【課題】部品の共通化を実現する多軸ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】複数の光源２と、複数の光ファイバループ４と、複数の第１光カプラ３と、複数の第２光カプラ７と、複数の位相変調器６と、複数の偏光子９と、多芯フェルール付き受光素子８と、複数の光源２を時分割制御する時分割制御回路とを備えた。 （もっと読む）

光センサは、少なくとも１つの光結合器と、少なくとも１つの光結合器に光学的に連通する光導波路とを含む。光導波路は、当該少なくとも１つの光結合器から第１の光信号を受取るように構成される。第１の光信号は、光導波路の少なくとも一部分を伝播する間、ある群速度およびある位相速度を有し、群速度は位相速度未満である。第１の光信号と第２の光信号との間の干渉は、回転、歪みまたは温度のような、光センサの少なくとも一部分への摂動によって影響される。
（もっと読む）

【課題】センサの小型化を図りつつ、バイアス信号を生成し、検出感度を向上させるセン
サを提供することを目的としている。
【解決手段】検出処理回路４は、駆動電極６に駆動信号を通電し検出素子２を振動させる
駆動回路１２と、検出素子２に与えられる角速度や加速度に起因して検出電極１０から出
力される検出信号に基づき、角速度や加速度を検出する検出回路１４と、モニタ電極８か
ら出力されるモニタ信号に基づき、検出素子２の振動状態をモニタするモニタ回路１６と
を備え、この検出信号には、検出素子２の周囲温度に起因して変化する温度依存性信号成
分が含まれているので、この温度依存性信号成分を相殺するバイアス信号成分を生成する
バイアス信号生成回路２２を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサを搭載する車両が高地を移動する等して角速度センサにおける振動子の傾き角が絶えず変化しても、角速度センサの出力信号が変動するということはなく、安定した出力信号が得られる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、振動子１１と、この振動子１１を所定の振幅および周波数で振動駆動する駆動回路１９と、前記振動子１１に角速度が負荷された際にコリオリ力により振動子１１に発生する電荷を増幅するとともに出力電圧に変換して出力する検出回路２０とを備え、前記検出回路２０に、角速度センサが取り付けられる被検出体の傾斜に応じて発生する出力誤差を補正する補正手段３４を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】静電容量変化にバラツキが生じにくく、検出精度の向上を図った加速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、可撓部を介して錘部２を連結した固定部４と、ギャップ規定手段により形成したギャップを介して錘部２と対向させた対向基板６と、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０とを有し、第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、ギャップ規定手段は、固定部４に感光性樹脂からなる突起部１３を形成するとともに、突起部１３に対向基板６を載置して形成した構成である。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、可撓部を介して錘部２を連結した固定部４と、錘部２と対向させた対向基板６と、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と、これら電極から引き出した信号線２１とを有し、加速度検出部では、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、対向基板６と第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０または信号線２１との間で発生する静電容量を抑制する抑制手段を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】モニタ増幅信号と検出増幅信号の位相ずれを抑制した角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】駆動電極３２に駆動信号を通電し振動子３１を振動させる駆動回路３５と、慣性力に起因して検出電極３４から出力される検出信号を増幅する検出信号増幅回路３６と、モニタ電極３３から出力されるモニタ信号を増幅するモニタ信号増幅回路３７とを備え、モニタ信号増幅回路３７は第１増幅器４０と第１帰還抵抗４１と第１帰還容量４２とを有し、検出信号増幅回路３６は第２増幅器４３と第２帰還抵抗４４と第２帰還容量４５とを有し、モニタ電極３３の電極面積と検出電極３４の電極面積とを等しくすることにより、モニタ電極３３で生成される静電容量値と前記検出電極３４で生成される静電容量値とを等しくした構成である。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、可撓部を介して錘部２を連結した固定部４と、錘部２と対向させた対向基板６と、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と、これら電極から引き出した信号線２１とを有し、加速度検出部では、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、全ての信号線２１の端部を検出素子１の上面側または下面側のいずれか一方側に配置し、信号線２１の端部にて実装基板と電気的に接続した構成である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】移動体の姿勢角を比較的小規模の構成で高精度に計測する姿勢角計測装置を提供する。
【解決手段】航法制御器８により、現在位置情報ａｐに基づいて、移動体の第１の状態情報ｓａ及び同移動体に対する制御目標に対応する指令信号ｃａが出力され、レート推定器４により、加速度情報ａｃ及び現在位置情報ａｐに基づいて移動体の第２の角速度情報ａｑが推定され、判定器５により、第１の角速度情報ａｊ及び第２の角速度情報ａｑに対して、信頼度情報ｒａに基づいて精度の優劣が判定され、精度の優れている方が選択されて角速度情報ａｍとして出力され、姿勢角決定器７により、加速度情報ａｃに所定の演算が行われて第２の角度情報が算出されると共に、第１の角度情報ａｎが入力され、信頼度情報ｒａに基づいて、同第２の角度情報と第１の角度情報ａｎとが周波数的に分解されて加演算が行われることにより、高精度の姿勢角ａｔが決定されて出力される。 （もっと読む）

