【課題】ＱＶアンプの特性変動を低減させるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣ１０は、半導体基板１１の第１の面１１Ａに集積回路と電極とが形成されている。センサー素子２０は、振動部を有し、半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向する面に電極が形成されている。半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して１又は複数の再配置配線３０が設けられ、再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板１１に形成された電極とセンサー素子２０に形成された電極を電気的に接続する。ＱＶアンプ１１０，１２０は、センサー素子２０の検出信号が入力され、半導体基板１１の第１の面１１Ａに直交する方向から視た平面視において、センサー素子２０の振動部と重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２、外部接続端子２３を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられた３つのＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された各振動腕（３２ａ，３２ｂなど）と接続電極３９とを有する３つの振動ジャイロ素子３０と、ＩＣチップ２０の外部接続端子２３と接続されたフレキシブル配線基板４０，４０ａと、を備え、各振動ジャイロ素子３０は、各ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、一方の主面３０ａが支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が各ＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられ、フレキシブル配線基板４０は、補強層４３を有する。 （もっと読む）

【課題】加速度の検出時、検知電極に加えて加振電極を利用することにより、加速度の測定感度を向上させる慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサは、可撓基板部に変位可能に浮遊状態で支持される駆動体と、駆動体の変位を検出する検知電極１１１ａ、１１１ａ’、１１１ｂ、１１１ｂ’を有する変位検出部と、駆動体を加振させる加振電極１１２ａ、１１２ａ’、１１２ｂ、１１２ｂ’を有する加振部と、検知電極及び加振電極が連結される差動増幅器ＤＡと、差動増幅器に連結され、加速度及び角速度を算出する回路部と、を含み、検知電極と加振電極を利用して加速度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 回路の大規模化を抑えながらオフセット調整を実現できる検出装置等の提供。
【解決手段】 検出装置は駆動回路と検出回路を含み、検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路を含む。増幅回路は、出力信号に対応する差動信号の差動増幅を行う差動増幅回路７６と、差動増幅回路７６が有する少なくとも１つの抵抗の抵抗値を可変に制御することで、オフセット調整を行うオフセット調整回路７８を含む。差動増幅回路７６は、第１〜第４の抵抗ＲＢ１〜ＲＢ４とオペアンプＯＰＢを含む。オフセット調整回路７８は、第１、第３の抵抗ＲＢ１、ＲＢ３の少なくとも一方の抵抗値を可変に制御することにより、差動信号を構成する第１、第２の信号にそれぞれ重畳される第１、第２の不要信号の少なくとも一方を増幅して、オフセット調整を行う。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ると共に、周波数温度特性を改善した圧電振動素子を得る。
【解決手段】圧電振動素子１は、圧電振動素子１の圧電基板８が、複数の振動腕１５ａ、１５ｂ、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広で錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂ、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、振動中心に沿っての両側に対称に配置され且つ大きな質量を備えた質量部２１を備えており、圧電振動素子１に励振される屈曲−捩じり結合振動のうちの屈曲振動を主振動とし、その周波数温度特性が温度に関し三次特性となるように、圧電基板８の厚さ及び切断角度と、各質量部２１及び溝部１７ａ〜１８ｂの形状と、を夫々適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の隣り合う電極に接続されるリードが同一方向に延出する場合、電子部品の搭載時に、位置ズレや回転ズレの可能性が大きくなる。
【解決手段】第１の面に第１の電極及び前記第１の電極と隣り合う第２の電極を有する電子部品と、前記第１の電極と第１の導電性接着剤を介して接続された第１のリードと、前記第２の電極と第２の導電性接着剤を介して接続された第２のリードと、を有し、前記第１及び第２のリードは前記第１の面の第１の辺とオーバーラップし、前記第１のリードのリード部は、前記第１の電極の中心を通り前記第１の辺に垂直な第１の仮想直線に対して、第１のリードのランド部から第２の辺側に延出し、前記第２のリードのリード部は、前記第２の電極の中心を通り前記第１の辺に垂直な第２の仮想直線に対して、前記第２のリードのランド部から、前記第２の辺と対向する第３の辺側に延出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型で低コスト化が可能な振動デバイス、電子機器、及び、振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、第１の面２ａ及びその第１の面２ａとは反対側を向く第２の面２ｂを有し、互いに電気的に独立して設けられた複数の金属支柱と、複数の金属支柱の第１の面２ａ及び第２の面２ｂとは異なる面の隙間に充填され複数の金属支柱を一体に固定する絶縁体３３と、を備えた基板２と、能動面１０ａに電極パッド１１を有し、第１の金属支柱３に固定されたＩＣチップ１０と、支持部２１と振動部２２とを有し、支持部２１をＩＣチップ１０の能動面１０ａに接合することによりＩＣチップ１０に支持されたセンサー素子２０と、電極パッド１１と第２の金属支柱４Ａ，４Ｂ，４Ａ´，４Ｂ´とを電気的に接続するボンディングワイヤー９９と、ＩＣチップ１０及びセンサー素子２０を覆うように設けられた蓋体９と、を有する。 （もっと読む）

