【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて第１の方向に振動するとともに、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って１の方向とは異なる第２の方向に振動する検出用振動腕２３１、２３２と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用振動腕２３１、２３２の第１の方向での振動に伴って電荷を出力する検出用電極と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用電極に逆極性となるように電気的に接続され、検出用振動腕２３１、２３２の第２の方向での振動に伴って電荷を出力する調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１、２４２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、１対の検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って、第１電極とは逆極性となる電荷を出力する１対の第２電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部と、前記基部から延出され、通電により駆動振動する駆動用振動腕と、基部から延出され、駆動用振動腕の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１と、駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて信号を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、振動腕２４１の振動に伴って検出用電極とは逆極性の電荷を出力する調整用電極５５１、５５３とを有し、調整用電極５５１は、検出用電極に電気的に接続された共通部６０と、共通部６０から分岐するとともに調整用振動腕２４１の延出方向に沿って並んで設けられた複数の分岐部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１〜２４４と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１の調整用電極と、調整用振動腕２４３、２４４に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４３、２４４の振動に伴って、第１の調整用電極とは逆極性となる電荷を出力する第２の調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路、角速度検出装置及び故障判定システムを提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子１０に接続され、角速度を検出する角速度検出回路５であって、振動子１０から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段３３１と、自己振動成分抽出手段３３１の出力信号を積分する積分手段３３６を含む直流変換手段３３２と、直流変換手段３３２の出力信号の温度による変動を補正する温度特性補正手段３３３とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品点数が少ないにも関わらず、温度変化による出力信号の変動を防止することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、角速度振幅検出回路８２からの出力信号を入力する切替スイッチ８７を設け、角速度振幅検出回路８２からの出力信号が所定の値となった際には、切替スイッチ８７により、補正演算手段７５の機能を停止させるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】自励発振回路２６は、振動腕２１ａ、２１ｂに固定される駆動電極２２ａ、２２ｂを通じて、振動腕２１ａ、２１ｂの自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。物理量の作用に応じて振動腕２１ａ、２１ｂに対して相対的に変位する相対変位片上には検出電極２５ａ、２５ｂが配置される。検出電極２５ａ、２５ｂは、駆動電極２２ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２２ａから離れる。検出回路２７は、駆動信号に基づき、検出電極２５ａ、２５ｂからの静電容量信号を駆動信号検出する。 （もっと読む）

【課題】低周波数帯域の雑音の影響をより一層小さくすることができるスイッチトキャパシター積分回路等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路１０は、第１の容量と第２の容量とを有する電圧電荷変換回路２０と、第１の容量に充電された電荷を積分する電荷積分回路３０とを含む。電圧電荷変換回路２０は、第１の期間において、第１の容量に充電された電荷を転送すると共に入力信号に対応した電荷を第２の容量に充電し、第２の期間において、第２の容量に充電された電荷の一部を第１の容量に充電すると共に入力信号に対応した電荷を第１の容量に充電する。電荷積分回路３０は、第３の期間において、演算増幅器の入力に接続されるオフセットキャンセル容量の他端と第１の容量の一端とを接続し、第４の期間において、オフセットキャンセル容量の他端と接地電位とを接続する。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳプロセスで製造される半導体装置においてトランスリニア原理を用いた演算回路を実現する。
【解決手段】トランスリニアループを模擬するためのｎｐｎトランジスタＱ１〜Ｑ４は、ｎ型基板を共通のコレクタとする一方、それぞれに対応して形成されたｐウェルをベースとし、ｎＭＯＳのソース、ドレインと同様にｐウェル内に形成されるｎ型領域をエミッタとする。入力トランジスタＱ１〜Ｑ３への入力電流の供給はエミッタに接続された電流源Ｉ１〜Ｉ３により行う。試行値Ｎtに応じた電流を生成する電流ＤＡＣ２１０を出力トランジスタＱ４のエミッタに接続する。Ｑ２，Ｑ４のエミッタ間は分断し、その両端の電位を比較してその結果に応じた比較出力を生成する電位比較回路２１２を接続する。