【課題】ダイナミックレンジの大きい物理量センサー、物理量センサーの制御方法、および、それらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０の第１の面１０ａに対してα°傾いた第１の斜面２ａを有する第１載置部材２、および、第２の斜面３ａを有する第２載置部材３と、主たる物理量が印加される方向に検出軸ベクトルｎ₀を向けて第１の面１０ａ面に載置されたセンサーデバイスＤ₀と、検出軸ベクトルとは異なる方向に検出軸ベクトルｎ₁をおよび検出軸ベクトルｎ₂が向くように配置された第１載置部材２および第２載置部材３のそれぞれに載置されたセンサーデバイスＤ₁および、センサーデバイスＤ₂を含み、各検出軸ベクトルｎ₀，ｎ₁，ｎ₂の方向に、ｎ₁≠⊥ｎ₀、ｎ₂≠⊥ｎ₀、および、ｎ₁⊥ｎ₂の関係が成り立つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの応力に対して信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】配線１４を備えた可動部９と、この可動部９を捩れ運動または曲げ運動、もしくはその両方で駆動させるための駆動部１２と、からなり、配線１４は導電性有機高分子としたことを特徴とするアクチュエータである。このように、繰り返しの応力が印加される可動部９に設けた、下部電極、上部電極、配線などを金属でなく導電性有機高分子で形成することにより、マイグレーションが生じることはなく、また可動部の可撓性を高めることができるので、高い信頼性を有するアクチュエータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】第１空洞部１５を有した外マス部１４と、第１空洞部１５内に設けられ、第２空洞部１７を有した内マス部１６と、外マス部１４を内マス部１６と一体に第１軸の方向に駆動させる駆動部７０と、外マス部１４と内マス部１６との間に接続され、第１軸の方向に直交する第２軸の方向に変位可能なバネ部２０と、第２空洞部１７内に設けられ、第１軸の軸回りの角速度を検出する第１検出部（検出部３０）と、第２空洞部１７に設けられた振動体４０と、を備え、振動体４０は、第２空洞部１７の内壁に一端を接続させ、第１軸の方向に延出させて他端を浮かせた片持ち支持構造であり、第１軸の方向の駆動振動に伴い、振動体４０が第１軸及び第２軸に対して垂直な第３軸方向に振動可能とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉型振動子を発振回路を共用として自己診断を行うことにより簡略化及び小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明による自己診断機能を有する角速度センサは、音叉型振動素子(1)に駆動電極(9)と検出電極(20)と自己診断用電極(6,7)を設け、各自己診断用電極(6,7)と駆動電極(9)を一対のスイッチ(SW1,SW2)を介して１個のみの発振回路(10)を共用として選択的にＯＮ／ＯＦＦすることにより、音叉型振動子(1)の各アーム部(2,3)を対称駆動又は非対称駆動とする構成である。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のジャイロセンサー１０は、第１検出部４２を備えた第１マス部４０と、第２検出部２２を備えた第２マス部２０と、前記第１マス部４０を第１軸の方向に振動させる第１駆動部７０ａ，７０ｂと、アンカー部９０で固定されている力変換部８０と、を備え、前記第１マス部４０および前記第２マス部２０は、前記力変換部８０で接続され、前記力変換部８０は、前記アンカー部９０を軸として変位して、前記第２マス部２０を前記第１軸と平面視で交差する第２軸の方向に振動させることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、圧電層の分極量が低下することにより、感度が低下してしまうということのない特性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、接着剤８９に無機化合物を含有させるとともに、ケース７０内に水分ゲッター材９０を設ける構成とした。これにより、角速度センサの出力信号の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度の調整を考慮した調整装置を提供すること。
【解決手段】長尺体（１５）の直線度を調整する調整装置（１８）は、第１の所定の方向（Ｘ）に長尺であり、ベース部（５１）に対して取り付けられた長尺体（１５）と、該長尺体にガイドされて移動する移動体（１４）と、該移動体に設けられた角速度センサー（３４）と、該角速度センサーが前記移動体と共に移動した際の該角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、関連づけして情報処理する情報処理部３９と、前記長尺体に対して前記第１の所定の方向と交差する方向に力を作用させて該長尺体の直線度を調整可能な調整手段（４１）と、前記調整手段により調整された後に、再度前記移動体が移動した際の前記関係についての前記情報処理された結果を、前記調整手段を操作する操作者に対して、知らせる通知手段（１９）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、