【課題】Ｑ値の低下を効果的に防止または抑制することができ、優れた性能を発揮することのできる振動片、振動子および電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２１と、検出用振動腕２２、２３と、連結腕２４、２５と、駆動用振動腕２６、２７、２８、２９とを有している。連結腕２４は、Ｙ軸方向への屈曲振動により圧縮または伸長する第１面２４３と、第１面２４３が圧縮したときに伸長し、第１面２４３が伸長したときに圧縮する第２面２４４と、第１面２４３と第２面２４４との間に設けられた溝４３１、４３２とを有している。連結腕２４の屈曲振動周波数をｆとし、円周率をπとし、連結腕２４に用いた材料の振動方向の熱伝導率をｋとし、連結腕２４に用いた材料の質量密度をρとし、連結腕２４に用いた材料の熱容量をＣｐとし、連結腕２４の振動方向の幅をａとし、ｆｍ＝πｋ／（２ρＣｐａ^２）としたとき、１＜ｆ／ｆｍである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外部から加わるＹ軸方向およびＺ軸方向の振動を減衰させることが出来ないということのない、３軸方向全ての振動を減衰させることが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】載置部材８０を端子電極７５と電気的に接続した端子８１により周囲から支持するように構成するとともに、この端子８１にＸ軸方向延出部８４、Ｙ軸方向延出部８２およびＺ軸方向延出部８３を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出手段における振動体の屈曲振動が加速度検出手段に直接に伝達されることにより、加速度が生じていないにも関わらず、加速度出力信号を検出してしまうということのない信頼性の向上した角速度および加速度検出用複合センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】振動子６１を防振端子８１を介してケース７０に固定するとともに、加速度検出素子８７をケース７０にリジッドに固定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】平面内で厚み方向の軸回りの角速度を高精度に検出することができる角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る角速度センサは、環状のフレーム１０と、駆動部と、検出部とを具備する。フレームは、第１の梁１１ａ、１１ｂの組と、第２の梁１２ａ、１２ｂの組とを有する。第１の梁の組は、ａ軸方向に延在し、ａ軸方向と直交するｂ軸方向に相互に対向する。第２の梁の組は、ｂ軸方向に延在し、ａ軸方向に相互に対向する。上記駆動部は、第１及び第２の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間する振動モードで、フレームをａ軸及びｂ軸が属するＸＹ平面内において振動させる。上記検出部は、上記振動モードで振動するフレームのＸＹ面内における変形量に基づいて、ＸＹ平面と直交するＺ軸方向の軸回りの角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】小型で感度と応答性が高い振動型角速度センサを提供する。
【解決手段】支持部と、錘部と、前記錘部からそれぞれ前記支持部まで延伸し前記錘部を支持している複数の梁部と、前記錘部を時分割駆動によって複数方向に励振する励振手段と、前記支持部に対する前記錘部の運動を検出する検出手段と、前記支持部および前記錘部の少なくとも一方の前記梁部との境界近傍に形成され、前記梁部の張力に応じて前記梁部の延伸方向に弾性変形し前記梁部の主撓み方向には実質的に変形しないばね定数安定化手段と、前記ばね定数安定化手段と結合し前記ばね定数安定化手段の振動を減衰させるダンパーと、を備える振動型角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出回路が故障した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電流源７７を第１の故障診断スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電流源７９を第２の故障診断スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた慣性力センサに関し、検出精度に対する長期信頼性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動子１と、振動子１を振動可能に支持する台座７と、振動子１を制御するＩＣ２と、これら振動子１、台座７、ＩＣ２を収容するパッケージ３とを備えた慣性力センサにおいて、振動子１は振動部４とこれを支持する支持部６からなり、台座７は底部１６とこの底部１６外周に設けた側壁部１７からなり、支持部６の一部を側壁部１７の上面に接着固定し、この接着領域における支持部６の側面に側壁部１７に至る切欠き部１８を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】小型で感度が高い振動型角速度センサを提供する。
【解決手段】支持部と、錘部と、前記錘部からそれぞれ前記支持部まで延伸し前記錘部を支持している複数の梁部と、前記錘部を励振する励振手段と、前記支持部に対する前記錘部の運動を検出する検出手段と、前記支持部および前記錘部の少なくとも一方の前記梁部との境界近傍に形成され、前記梁部の張力に応じて前記梁部の延伸方向に弾性変形し前記梁部の主撓み方向には実質的に変形しないばね定数安定化手段と、を備える振動型角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】優れた耐衝撃性および優れた検知能力を発揮することのできる振動ジャイロ素子、振動ジャイロセンサーおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動ジャイロ素子２は、基部３１と、互いに離間して設けられた第１駆動振動系３９ａおよび第２駆動振動系３９ｂを有する本体部３と、本体部３を支持する支持部４とを有している。支持部４は、本体部３の周囲の少なくとも一部を囲むように設けられた基体４１を有し、基体４１の第１駆動振動系３９ａの第２駆動振動系３９ｂと反対側の部位にてパッケージ５に固定される。 （もっと読む）