制御回路２１４は比較出力に基づいて、分断個所での電位平衡状態に対応したＮtを探索して演算値として出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電荷増幅器からの出力信号にどのようなノイズ成分がのっている場合でも、確実にノイズ成分を除去することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出回路３７における第１の電荷増幅器３８と第２の電荷増幅器３９とから出力される出力信号の差値を増幅する差動増幅器４０にコンデンサ４５および抵抗４６を並列に接続したローパスフィルタ４７を設け、出力信号からノイズ成分を除去する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸まわりの回転検出ができ、１つの発振回路で振動を励起することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】物理量検出素子１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３ａおよび第２連結部３ｂと、第１連結部３ａまたは第２連結部３ｂからＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した一対の第１駆動振動腕４ａおよび第２駆動振動腕４ｂ、並びに一対の第３駆動振動腕４ｃおよび第４駆動振動腕４ｄと、第１連結部３ａから斜めに延出した第１駆動検出振動腕５ａおよび第２駆動検出振動腕５ｂと、第２連結部３ｂから斜めに延出した第３駆動検出振動腕５ｃおよび第４駆動検出振動腕５ｄと、基部２からＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１検出振動腕６ａおよび第２検出振動腕６ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを十分に抑制することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２と、Ｘ軸に沿って、基部２から互いに反対方向へ延出した一対の第１突出部３（３ａ，３ｂ）と、第１突出部３ａから、斜めに延出した第１駆動腕１１ａおよび同じく第１突出部３ａから斜めに延出し、第１駆動腕１１ａと逆相で振動する第２駆動腕１１ｂと、第１突出部３ｂから、斜めに延出した第３駆動腕１２ａおよび同じく第１突出部３ｂから斜めに延出し、第３駆動腕１２ａと逆相で振動する第４駆動腕１２ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第１検出腕１３ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第２検出腕１３ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第３検出腕１４ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第４検出腕１４ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電源電圧に同じ周波数成分のノイズが存在しても、直流に重畳されずに精度の高い振動ジャイロセンサを提供することにある。
【解決手段】振動ジャイロセンサ２は、振動片１０と、駆動電極３６Ａ，３６Ｂと、検出電極３８Ａ，３８Ｂと、モニタ回路１２と、駆動回路１４と、振幅調整回路１６と、増幅回路１８Ａ，１８Ｂと、差動増幅回路２０と、同期検波回路２２と、フィルタ信号Ｖ１２を出力するフィルタ回路２８と、フィルタ信号Ｖ１２に対して、電源電圧Ｖｄｄの変動に対して比例に変動し感度信号Ｖ１３を出力するレシオメトリック回路３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の検出感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子１は、支持部２から延出する１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂとそれとは反対側の１対の検出用振動腕４ａ，４ｂとを備え、駆動用振動腕が面内方向に逆向きに屈曲振動する駆動モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と逆相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と逆相で屈曲振動する第１の検出モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と同相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と同相で屈曲振動する第２の検出モードとを有し、各検出用振動腕が、第１の検出モードと第２の検出モードとにおいて同相で屈曲振動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた物理量センサに関し、物理量センサにおける検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ８の開口部１１に振動子９とＩＣ１０を収容し、この開口部１１に上蓋１２を接着して封口する物理力センサにおいて、開口部１１とパッケージ８の外部を連通させる通気口２６を、上蓋１２における振動子９との非対向部分、或いは接着層３１に設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】両側音叉型の振動ジャイロ素子において、駆動用検出腕の機械的振動漏れによる影響を解消又は軽減して検出精度及び感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は支持部１２から互いに逆向きに延出する各１対の駆動用振動腕１３ａ，１３ｂと検出用振動腕１４ａ，１４ｂとを備え、駆動用振動腕は駆動モードでＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｄで屈曲振動し、検出モードではＹ軸周りの回転によるコリオリ力によってＺ軸方向に逆相で屈曲振動し、検出用振動腕がＺ軸方向に駆動用振動腕とは逆相で屈曲振動する。検出用振動腕はＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｈ＜ｆ_ｄで屈曲振動するように設定され、共振周波数ｆ_ｈは駆動モードにおいて各検出用振動腕から出力される検出信号の値Ｓ1，Ｓ2との差｜Ｓ1−Ｓ2｜を小さくするように設定される。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、優れた信頼性を発揮するこのとのできる回路基板、センサーモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーモジュール１は、下面４２に形成されたアナログ回路部４２１および上面４１に形成されたデジタル回路部４１１を有する実装基板４と、実装基板４の下面４２側に設けられた２つの角速度センサー７１２、７１３が実装基板４に対して縦置きに設けられている回路基板２と、実装基板４の下面４２と対向するように配置され、回路基板２を支持する台座３とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）