【課題】 補助的な光ジャイロを有しながらも小型で安価な光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】 光ファイバジャイロ１は、主要な検出系である第１の光ジャイロ１１と補助的な検出系である第２の光ジャイロ３１と、から構成されている。第１の光ジャイロ１１は、両端面から光を出射させる半導体レーザ１２と、光ファイバをボビンに多重巻きして光ファイバコイル部１６ｂを形成してなる感知コイル１６を有し、半導体レーザ１２の両端面１２ａ，１２ｂから出射した光を互いに反対方向に周回させる第１の光ファイバループ１３と、を備えている。一方、第２の光ジャイロ３１は、一端面から光を出射させるＳＬＤ３２と、ＳＬＤ３２の一端面から出射した光を２方向に分配する光分配器３３と、光分配器３３により２方向に分配された光が一対の光結合器１７，１８を介して感知コイル１６に導かれるように構成された第２の光ファイバループ３４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ安価でありながら高性能な半導体リングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】 半導体リングレーザジャイロ１は、両端面から光を出射させる半導体レーザ２と、半導体レーザの両端面から出射した光を互いに反対方向に周回させ、前記半導体レーザとともに共振器を構成する光ファイバリング３と、前記光ファイバ内を互いに反対方向に周回する２つの光のビート周波数から回転角速度を検出するための光検出部９とを備えている。光ファイバリング３は、光ファイバを円筒状のボビンに多重巻きして構成される感知コイル６を有している。そして、光ファイバの全長Ｌが、リング共振周波数Ｆ_rlg （＝Ｃ／ｎＬ）とビート周波数ΔＦ_beat（＝２ｒΩ／ｎλ）とが２ΔＦ_{beat_max}＜Ｆ_rlg≦１０ΔＦ_{beat_min}を満たす長さに設定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の近傍に温度センサを設けることなく、振動子の近傍の温度を検出することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、駆動回路２９の後段に、駆動制御回路３５の出力信号を入力する整流器４８と、この整流器４８の出力信号を入力する平滑回路４９と、この平滑回路４９からの出力信号と基準電圧５０とを比較して差動を出力する差動増幅器５１とからなる温度検出手段４７を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正確に位相を調整することが可能なＰＬＬ回路およびそれを用いた角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明のＰＬＬ回路およびそれを用いた角速度センサは、ＡＤ変換器２１が電圧制御発振器２６の出力するタイミング信号により動作し、かつＤＡ変換器２４が分周器２７の出力するタイミング信号でのＡＤ変換器２１の出力する値に応じたアナログ信号を出力する構成としたものである。 （もっと読む）

振動構造ジャイロスコープは、リング構造体（５２）、外側フレーム（５８）及び可撓性支持体（５６ｅ）を有し、外側フレーム内にリング構造体を保持するように配置された１対の対称な従属脚（６０ａ、６０ｂ）を含む。金属トラック（８０）が、リング構造体、従属脚及び外側フレームの上面に、絶縁表面酸化層上に配置されている。各可撓性支持体（５６ｅ）は、単一の駆動又はピックオフトランスデューサと連結された金属トラックを支持するように配置されている。金属トラック（８０）は、８つの回路に対して繰り返され、１つの回路に対して各トランスデューサがある。トランスデューサと連結された金属トラック（８０）の各回路は、外側フレーム状の第１の結合パッド（８２）で始まり、第１の従属脚（６０ａ）に沿って延び、リング構造体の８分の１のセグメント（８４）を横切って、外側フレームに第２の結合パッドに第２の従属脚（６０ｂ）に沿って戻る。
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【課題】防振部材の厚さ寸法が異なる場合でもレートセンサを確実かつ効率的に固定する。
【解決手段】リング状に形成された防振部材１７に、径の長さを異にして予め複数種用意された固定ネジ１６群の中から選択された固定ネジ１６を挿通し、防振部材１７を固定ネジ１６との間隙に充填した状態でレートセンサ１を固定した被測定物体５に対して外力を加えて振動させ、外力の情報及びレートセンサ１の検出値を振動時において取得し、取得された外力の情報および検出値を解析し、レートセンサ１の固定状態を固定ネジ１６の径の長さと関連付けて評価する。そして、評価された固定状態に応じて径の長さが異なる固定ネジ１６への交換を行わせる。 （もっと読む）

【課題】大きな外力による損傷を防ぐことができる角速度センサを提供する。
【解決手段】微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）デバイス１０は、少なくとも１つの固定具を備える基板と、そこから延びる第１および第２の減速延長部を有するプルーフマス１２と、モータ駆動櫛１８と、モータ感知櫛２０と、基板の上でモータ駆動櫛１８とモータ感知櫛２０との間にプルーフマス１０を懸架するように構成された複数の懸架部１４とを含む。懸架部１４は、基板に固定される。本体は、基板に取り付けられる。少なくとも１つの減速梁が、前記本体の第１の側面から延びる。この少なくとも１つの減速梁は、第１および第２の減速延長部のうちの少なくとも１つに係合し、かつ、プルーフマス１０がモータ駆動櫛１８およびモータ感知櫛２０に接触する前に、このプルーフマス１０を減速または停止させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板をエッチングすることで得られる空間に、互いに交叉する３つの周回光路を形成することができる周回光路装置を得る。
