【課題】本発明は、慣性センサの検知精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、支持梁１１と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる駆動梁１２と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる検出梁１３と、前記駆動梁１２及び前記検出梁１３の他端に設けられた錘１４とを備え、前記支持梁１１がＸ軸方向及び前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向へと伸びる略十文字形状をし、且つ前記略十文字形状の４つの先端が固定されている構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、互いに直交する３軸に対応する角速度をそれぞれ検出する多軸角速度センサユニットの製造方法に関し、多軸角速度センサユニットにおける検出レベルの測定工程を簡略化し生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】本発明は、互いに直交する検出軸７，８，９として角速度を検出する多軸角速度センサユニットにおいて、パッケージ５の内部にセンサ素子１，２，３およびＩＣ４を配置した後に、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸で構成する座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）における（１，１，１）で示される軸を回転軸２４とし多軸角速度センサユニットを回転させて各センサ素子１，２，３の角速度を検出し、この検出結果を予めＩＣ４に格納しておいた基準値データと比較させ各センサ素子１，２，３の検出レベルの補正値を設定する。 （もっと読む）

【課題】時分割検出動作により３軸まわりの角速度を高い精度で検出する。
【解決手段】ＸＹ平面に広がる可撓性支持体の下面中央に振動子を接合し、上面に駆動用素子群と検出用素子群とを配したセンサ本体部３００を用意する。動作信号発生器１００により、振動子を前半周期にＺ軸励振する駆動信号ＤｒＺと後半周期にＸ軸励振する駆動信号ＤｒＸを発生し、マトリクス変換器２００を介して駆動用素子群に供給する。検出用素子群からの信号により、振動子の各軸方向の変位ＳΔｘ，ＳΔｙ，ＳΔｚを検出し、これをスイッチＳＷを介して振動安定期のみＡＭ検波器ＡＭＤおよび駆動信号に同期した同期検波器ＳＤに与える。Ｘ軸振動の振幅Ｆｘａ，位相ＦｘｐとＺ軸振動の振幅Ｆｚａ，位相Ｆｚｐを動作信号発生器１００へ帰還させ、フィードバック制御し、所定の同期検波器ＳＤから出力される信号を３軸の角速度ωｘ，ωｙ，ωｚとして出力する。 （もっと読む）

【課題】 １つのアームに対する電極数が２本と少なく、駆動検出回路の規模や接続部周辺の占有面積を小さくでき、且つ、従来よりも高い検出感度を有する圧電振動ジャイロ用振動子及び角速度検出システムを提供すること。
【解決手段】 屈曲振動するアーム５とこれを支持固定する基部７とを有する基板と、下部電極４と圧電膜３と上部電極２ａおよび２ｂとを備え、圧電膜３の成膜面に対し平行なＸ軸方向及び圧電膜３の成膜面に対し垂直なＺ軸方向の振動の駆動及び検出をそれぞれ可能とし、上部電極２ａおよび２ｂはアーム５の屈曲部に形成され、上部電極２ａをＸ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用し、上部電極２ｂをＺ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用する。ここで、上部電極２ａおよび２ｂのＸ軸方向の幅をそれぞれＡ及びＢとした場合、０．３≦Ａ／Ｂ≦０．７を満たす値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサユニットに関し、角速度の検出精度の向上を目的とする。
【解決手段】本発明はパッケージ１と、パッケージ１の内部に配置される角速度センサ素子２と、角速度センサ素子２を支持し角速度センサ素子２の振動空間を確保する台座９と、台座９をパッケージ１の内部空間に懸架しパッケージ１から角速度センサ素子２に加わる振動を抑制する防振部材８を有し、角速度センサ素子２と台座９の複合体の重心位置を防振部材８の部材平面に略一致させた。 （もっと読む）

