バネ・錐振動系の振動を効率的に減衰させることができる慣性センサーを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる慣性センサー１００は、基部１２、基部１２に連続する弾性部１４、および、弾性部１４に連続し弾性部１４によって支持され、慣性力によって変位可能な質量部１６を有する基体１０と、弾性部１４の歪みを電界に変換する圧電変換構成２０と、前記電界を熱に変換する電熱変換部３０と、基部１２と質量部１６との間に発生した力に反応する変位検出部４０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動体の溶融により発生した加工屑を確実に除去することができる角速度センサ素子の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子の製造方法は、Ｓｉウエハ３４の上面にフィルムテープ３６を貼付した後、前記フィルムテープ３６をＳｉウエハ３４から剥離すると同時に、レーザ照射時に発生した加工屑３７をフィルムテープ３６に吸着させることにより除去する工程を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】直交配置される３つの光ファイバコイルを一体化することができ、寸法精度および機械的強度に優れた光ファイバコイル用ボビンを提供する。
【解決手段】ボビン１０は、立方体の中実ブロックからなり、その外表面１１が、互いに直交する一対の第１平面部１２，１２と、一対の第２平面部１３，１３と、一対の第３平面部１４，１４と、から構成されている。外表面１１には、光ファイバを巻回するための３つの巻線溝１５，１６，１７が形成されている。３つの巻線溝１５，１６，１７は、いずれも外表面１１において開放され、第１平面部１２、第２平面部１３、および第３平面部１４に対してそれぞれ平行に周回している。そして、３つの巻線溝１５，１６，１７は、それぞれの中心を中実ブロックの中心点Ｃに一致させ、かつ、互いに半径が異なる円形を形成するように周回している。 （もっと読む）

【課題】音叉型振動子からなる角速度センサの検出感度を安定化する。
【解決手段】角速度検出素子０と、当該角速度検出素子０に与えられた角速度を検出する角速度検出回路部１とで角速度センサを構成する、角速度検出回路部１は、角速度検出素子０から得られるモニタ信号を用いて当該角速度検出素子０から得られるセンス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路３０を備える。このノイズキャンセル回路３０中の振幅調整回路４にて、加算切り替え用アナログスイッチを構成するＮＭＯＳＦＥＴとＰＭＯＳＦＥＴとの各々の基板電位をソース又はＧＮＤ・電源に切り替えるスイッチ回路を設け、アナログスイッチがオンの場合には基板電位を信号ラインに、オフの場合には電源・ＧＮＤにそれぞれ切り替えることで、当該アナログスイッチのオン抵抗増加を抑える。 （もっと読む）

【課題】角速度センサにおいて、その小型化を図る。
【解決手段】検出素子１１は、基部１２と駆動信号が入力される駆動用電極１３を有し基部１２に接続された駆動用アーム１４Ａ、１４Ｂと、基部１２に接続され検出信号を出力する第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂとを有し、第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂは互いに並走するよう形成され、第１の検出用アーム１５Ａには第１、第２の検出電極１７Ａ、１７Ｂが、第２の検出用アーム１５Ｂには第３、第４の検出電極１７Ｃ、１７Ｄが形成され、第１の検出用アーム１５Ａにおいて、第１の検出電極１７Ａは第２の検出用アーム１５Ｂと反対側に形成され、第２の検出電極１７Ｂは第２の検出用アーム１５Ｂ側に形成され、第２の検出用アーム１５Ｂにおいて、第３の検出電極１７Ｃは第１の検出用アーム１５Ａ側に形成され、第４の検出電極１７Ｄは第１の検出用アーム１５Ａと反対側に形成された構成とする。 （もっと読む）

開示されるマイクロ加工ディスク状共振器ジャイロスコープ（ＤＲＧ）は、外部温度及び応力の影響をほとんど受けないように設計されている。ＤＲＧは、角速度を測定する振動型ジャイロスコープであり、外部温度及び機械的な応力に対する感度が低くなるように設計される。ＤＲＧは、集積された絶縁体を特徴とし、この集積された絶縁体は、電極ウェハと同じウェハ上に作製されて、複数の集積絶縁梁を形成する。更に、ＤＲＧは、ウェハレベル気密真空封止部、フリップチップボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）、及び垂直電気貫通接続部を含むことにより、信頼性を高め、製造コストを低減することができる。追加の支持層は、衝撃緩和部、垂直電気貫通接続部、及びフリップチップＢＧＡと一緒に使用することができる。ゲッター及び衝撃緩和部を内蔵するパイレックスキャップまたは石英キャップを用いることができる。
（もっと読む）