出力感度が大きくなる角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子は、第１の検出電極振動体３４と第１の連接梁２８との接続部に第１の屈曲部３２を設け、この第１の屈曲部３２の上面に第１の屈曲部検出電極３３を設け、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが第１の駆動電極振動体３６の長手方向に働くと、第１の屈曲部３２に曲げ応力が加わることとなるから、第１の屈曲部が撓み易くなり、出力信号の感度が向上する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出素子を基板や筐体等に接着剤を用いて実装、固定する場合に、この接着剤を所定の位置に規制でき、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の物理量センサは、角速度検出素子の固定部２２ａ、２２ｂと外側梁部２３ａ、２３ｂの接続部分に金属バンプ７２を設けることにより、アンダーフィル剤等の接着剤流れを抑制したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部に接続された振動片の上面に下部電極、圧電体層、上部電極を設け、上部電極と下部電極との間に制御電圧を印加することで振動片を側方に振動させる振動子に関し、振動子の生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、支持部１６と、支持部１６に接続された振動片１７と、振動片１７の上面に設けられた下部電極２１と、下部電極２１上に設けられるとともに外周端が下部電極２１の外周端より内側となる圧電体層２２と、圧電体層２２上に設けられるとともに外周端が圧電体層２２の外周端より内側となる上部電極２０を有する振動子１２において、圧電体層２２を振動片１７の振動方向に偏倚させることで振動片１７の振動方向を調節する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度を容易に測定することを考慮した方法を提供すること。
【解決手段】長尺体の直線度を測定する測定方法は、角速度センサーが取り付けられた移動体を、長尺体にガイドされながら移動させる移動工程（Ｓ２）と、前記移動体が移動した際の前記角速度センサーの姿勢の変化の情報を前記角速度センサーが取得する取得工程（Ｓ３）と、前記角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、情報処理部が関連づけして情報処理する情報処理工程（Ｓ４）と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子をパッケージに収容した振動型の角速度センサに関して、小型化に伴う振動型の角速度センサの検出感度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を解決するために、本発明は、駆動電極１０と検出電極１１を有する振動子２と、振動子２を収容するパッケージ１を備えた振動型の角速度センサにおいて、パッケージ１の内周面と近接する振動子２の少なくとも一部を、その断面形状がパッケージ１に近づくにつれて薄くする構造としたのである。 （もっと読む）

【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な検出回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】検出回路３０は、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）及びオフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）の少なくとも一方と、電圧制限部（リミッター回路３７０）と、を含む。感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）は、センサー素子４の検出感度に応じて検出信号（角速度信号）の電圧範囲を調整する。オフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）は、センサー素子４の出力オフセットに応じて検出信号（角速度信号）の０点電圧を調整する。電圧制限部（リミッター回路３７０）は、感度調整部及びオフセット調整部の後段に設けられ、検出信号（角速度信号）の電圧を所望の範囲に制限する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や抵抗値のばらつきに起因する起動時間の変動を低減することが可能な駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】判定回路２６０は、センサー素子４が出力する駆動電流がＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて得られる判定対象信号ＬＰＦＯの電圧と判定電圧との大小関係を判定する。駆動信号生成回路２３０は、判定回路２６０の判定結果に基づいて、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えるまではセンサー素子の自励発振を補助する発振器２８０の発振信号に基づいて駆動信号を生成し、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えた後はＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号を生成する。