直交誤差に対する感度および微細加工の不正確さを低減した慣性センサは、デバイス面における２つの直交軸（感度軸）周りの回転を感知するための２つの特別に構成された１軸ジャイロスコープを組み込んだ、ジャイロスコープを含み、各１軸ジャイロスコープは、フォークによって相互接続された２つの回転可能にディザリングされたシャトルを含み、各シャトルは、感度軸に垂直な傾斜軸に沿って面外に傾斜するように構成され、かつ傾斜軸に垂直な（すなわち、感度軸に平行な）軸に沿って位置付けられる対応するコリオリ検出電極を含む。２つの１軸ジャイロスコープは、例えば、フォークおよび／またはシャトルを相互接続する１つ以上の同相または逆相カップリングによって相互接続され得る。
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【課題】小型化省電力化を図り、検出感度を向上させる。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体と、振動体を支持するレッグ部１５と、上層下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む電極１３ａ，１３ｓ，１３ｔ，１３ｈ及び固定電位電極１６とを備え、複数の電極は、ｃｏｓＮθの振動モードでその振動体の一次振動を励起する円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度に配置された駆動電極と、電極各々から（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置された電極とを含む一群の駆動電極１３aと、駆動電極１３ａから（９０／Ｎ）°離れた角度に配置され、角速度の二次振動を検出する第１検出電極１３ｓと、さらに（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置され二次振動を検出する第２検出電極１３ｔとを含み、各駆動電極１３ａは、その振動体の外周縁からその外周縁の近傍か、振動体の内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センス電極の周りの回路パターンが断線した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電圧源７７を第１の断線検知スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電圧源７９を第２の断線検知スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】圧電特性の向上を図った圧電薄膜素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも下部電極、一般式 （Ｎａ_xＫ_yＬｉ_z）ＮｂＯ₃（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦０．２、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）で表される圧電薄膜、及び上部電極を配した圧電薄膜素子であって、前記圧電薄膜が、擬立方晶あるいは正方晶あるいは斜方晶の結晶構造、あるいはそれら前記の少なくとも一つが共存した状態を有しており、それら結晶軸のうち２軸以下のある特定の軸に優先的に配向しており、かつ前記配向している結晶軸の成分として、（００１）成分と（１１１）成分比において、それら両者の合計を１００％としたとき、（００１）成分の体積分率が６０％以上１００％以下の範囲内にあり、（１１１）成分の体積分率が０％以上４０％以下の範囲内にあることを特徴と
する。 （もっと読む）

【課題】小型可能な簡易構造で、複数の回転軸を測定する、振動ジャイロを提供する。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜により形成される複数の電極とを備えている。ｃｏｓＮθの振動モードでリング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動が励起されるとともに、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動検出手段を用いて１軸乃至２軸の角速度を検出することができる。加えて、一群の駆動電極を備えることにより、円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度のみに配置された一群の駆動電極に比べて、振幅の増大又は省電力化が達成される。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するときのＳ／Ｎ比と応答性を両立する。
【解決手段】 本発明の１つの振動ジャイロは、一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、リング状振動体の平面上に又はその上方に置かれた圧電体膜を挟む上層金属膜及び下層金属膜のいずれかにより形成される複数の電極１３ａ，１３ｂ，・・・，１３ｆとを備える。リング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、代表的には、図１に示すように、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、この振動ジャイロにおいては、例えば、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動を励起して、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動を検出し、抑制電極１３ｊにその二次振動を抑制する電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の出力信号の感度が劣化したままの状態で出力信号を出力し続けるということがなく、振動子の出力信号の感度を監視することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ドライブ回路の出力信号を第１のセンス電極３４または第２のセンス電極３５のうちのいずれか一方のセンス電極に入力するとともに、他方のセンス電極からの出力信号を検出することにより、振動子３０の出力信号の感度を監視する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性を向上させた振動ジャイロ素子の提供。
【解決手段】梁２０ｂが、連結腕１３ｂと検出用振動腕１１ａとの間の基部１０の外縁か
ら延出され、梁２０ｂは、基部１０からＸ軸に沿って、Ｘ軸のプラス方向に延出する第１
延出部２０ｂ１と、第１延出部２０ｂ１の先端部からＹ軸に沿って、Ｙ軸のプラス方向に
延出する第２延出部２０ｂ２と、第２延出部２０ｂ２の先端部からＸ軸に沿って、Ｘ軸の
マイナス方向に延出する第３延出部２０ｂ３とを含む第１折り返し部２０ｃを有して構成
され、第１延出部２０ｂ１と第３延出部２０ｂ３とは、第１折り返し部２０ｃの第１延出
部２０ｂ１と第２延出部２０ｂ２とで形成される角部２０ｃ１の内側に生じる第１異形部
Ｈ１と、第２延出部２０ｂ２と第３延出部２０ｂ３とで形成される角部２０ｃ２の内側に
生じる第２異形部Ｈ２とが、平面視において互いに接しない間隔Ｗ１で配置されている。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動モードを利用し、電極厚とは別に調整しても、少なくとも電気機械結合係数を含む圧電振動子の複数の特性を変更できる構造を備える圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１は、周波数信号の印加により主面法線方向に屈曲振動する振動部を備える。この振動部は上主面電極２と圧電基板３と下主面電極４と誘電体層５とを含む複数の層を主面法線方向に積層した構成である。上主面電極２は、圧電基板３の上主面に設けられる。下主面電極４は圧電基板３の下主面に設けられる。誘電体層５は下主面電極４に積層される。 （もっと読む）