【解決手段】光源基板４０の励起光源７１によって励起された光を固体レーザ媒質５１に集光させて発光点４２から第１反射面基板２０にレーザ光を放射するとともに第１反射面基板２０に設けた第２の光源８０から基準平面１１と平面ＰＬ２とに平行な両方向にレーザ光を放射し、第１反射面基板２０の複数の反射面２１〜２８と光源基板４０の反射面４１を利用して反射させ、互いに直交した平面内に３つの周回光路ＬＣ１〜ＬＣ３を容易に形成する。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】波形整形回路１０１は、物理量センサに供給される駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換する。ＰＬＬ回路１０２は、基準クロックＣＫｒｅｆを逓倍してそれぞれ位相が異なるｎ個の発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１を生成する。セレクタ１０３は、設定値ＳＥＴ１に基づいて発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１のいずれか１つを選択クロックＣＫＳＥＬとして出力する。分周回路１０５は、選択クロックＣＫＳＥＬを分周してアナログ検波信号Ｓｄｅｔを生成する。入力アンプ１０６は、物理量センサからのセンサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０７は、アナログ検波信号Ｓｄｅｔを用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】起動開始時における慣性力センサの破壊を防止する。
【解決手段】慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒが供給されて自励振動し自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。駆動回路１１は、振動信号Ｓｏｓｃに基づいて駆動信号Ｓｄｒｖを制御する。検出回路１２は、センサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。制御回路１４は、駆動回路１１を起動させる際、駆動回路１１の動作パラメータを設定し、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂接着剤が流動しても、電気的な接続が損なわれずに低背化を図れるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 素子３２、ＩＣチップ３４は、入出力信号用として、各々、入出力電極４８、５０を有し、素子３２は、その表面に配置した入出力電極４８を介して電気的に接続し、ＩＣチップ３４は、その表面にのみ配置した入出力電極５０を介して電気的に接続し、基板３５は、その表面に配置した金属配線パターン４２を介して電気的に接続し、このＩＣチップ３４の入出力電極５０と基板３５の金属配線パターン４２とをワイヤ５４を介してワイヤボンディングにより電気的に接続するとともにＩＣチップ３４の入出力電極５０と素子３２の入出力電極４８とを金属バンプ５５により電気的に接続し、ＩＣチップ３４と素子３２と基板３５とは、互いに重畳するように、液状樹脂５６を介在させて硬化させるとともに金属バンプ５５を金属接合させて固定した。 （もっと読む）

【課題】キャップを金属製ステムにシール封止する際に、ステム胴部とキャップとの間で接触を生じ、スパーク等を生じて、内部の部品に影響を及ぼすことのないジャイロパッケージを得る。
【解決手段】ジャイロ部品を搭載した金属製ステム（１０）に金属製キャップ（２０）を位置決めしてシール封止する構造を有するジャイロパッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部（１１）をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジ部（２２）と金属製ステムのフランジ部（１２）との間で電気溶接により接合したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】デジタル物理量信号の検波精度を向上させる。
【解決手段】物理量センサ１０は、外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。アナログ／デジタル変換器１０４は、アナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。デジタルフィルタ１００は、アナログ／デジタル変換器１０４からのデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃのうち所定のカットオフ周波数よりも高い周波数成分を減衰させる。検波信号生成器１０５は、正弦波信号に対応するデジタル検波信号Ｄｄｅｔを生成する。乗算器１０６は、デジタルフィルタ１００を通過したデジタルセンサ信号Ｄｐｓにデジタル検波信号Ｄｄｅｔを乗算する。これにより、デジタル物理量信号Ｄｐｈｙが検波される。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周波数の増大を抑制しつつ位相調整の精度を向上させる。