本発明は、検知のためにセンサーが回転される、回転Ωを検知するための回転速度センサーであって、前記センサーは、基材、及び基材表面の上側のｘ−ｙ平面に、実質的に平面状に存在する駆動−及び検知構造を有し、駆動−及び検知構造は、駆動質量（４）と検知質量（３）を有し、これらは、検知構造の中心（Ｚ）から異なる間隔で、中心（Ｚ）の回りに対称的に配置され、そして、その振動モードは、部分的に相互に伝えられることが可能であり、及び部分的に分離され、回転Ωは、検知質量の、駆動−及び検知構造の平面からの傾きを検知することにより検知される回転速度センサーに関する。そして本発明は、両質量（３、４）の内、前記中心に対して、より大きな間隔を有する側のものは、コリオリの力の影響下に、前記平面からの傾斜が可能であり、及び結合手段（７）によって基材に結合され、これにより、前記傾きの戻り動作が、前記結合手段によって補助される、ことを特徴とする。本発明の結合手段により、センサーの、従属する環境作用に対する構成の強さが改良される。 （もっと読む）

【課題】基体を小さくした場合であっても、素子の感度を高くすることの可能な角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部５１の上面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結されると共にセンサ素子支持部５１の上面と平行な面に沿って延在する上検出腕２１および下検出腕２２と、上検出腕２１を間にして固定部２０に連結されると共に上検出腕２１の延在方向に延在する一対の上振動腕２３とを備える。上検出腕２１には一対の圧電素子２１Ａ，２１Ｂがはみ出して設けられ、下検出腕２２には一対の圧電素子２２Ａ，２２Ｂがはみ出して設けられ、上振動腕２３には一対の圧電素子２３Ａ，２３Ｂがはみ出して設けられている。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を除去し易く、かつ固定部の固定が容易な、感度の高い横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部４２の上面に固定される一対の固定部２０と、センサ素子支持部４２と平行な面に沿って延在する検出腕２１と、センサ素子支持部４２と平行な面に沿って延在すると共に検出腕２１の延在方向と交差して互いに反対方向に延在する一対の上駆動腕２２および下駆動腕２３とを備える。検出腕２１において、一端が一対の固定部２０の一方に連結され、他端が一対の固定部２０の他方に連結されている。上駆動腕２２および下駆動腕２３において、一端が検出腕２１に連結され、他端が自由端となっている。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を除去し易く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部５１の上面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結されると共にセンサ素子支持部５１の上面と平行な面に沿って延在する上検出腕２１および下検出腕２２と、上検出腕２１を間にして固定部２０に連結されると共に上検出腕２１の延在方向に延在する一対の上振動腕２３とを備える。固定部２０は、少なくとも上検出腕２１の延在方向と交差する方向に延在する１または複数の溝部２０Ａを有する。 （もっと読む）

【課題】干渉縞を用いることなく回転の角速度を求めることが可能な半導体レーザジャイロを提供する。
【解決手段】本発明の半導体レーザジャイロは、レーザ光Ｌを出射する半導体レーザ１０と、レーザ光Ｌをモニタする光検出器５０とを備える。半導体レーザ１０は、活性層を含む層で構成されたキャビティーと、活性層にキャリアを注入するための第１および第２の電極とを備える。キャビティーは、活性層内の仮想の多角形の経路を周回するように光を反射することが可能な端面を備える。光検出器５０で検出されたレーザ光Ｌの、ＲＦ帯域におけるスペクトルのピーク強度および／またはピーク周波数に基づいて回転角速度が求められる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、ジンバル空間安定性能を向上させることができる制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】制御回路６は、カメラが搭載される構造物に設けられた角速度検出器が検出する角速度信号に基づいて、カメラの視軸を安定させるためのフィードバック制御を行うフィードバック回路と、当該の制御装置への通電が開始された後、カメラの視軸の方向を指示する角速度指令が前記フィードバック回路に入力され始めるまでの間において計測された角速度信号の値を補正値としてフィードバック回路へ入力される角速度信号から減算するドリフト補正器５０と、角速度指令が０である期間が一定期間継続する間におけるジンバルの移動体に対する角度の変化を検出し、その角度に基づいた補正値をフィードバック回路へ入力される角速度信号から減算するドリフト補正器５４とを有する。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、第１アーム８は、第１連結アーム１１を第２連結アーム１３に直交させたＴ字状の直交アームであって、この第１連結アーム１１の一端が、支持部１２にて支持されるとともに第２アーム１０を介して錘部２に連結されており、第１連結アーム１１の他端が直交する第２連結アーム１３に連結されており、第２連結アーム１３の両端部が枠体部４に連結され、第１アーム８および第２連結アーム１３の厚みを第２アーム１０や錘部２の厚みよりも非常に薄く形成し、かつ、第１アーム８と第２アーム１０とは互いに直交方向に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が枠体部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部２が固定され、枠体部４は固定アーム１１にて固定部７と連結され、第１アーム８および固定アーム１１の厚みを第２アーム１０や錘部２の厚みよりも非常に薄く形成し、かつ、第１アーム８と固定アーム１１とは互いに直交方向に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】ウエットエッチング加工で製作する振動ジャイロ用水晶振動子の振動脚の側面残渣は、角速度が発生していないときも振動脚に面外振動を生じる原因となるが、そのような面外振動を生じない水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｚカット水晶板１００をウエットエッチング加工する水晶振動子の製造方法において、水晶振動子を構成する水晶振動片の外形形状を決めるための耐食膜パターン１０１、１０２を−Ｚ軸側の主表面のみに形成し、＋Ｚ軸側の主表面は全面を耐食膜１０３で被覆する。ある程度エッチングが進んだら、＋Ｚ軸側の耐食膜を除去した後、さらにウエットエッチング加工を行って振動脚の側面残渣の発生部分を除去する。 （もっと読む）