判定電圧ＶＲ２は、１又は複数の抵抗に定電流を流すことにより得られる電圧と基準電圧とを加算又は減算して得られる電圧である。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ膜からのＰｂ拡散を抑制し、圧電特性を安定化した圧電薄膜構造および当該圧電薄膜構造を適用し、振動ノイズによる影響を低減できる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】基板４０上に配置された酸化シリコン膜４１と、酸化シリコン膜４１上に配置された第１の酸化アルミニウム膜４８と、第１の酸化アルミニウム膜４８上に配置された下部電極層３０１と、下部電極層３０１上に配置された圧電体膜層３０２と、圧電体膜層３０２上に配置された上部電極層３０３とを備える圧電薄膜構造、および振動アーム及び検出アームに、この圧電薄膜構造を有する角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、センサ素子の検出感度の温度依存性をより広い温度範囲にて好適に補償可能とする。
【解決手段】温度特性ｆ(T)を有する振動子に対して、励振レベルを１／ｆ(T)で変化させる補償を行う。制御回路１０８は温度電圧生成回路１１０からｆ(T)で変化する電圧Ｖtempを入力され、温度に依存しない基準電流を供給される可変抵抗回路１０６の抵抗値を制御して電圧降下をＶtempに一致させる。可変抵抗回路１０６と同一構成の可変抵抗回路１０４は制御回路１０８の制御信号によりｆ(T)に応じた抵抗温度特性を与えられる。反転増幅回路１０２は励振レベルに応じたモニタ電圧を入力され、発振信号を増幅する可変利得増幅回路４２のゲインを制御する。反転増幅回路１０２の反転入力端子には可変抵抗回路１０４が接続され、１／ｆ(T)に応じて変化する補正電流Ｉcをモニタ電流Ｉmから減じる。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、励振レベルを定める参照電圧の誤差や外来振動の影響を受けにくくして精度の向上を図る。
【解決手段】同期検波回路７２は、センサ素子の検出信号に基づく信号Ｘ、駆動回路からの発振信号Ｙ、及び参照電圧生成回路からの参照電圧Ｖrefを入力される。Ｖ／Ｉ変換回路１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃはそれぞれ信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを入力され、それら電圧信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを電流信号Ｉx，Ｉy，Ｉrefに変換してトランスリニア回路１１２へ入力する。トランスリニア回路１１２は（Ｉx・Ｉy／Ｉref）を演算することにより信号Ｘに対する同期検波を行い、演算結果の電流信号Ｉoutを出力する。当該Ｉoutに基づいて検波出力を得て、角速度信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】対称回路の評価を適正に行うことができるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣの半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して設けられた複数の再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板に形成された電極とセンサー素子に形成された電極を電気的に接続する。半導体基板の第１の面には、対称性を有する第１，第２の信号をそれぞれ生成するＱＶアンプ１１０，１２０（第１，第２の回路の一例）、配線１１２，１２２（第１，第２の配線の一例）、配線１１２，１２２を介して第１，第２の信号がそれぞれ供給されるパッド７０−１（第１の電極の一例），７０−ｎ（第２の電極の一例）がさらに形成され、半導体基板の第１の面に直交する方向から視た平面視において、配線１１２の形状と配線１２２の形状が対称性を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、互いに直交した面と面との間でワイヤーボンディングを行う必要がないセンサーモジュールの製造方法等を提供する。
【解決手段】集積回路１８と第１電極１５及び第２電極１６を有する半導体基板の第１の面に樹脂層２０を形成する工程と、樹脂層２０の第２の面に第１電極１５と接続する第１配線３１と第２電極１６と接続する第２配線３２とを形成する工程と、前記樹脂層２０の上方で第１配線３１と第１振動子６０を電気的に接続する工程と、半導体基板を分割し第１半導体基板１１と第２半導体基板１２を形成する工程と、第１半導体基板１１と第２半導体基板１２の間の樹脂層２０を屈曲させ第１構造体７０を形成する工程と、第４の面に第３配線９１を有する配線基板９０を準備する工程と、第１構造体７０を配線基板９０の第４の面に搭載する工程と、第２配線３２と第３配線９１とをワイヤーボンディングによって接続する工程と、を含む。 （もっと読む）