【課題】故障等を高精度に自己診断することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】第一駆動腕と第二駆動腕とを有する音叉型の振動子と、駆動平面に沿って振動するように第一駆動腕を励振する第一駆動素子と、駆動平面に沿って振動するように第二駆動腕を励振する第二駆動素子と、第一駆動腕及び第二駆動腕を振動させる制御部と、第一駆動腕と第二駆動腕よりの振動を検出し、角速度を検出する検出部と、を備える角速度センサであって、制御部は、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ振動位相が逆位相となるように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する通常モードと、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ第一駆動腕に対する第二駆動腕の振動位相が逆位相からずれつつ同位相とはならないように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する自己診断モードと、を実行する。 （もっと読む）

【課題】回路面積の増加を抑えながら従来よりも低ノイズ化が可能な信号処理回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】Ｉ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）は、振動子１００の発振電流を電圧に変換する。ＲＣフィルター２２０（位相シフト部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号を位相シフトする。全波整流回路２４０（駆動振幅制御部の一部）は、位相シフトされた信号を２値化して切り替え制御信号２７を生成する。コンパレーター２６０（参照信号生成部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号に基づいて、同期検波用の参照信号２６を生成する。排他的論理和回路２７０（クロック信号生成部）は、参照信号２６と切り替え制御信号２７との位相差に基づいて、駆動信号２２の周波数の２倍の周波数を有するスイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）用のクロック信号２８を生成する。 （もっと読む）

【課題】帰還抵抗の寄生容量による悪影響をなくして、半導体基板上で実用化が可能な、出力ノイズの小さいチャージアンプを提供する。
【課題の解決手段】チャージアンプ１は、非反転入力端子を増幅基準電圧６に接続し、反転入力端子に水晶振動子を有する振動型角速度センサ７から５０ＫＨｚの周波数信号を入力するとともに、その出力端子は並列接続された帰還抵抗４，５及び帰還容量３を介して反転入力端子に接続したものであって、帰還抵抗４，５の反転入力端子側ほぼ半分に対応する寄生容量８の基板電極を反転入力端子に接続して、出力ノイズを低減したものである。 （もっと読む）