【解決手段】シフトレジスタ１００Ｒは、サンプリング周波数よりも高い周波数を有する逓倍クロックＣＫｘに同期してサンプリング周波数と同一の周波数を有する動作クロックＣＫａを順次シフトさせることにより、複数の遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・を生成する。セレクタ１００Ｓは、遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・の中からいずれか１つを選択し、選択した遅延クロックをサンプリングクロックＣＫｓｐとして出力する。アナログ／デジタル変換回路１０４は、サンプリング位相調整回路１００からのサンプリングクロックＣＫｓｐに同期してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出するにあたり、検出誤差の発生を抑制し、検出精度の向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】検出素子１は、第１検出用素子１ａと、第１検出用素子１ａを挟んで、互いに対向する第２検出用素子１ｂおよび第３検出用素子１ｃとを有し、Ｘ軸方向において、その一部が対向しないようにずらして配置するとともに、Ｘ軸断面を方形状としＹ軸断面を凹凸形状とした第１Ｘ対向電極〜第４Ｘ対向電極１４ａ、１６ａ、１８ａ、２０ａを設け、加速度検出部は、第１、第２検出用素子１ａ、１ｂの対向電極間の静電容量変化と、第１、第３検出用素子１ａ、１ｃの対向電極間の静電容量変化に基づいて加速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】物理量センサ１０は、所定周波数の駆動信号Ｓｄｒｖが供給され外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。波形整形回路１０１は、駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換し、逓倍回路１０２は、駆動信号Ｓｄｒｖを逓倍して動作クロックＣＫａを生成する。シフトレジスタ１００Ｒは、動作クロックＣＫａに同期して基準クロックＣＫｒｅｆを順次シフトし、遅延クロックＣＫ１〜ＣＫｎを生成する。セレクタ１００Ｓは、設定値ＳＥＴに対応する遅延クロックを選択クロックＳＳＳとして選択する。入力アンプ１０３は、センサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０４は、選択クロックＳＳＳを検波信号として用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出するにあたり、検出誤差の発生を抑制し、検出精度の向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】検出素子１は、第１検出用素子１ａと、第１検出用素子１ａを挟んで、互いに対向する第２検出用素子１ｂおよび第３検出用素子１ｃとを有し、これら各々の対向面には第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と第５〜第８対向電極１７、１９、２１、２３を配置し、加速度検出部は、第１、第２検出用素子１ａ、１ｂの対向電極間の静電容量変化による第１容量信号と、第１、第３検出用素子１ａ、１ｃの対向電極間の静電容量変化による第２容量信号との差動検知信号に基づいて加速度を検出しており、第１容量信号と第２容量信号との差動検知信号を直線近似させる手段を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】振動腕の振動周波数を調整することができ、感度及び応答性を高めることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、少なくとも１つの振動腕２ｂと、振動腕２ｂの両端を固定する一対の支持部２ａ，２ａ、及び一対の支持部２ａ，２ａを連結する伸縮可能な伸縮部２ｂを備える支持枠２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ組立体が受けるモールド樹脂で発生する応力を少なくし半導体センサ
ー装置の特性を安定化させ、キャップクラックや樹脂クラックが入り難く、また、孔付キ
ャップチップの孔詰まりが起こり難い、小型軽量な半導体センサー装置およびその製造方
法を提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳ組立体の上キャップチップ上面を露出させて樹脂面と同一にする
か凹ませることで、ＭＥＭＳ組立体が受けるモールド樹脂で発生する応力を少なくし半導
体センサー装置の特性を安定化させ、キャップクラックや樹脂クラックが入り難く、また
、孔付キャップチップの孔詰まりが起こり難い、小型軽量な半導体センサー装置を提供す
ることができた。 （もっと読む）

【課題】外部から突発的な振動が与えられた場合であっても、その振動を吸収して、素子部への振動の伝達を防止することができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、駆動系及び検出系の振動腕を備えたセンサユニット１０ａ〜１０ｃと、センサユニット１０ａ〜１０ｃを連結する基部４と、基部４及びセンサユニット１０ａ〜１０ｃを包囲する枠状の第１固定部６と、基部４及び第１固定部６を連結する第１連結腕５ａ〜５ｃと、第１固定部６の周囲の少なくとも一部に配置された第２固定部８と、第１固定部６及び第２固定部８を連結する第２連結腕７ａ〜７ｃとを有する。 （もっと読む）