【課題】質量部の振幅変位量を確保し、高い検出感度を有する小型の物理量センサーを提供すること。
【解決手段】本発明の物理量センサー１は、基板２上にあるセンサー面３と、センサー面３の第１軸方向に水平に配置された２つの質量部４と、２つの質量部４に設けられ、センサー面上にあり第１軸（Ｘ軸）と垂直な第２軸（Ｙ軸）方向に延びる回転軸８と、２つの質量部４を第１の周波数を用いて逆位相で回転軸８まわりに回動振動させる駆動部５と、２つの質量部４それぞれから受ける力を伝達する力伝達部６と、力伝達部６に設けられ、伝達された力に応じた変位量を電気信号として検出する検出部７と、とを有しており、センサー面３に対して垂直な第３軸まわりの角速度に応じて質量部４に発生したコリオリ力を、検出部７にて検出する。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】応力に起因したＭＥＭＳの固有振動数の変動を抑制することにより、ＭＥＭＳの検出感度の変動による測定精度の劣化を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】まず、半導体基板２の変形によって固定部３ａ〜３ｄは半導体基板２のｙ方向において外側方向に変位する。可動体５は、半導体基板２から浮いた状態で配置されているので、半導体基板２の変形の影響は受けずに変位しない。したがって、梁４ａには引張応力（＋σ１）が発生し、梁４ｂには圧縮応力（−σ２）が発生する。このとき、梁４ａと梁４ｂを組み合わせたバネ系を考えると、梁４ａに働く引張応力に起因するバネ定数の増加と、梁４ｂに働く圧縮応力に起因するバネ定数の減少が互いに相殺する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電結合漏れを相殺するとともに、出力信号の感度の低下も抑制することが可能な角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の角速度センサはＰＬＬ回路９１の出力の任意のエッジタイミングで可変可能な位相調整回路９２ａを備えることにより、センス回路における同期検波のタイミングを調整する構成としたため、同期検波時に出力信号に静電結合漏れに起因するオフセットが発生することを防止することが出来ることとなる。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置のためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態では、第１の基層と、第１の基層に接合される第１のデバイス層であり、第１の組のＭＥＭＳデバイスを含む、第１のデバイス層と、第１のデバイス層に接合される第１の上部層であり、第１の組のＭＥＭＳデバイスが密閉して分離される、第１の上部層とを含む第１の二重チップをシステムは備える。第２の基層と、第２の基層に接合される第２のデバイス層であり、第２の組のＭＥＭＳデバイスを含む、第２のデバイス層と、第２のデバイス層に接合される第２の上部層であり、第２の組のＭＥＭＳデバイスが密閉して分離され、第１の上部層の第１の上部表面が第２の上部層の第２の上部表面に接合される、第２の上部層とを含む第２の二重チップをシステムはさらに備える。 （もっと読む）

【課題】３層チップスケールＭＥＭＳデバイスのためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスのためのシステムおよび方法が提供される。一実施形態では、システムは、第１の外側層と、第１の組のＭＥＭＳデバイスを含む第１のデバイス層とを備え、第１のデバイス層は第１の外側層に接合される。システムは、第２の外側層と、第２の組のＭＥＭＳデバイスを含む第２のデバイス層とをさらに備え、第２のデバイス層は第２の外側層に接合される。さらに、システムは、第１の側と、第１の側と反対側の第２の側とを有する中央層を備え、第１の側は第１のデバイス層に接合され、第２の側は第２のデバイス層に接合される。 （もっと読む）

【課題】多層可動コームを使用するＭＥＭＳセンサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサは、基板と、第１の複数のコームを有する少なくとも１つのプルーフマスとを含み、プルーフマスは、プルーフマスおよび第１の複数のコームが移動可能であるように１つまたは複数のサスペンションビームを介して基板に結合される。ＭＥＭＳセンサは、第２の複数のコームを有する少なくとも１つの固定アンカをさらに含む。第１の複数のコームは、第２の複数のコームが交互に差し込まれている。第１の複数のコームおよび第２の複数のコームにおけるコームの各々は、１つまたは複数の非導電層によって互いに電気的に絶縁された複数の導電層を含む。周縁電界を遮断して、周縁電界に起因する感知軸に沿った第１の複数のコームの運動を低減するように、各導電層はそれぞれの電位に個々に結合される。 （もっと読む）