【課題】振動子の検出電極から得られる出力信号の取り出し効率を低下させることなく同相もれ信号成分を抑制し、補正電極を追加することなく同相もれ信号成分を抑制し、振動子のばらつきによらず同相もれ信号成分を抑制する。
【解決手段】振動型ジャイロセンサは、振動子の複数の検出電極から出力される複数の出力信号から検出される少なくとも２つの複数の検出信号について、その内に２つ検出信号の差分信号を求めることによって角速度信号を検出し、２つの検出信号の加算信号を求めることによって前記検出信号に重畳される同相もれ信号成分を検出し、検出した同相もれ信号成分を基準信号として２つの検出信号を振幅増幅する。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常判定出力が可能な物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法を提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー素子１００と、ジャイロセンサー素子１００が所定の発振周波数で動作しているか否かを表す発振動作判定信号を生成する発振動作判定部と、監視対象信号５０−３〜５０−６の少なくとも一部に異常があるか否かを表す異常フラグ信号を生成する異常フラグ生成部と、角速度検出装置１の動作に異常があるか否かを表す異常判定信号を生成出力する異常判定出力部とを含み、異常判定出力部は、発振動作判定信号が異常である場合には、角速度検出装置１の動作の異常を表す異常判定信号を出力し、発振動作判定信号が正常である場合には、異常フラグ信号が正常から異常に変化してから、異常が第１の時間以上継続した後に、異常判定信号を、正常から異常に変更して出力する。 （もっと読む）

【課題】異常の有無の判定結果と診断情報を出力可能でありながらも、外部で誤判断する可能性をより低減させることができる物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）の異常診断回路７０は、監視対象信号５０−１〜５０−５の異常の有無を判定する監視判定回路７１０−１〜７１０−５と、監視判定回路の判定結果に基づいて、角速度検出装置１の異常の有無を判定し、異常判定信号７２２を生成する異常判定回路７２０と、メモリー８０に格納された少なくとも一部の監視判定回路の判定結果に基づいて、所定の診断情報を含む診断情報信号７４２を生成する診断情報生成回路７４０と、外部からの制御信号から生成された出力選択信号６４に基づいて、異常判定信号７２２又は診断情報信号７４２を選択して出力するスイッチ回路７５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の２軸検出角速度センサは、質量部の質量バランスが取れていない場合であっても、質量部をＸ軸方向にのみ駆動させることが可能な２軸検出角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】コリオリ力を受けずに第１のＹ軸方向支持部材３２および第２のＹ軸方向支持部材３９に発生する擬似歪を検出回路５０で検出して、この擬似歪を相殺する方向に前記質量部２１を駆動させるように前記補正駆動手段を制御する補正回路５１を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常診断出力が可能な物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）は、ジャイロセンサー素子１００と、ジャイロセンサー素子１００の出力信号に基づいて、角速度に応じた検出信号を生成する検出回路３０と、監視対象となる１つ以上の監視対象信号５０の異常の有無を検出し、監視対象信号５０の少なくとも一部に異常があるか否かを表す異常フラグ信号を生成する異常フラグ生成部と、異常フラグ信号に基づいて、角速度検出装置の動作に異常があるか否かを表す異常判定信号８２を生成出力する異常判定出力部とを含み、異常判定出力部は、異常フラグ信号が異常を表す値から正常を表す値に変化してから所定時間以上に亘る異常フラグ信号に基づいて、異常判定信号８２を、異常を表す値から正常を表す値に変化させて出力する。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常診断が可能な物理量検出装置並びに物理量検出装置の制御方法、異常診断システム及び異常診断方法を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）は、検出電極に、角速度（物理量の一例）の大きさに応じた検出信号とともに駆動信号（方形波電圧信号２２）に基づく振動の漏れ信号を発生させるジャイロセンサー素子１００（物理量検出素子の一例）と、駆動信号を生成する駆動回路２０と、駆動信号に同期した検波信号３４に基づいて、検出信号と漏れ信号を含む被検波信号３６に対して同期検波を行う同期検波回路３５０と、制御信号６４に基づいて、同期検波により漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、被検波信号３６に対する検波信号３４の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方の相対的なタイミングを変更する位相変更回路３５２と、を含む。 （もっと読む）