【課題】感度が高く製造コストが低い振動型角速度センサによって直交する３軸周りの角速度を検出する。
【解決手段】振動中心を含む基準平面において振動中心を基準として等方的に配置された３つ以上の錘部と、前記錘部に連結される結合部と、基準平面に対して垂直に往復運動可能に且つ基準平面と平行で、放射方向に往復振動可能に、前記３つ以上の錘部のそれぞれを結合部に連結する第一ばね部と、３つ以上の錘部を連結する第二ばね部と、基準平面に垂直な軸周りに回転振動可能に前結合部を支持部に連結する第三ばねと、放射方向に３つ以上の錘部を同期して往復振動させるための励振素子と、基準平面の垂線方向について３つ以上の錘部の変位を検出する第一検出素子と、基準平面に垂直な軸周りの結合部のトルクを検出するための第二検出素子と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサ装置に関し、角速度の検出精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動型センサ素子１およびこのセンサ素子１を振動可能に支持する台座７と、台座７を天面に実装するとともにセンサ素子１を制御するＩＣ２をパッケージ３内部に配置した角速度センサ装置において、台座７を形成する底板１６の実装面の少なくとも四隅に凹部１９を形成し残部２０をＩＣの天面に接続する構成とした。 （もっと読む）

【課題】安定した特性と高い強度を確保して振動子の振動特性を調整する。
【解決手段】本発明に係る振動型ジャイロセンサは、一方の面に圧電膜、駆動電極、一対の検出電極、及び配線接続端子が形成された振動型ジャイロセンサ素子と、この振動型ジャイロセンサ素子が実装されるランドが形成された支持基板とを備える。前記振動型ジャイロセンサ素子は片持ち梁状の振動子部を有し、前記一方の面側を前記支持基板側に向けて実装されているとともに、前記一方の面以外の領域を、前記振動子部の振動特性調整用の凹部が形成された被加工領域としている。 （もっと読む）

【課題】振動子の起動を確実にし、安定して振動を維持する装置を提供する。
【解決手段】振動子１２と、振動状態を検出する検出アンプ１３と、振動情報を２値化してコンパレータ出力信号を出力する振幅比較器１４と、制御発振器入力信号に応じて周波数が変化する電圧制御発振器１５１と、コンパレータ出力信号と比較信号との位相差信号を出力する位相比較器１５３と、位相差信号の低域成分を出力するループフィルタ１５４と、比較信号に対して予め定める位相差を有する位相シフト信号を出力する位相シフト器２２と、位相シフト信号を入力する駆動アンプ１１と、操作信号を出力する操作信号発生器２１と、制御発振器入力信号として操作信号を選択し、制御発振器出力信号の周波数がキャプチャレンジの範囲となったときに、制御発振器入力信号として位相差情報信号を選択する操作切換器２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一つのセンサーで回転角速度および加速度などの力の検出が可能で、且つ、構造が簡素で応答速度の速い複合センサー素子、それを用いた複合センサー、および、それを用いた複合センサー装置を提供する。
【解決手段】複合センサー素子１は、支持部１２、および、駆動電極１５ａ，１５ｂが設けられた振動腕１３，１４を有するジャイロ振動片１０と、基部３および錘部５が弾性を有する梁部により接続された質量部２と、を備えている。ジャイロ振動片１０は、振動腕１４と、錘部５との対向する主面５ａとが、間隙（ｇ）を空けて略平行に片持ち支持された態様で質量部２上に接合部材９６を介して接合されている。複合センサー２０は、パッケージ３０内に複合センサー素子１が接合され、パッケージ３０上にはシールリング３９を介してリッド４０が接合されている。パッケージ３０とリッド４０により形成された内部空間Ｔには気体が充填されている。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロ素子の検出精度を向上させること。
【解決手段】
基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕２０と、記基部から、所定面内において第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕３０と、駆動腕に設けられる駆動電極と、検出腕に設けられる検出電極と、を含み、動電極によって形成される電界による歪みによって、駆動腕２０に第２方向の駆動振動ＶＡを励振し、第１方向の軸回りに作用する角速度Ωによって、駆動腕２０に所定面に垂直な第３方向の第１検出振動ＶＢが生じ、第１検出振動が基部１０を経由して検出腕３０に伝播し、検出腕３０に、第１検出振動ＶＡに対応した第２検出振動ＶＣが励振され、第２検出振動ＶＣに基づく歪みによって検出腕３０に電界が生じ、検出腕３０に生じる電界によって電荷の移動が生じ、電荷の移動による電気信号が検出電極から出力される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素で応答速度の速い振動型力検出センサー素子、それを用いた振動型力検出センサー、および、それを用いた振動型力検出センサー装置を提供する。
【解決手段】振動型力検出センサー素子１は、支持部１２、および両主面に励振電極１５ａ，１５ｂが設けられた振動部１４を有する振動片１０と、基部３および錘部５が弾性を有する梁部により接続された質量部２と、を備えている。振動片１０は、振動部１４と、錘部５との対向する主面５ａとが、間隙（ｇ）を空けて略平行に片持ち支持された態様で質量部２上に接合部材９６を介して接合されている。振動型力検出センサー２０は、パッケージ３０内に振動型力検出センサー素子１が接合部材９６を介して接合され、パッケージ３０上にはシールリング３９を介してリッド４０が接合されている。パッケージ３０とリッド４０により形成された内部空間Ｔには、例えばアルゴン等の気体が充填されている。 （もっと読む）