【課題】所望の共振モードおよび一貫して低い直角位相誤差を維持する、直角位相低減バネを有するＭＥＭＳジャイロを提供する。
【解決手段】曲線および直線区画、共通半径に対するバネ要素固定点の配向、特定の軸に対するバネ要素セグメントの配向、該共通半径に対するバネ要素の長さのバランス、および該共通半径に対する質量バランスを有するバネ要素を、望ましくない面外運動を軽減するために使用することができる。該バネセットは、面運動を提供し、同時に、望ましくない面外運動を低減し、ＭＥＭＳデバイスを、該バネ要素のプロセス誘発エッチング角度ばらつきに対し実質的に鈍感にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、出力信号が不安定になってしまうということのない、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース７０における外底面の４隅の近傍に、振動子６１における第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７およびＩＣ９０のいずれにも電気的に導通しないダミー電極７９を設けることで、ケースにおける電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２の補数表現だけでなく、他の符号付数値表現でも容易に出力信号を出力する角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、ＡＤ変換器７３からの出力信号を補正する補正演算手段７４とを備えるとともに、さらに補正演算手段７４の後段に符号付数値表現変換回路７６を設けたため、これにより、２の補数表現からオフセットバイナリー表現の出力信号に変換することができるから、容易に、他の符号付数値表現での出力信号を出力することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出手段における振動体の屈曲振動が加速度検出手段に直接に伝達されることにより、加速度が生じていないにも関わらず、加速度出力信号を検出してしまうということのない信頼性の向上した角速度および加速度検出用複合センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】振動子６１を防振端子８１を介してケース７０に固定するとともに、加速度検出素子８７をケース７０にリジッドに固定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外部から加わるＹ軸方向およびＺ軸方向の振動を減衰させることが出来ないということのない、３軸方向全ての振動を減衰させることが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】載置部材８０を端子電極７５と電気的に接続した端子８１により周囲から支持するように構成するとともに、この端子８１にＸ軸方向延出部８４、Ｙ軸方向延出部８２およびＺ軸方向延出部８３を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出回路が故障した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電流源７７を第１の故障診断スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電流源７９を第２の故障診断スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】補正タイミングを自己判定して角速度センサーのオフセット補正を行うことができるセンサー装置、電子機器及び角速度センサーのオフセット補正方法を提供すること。
【解決手段】初期状態検出部２１０は、加速度センサーの出力に基づいて加速度を算出し、算出した加速度と重力加速度が略一致する状態を初期状態として検出する。角速度算出部２２０は、初期状態における姿勢情報に基づいて初期状態における各検出軸方向の軸ベクトルを算出し、当該軸ベクトルと各検出軸方向の加速度成分と当該加速度成分の時間変化とに基づいて任意の軸回りに回転する角速度を算出する。角速度判定部２３０は、角速度算出部２２０が算出した角速度が略０である場合に、角速度センサーに加わる角速度が０であると判定する。オフセット補正部４０は、角速度センサーに加わる角速度が０であると判定された時に、角速度センサーの出力のオフセットを補正する。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧化を図りつつ、物理量（例えば速度、加速度等）を高精度に検出することができる物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを提供すること。
【解決手段】物理量センサー素子片２は、電圧の印加により捩り振動する４つの駆動用振動腕２２、２３と、駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられ、駆動用振動腕２２、２３が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる２つの検出用振動腕１００とを有し、検出用振動腕１００で生じた電荷に基づいて、所定の物理量を検出し得る。 （もっと読む）

【課題】センサを密封する、MEMSセンサ・パッケージを提供する。
【解決手段】MEMSセンサ・パッケージは、MEMSセンサと、第1のリーク・レートでガスリークに浸透するセンサボディと、埋め戻し圧力までセンサボディに加圧する埋め戻しガスと、を有し、埋め戻し圧力は、MEMSセンサの減衰を提供し、埋め戻し圧力は、ガスリークのためのセンサボディ内の圧力の増加が、MEMSセンサ・パッケージに関する少なくとも特定の設計サービス寿命に関する所定の範囲を越えて、MEMSセンサのQ値の偏差に生じさせないようにセットされる。 （もっと読む）

【課題】従来に比して高感度且つ高精度であり、しかも、耐久性を向上させることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本発明による角速度センサ装置１は、正多角形状の枠体６と、その枠体６に接続された複数のマス７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを有する駆動部を備えている。枠体６は、多角形の辺に相当する複数の駆動梁５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄから構成されており、角速度センサ装置１は、多角形の中心点に相当する中心基部２と、多角形の頂点とを結ぶ直線に相当する複数の検出梁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む検出部を更に有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度センサからの出力信号のＸ軸切片が変化しても、補正後の出力信号にオフセットが発生するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、温度補正回路１３６におけるＲＯＭ１３４に所定の基準温度でオフセット調整する補正データを格納するとともに、この補正データにより角速度出力信号の温度変化による変動を補正する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、タイミング信号にジッタを持つことにより、そのジッタ分だけセンス回路における検波動作に位相ズレΦが発生しても、出力信号が変動するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ＰＬＬ回路１２１に位相監視手段１２６を設けてタイミング信号の位相の変動を監視するとともに、タイミング信号の位相の変動により生じる出力信号の変動値をキャンセルするジッタキャンセル値算出回路１３０を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な回路構成を用いながら電荷／電圧変換およびバッファアンプの飽和を防止することにより、０点変動を低減させることができ、これにより、角速度の測定精度の向上を図ることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを可撓部２２の内周部から外周部にわたって設けるとともに、前記検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの幅を質量部２３の中心からの距離に応じて大きくすることにより、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄのコリオリ力に起因しない電荷分をキャンセルまたは極めて小さくなるようにしたものである。 （もっと読む）