【課題】振動子に加わる回転の角速度を測定するための角速度測定装置において、装置の稼働時に故障が生じたときに、故障検出を早期に行い、故障の有無を判断するための待機時間を短縮できるようにする。
【解決手段】振動子に駆動振動を励振し、振動子からの出力信号を検出信号出力回路２０Ｂによって処理し、角速度に対応する検出信号を得る。振動子から互いに逆相の複数の出力信号が出力され、出力信号が、検出信号および駆動振動に基づいて振動子に発生する駆動振動と同周波数かつ位相の異なる駆動信号容量結合成分を含む。診断回路が、出力信号を処理し、信号処理後の駆動信号容量結合成分を出力する容量結合成分出力回路２０Ｃを備える。容量結合成分出力回路２０Ｃにおいて、振動子からの複数の出力信号を加算器２１で加算することによって、複数の出力信号に含まれる検出信号を相殺しかつ駆動信号容量結合成分を増幅する。増幅後の駆動信号容量結合成分を位相検波し、検出することによって検出信号出力回路を診断する。 （もっと読む）

【課題】駆動要素と検出要素の間の角度関係の調整能力と対称性塊構造体の維持能力の両方を提供する。
【解決手段】振動慣性速度センサは、ノードまたは反ノードの基準線から回転偏位または「スキュー」される軸を画成する作動要素を備える。前記スキューは、別個のノードまたは反ノード基準線に関連し得るか、または同じノード線周りに「分割」される要素型をとり得る。駆動信号と検出信号の両信号は、共通組の検出要素から分解され得る。駆動要素はまた、ジャイロスコープの能動トルクに作用をすべく、振動パターンを回転偏位するスキュー軸角度で作動し得る。スキュー駆動要素は、同じデバイス上のスキュー要素または分割要素と組合わされ得る。スキュー検出要素は、一か複数のノード線を備える振動システムに適用され得る。スキュー駆動要素は、能動トルクに作用すべく二つ以上のノード線を備える振動システムに適用され得る。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ軸方向の加速度に対する誤差信号を低減でき、Ｚ軸を含む複数の軸の角速度を検出することが可能な低背化された振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 Ｙ軸及びＺ軸周りの角速度を検出可能な振動ジャイロであって、Ｙ軸方向に長手方向を有する第１のアーム４と、その一端に接続され第１のアーム４の中心軸に関して対称な連結部３と、そのＸ軸方向の両端に接続されＹ軸方向に長手方向を有する第２のアーム５ａ、５ｂと、Ｙ軸方向に長手方向を有する第３のアーム７ａ、７ｂとを有する振動子を有し、第２のアームをＸ軸方向へ屈曲振動させる駆動手段、第１のアームのＸ軸方向の屈曲振動を検出する第１の検出手段、第２のアームのＺ軸方向の屈曲振動を検出する第３の検出手段、および、第３のアームのＸ軸方向の屈曲振動を検出する第２の検出手段を備え、Ｘ軸方向の加速度によって第１の検出手段に生じる誤差信号を、第２の検出手段に生じる検出信号によって相殺する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性の良い非鉛材料薄膜を実現するために、結晶配向性に優れた（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃薄膜およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１２上の（１１１）面方位である電極膜１３上に形成された、
ペロブスカイト型複合酸化物（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃圧電体層１５において、電極膜１３との界面に隣接して、（１１１）面方位である（Ｎａ_xＢｉ_0.5）ＴｉＯ_0.5x+2.75−ＢａＴｉＯ₃（０．２９≦ｘ≦０．４）界面膜１４を設けている。本発明による（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃圧電体層１５は、（１１１）面方位にのみに強く結晶配向することで優れた圧電特性を示し、鉛を含まない元素による圧電体薄膜を提供することができ、インクジェットヘッド、角速度センサ、圧電発電素子等への応用が可能となる。 （もっと読む）