【課題】振動子が安定発振するまでの時間を短縮するとともに安定発振を維持することが可能な駆動回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】コンパレーター２１０（駆動信号生成部）は、第１の信号線を介して入力された振動子１００の発振電流２４がＩ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号２２を生成し、第２の信号線を介して振動子に供給する。発振検出回路２７０（発振検出部）は、振動子１００が発振を開始してから発振電流２４が所定値に達したか否かを検出する。起動発振回路２８０（起動発振部）は、発振電流２４が所定値に達するまで振動子１００の発振動作を補助する。スイッチ２１８は、発振電流２４が所定値に達するまでコンデンサー２１６を第２の信号線から切り離し、発振電流２４が所定値に達した後はコンデンサー２１６を第２の信号線に接続する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも低ノイズ化が可能な検出回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】同期検波回路３２６（同期検波部）は、振動子１００の検出信号３２，３４を含む信号（アンプ３２４の出力信号）に対して同期検波を行う。スイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）回路３３０は、同期検波回路３２６により同期検波された信号（可変ゲインアンプ３２８の出力信号）をフィルター処理する。出力バッファ３３２は、ＳＣＦ回路３３０によりフィルター処理された信号をバッファリングして外部に出力する。ＳＣＦ回路３３０ゲインは１よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】検出特性の低下を抑制しつつセンサの薄型化を実現することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】上記角速度センサは、第１の梁１１ａ，１１ｂの組と、第２の梁１２ａ，１２ｂの組と、第１の梁の組と前記第２の梁の組との間をそれぞれ接続する複数の接続部１３ａ〜１３ｄとを有する環状のフレーム１０と、第１の梁の組と第２の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、一方の組が離間したときに他方の組が近接する振動モードでフレームを第１の面内で振動させる駆動部と、上記振動モードで振動するフレームの変形量に基づいて、第１の面と直交する方向の軸回りの角速度を検出する第１の検出部５０と、フレームの外側を囲む内周部を有する環状のベース部と、内周部と複数の接続部との間をそれぞれ連結する複数の連結部とを有する支持機構とを具備する。 （もっと読む）

【課題】直線加速度の影響及び検出軸以外の他軸の角速度の影響の少なくとも一方を受けることがない物理量センサーを提供する。
【解決手段】物理量センサー１０は、基板と、基板上の空間平面に配置され、回転軸２２，３２を有した第１変位部及び第２変位部２１，３１と、基板の第１変位部及び第２変位部２１，３１の各々に対向する位置に設けられた固定電極部と、第１変位部及び第２変位部の各々の回転軸を支持する支持部４０と、バネ部６０を介して支持部４０を支持する固定部５０と、支持部４０を振動方向に振動させる駆動部７０と、を備え、第１変位部及び第２変位部は、回転軸を軸として空間平面に対して垂直方向に変位可能であり、回転軸の各々は、第１変位部又は第２変位部の重心からずれて設けられ、第１変位部２１の回転軸２２と第２変位部３１の回転軸３２とは、重心からのずれの方向が互いに反対である。 （もっと読む）

【課題】振動素子のチューニングの際に用いるレーザー光による半導体基板の能動領域へのダメージを抑制し、電気的特性の安定した振動デバイスを提供する。
【解決手段】センサーデバイス１において、半導体基板としてのシリコン基板１０は、能動面１０ａ側に半導体素子を含んで構成される集積回路が形成された能動領域を有している。シリコン基板１０上に振動ジャイロ素子２０が配置されたセンサーデバイス１において、能動領域は、振動ジャイロ素子２０の駆動用振動腕２５ａ，２５ｂの先端側の錘部２８ａ，２８ｂ上に設けられた質量調整部としての錘電極４１と平面視で重なる領域を回避して形成されている。これにより、錘電極４１にレーザーを照射して周波数調整を行う際に、レーザーが能動面１０ａに到達したときに集積回路にダメージが加わるのを回避することができる。 （もっと読む）

【課題】外部から加わる衝撃などの応力の緩和が可能な小型のセンサーデバイス、モーションセンサー、及び、これらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、基部２１、基部２１から延伸された検出用振動腕及び駆動用振動腕、外部接続端子２９を有する振動ジャイロ素子２０と、ＩＣチップ１０とを備えている。第１の電極１１、及び、第１の電極１１に配線１６を介して電気的に接続されて能動面１０ａ側の第１の電極１１と平面視で重ならない位置に設けられた第２の電極１７により構成された複数の電極部１８と、能動面１０ａと第２の電極１７との間に設けられた樹脂層としての応力緩和層１５と、を有し、振動ジャイロ素子２０が、外部接続端子２９と第２の電極１７との接合部材１２を介した接続によってＩＣチップ１０に保持されている。第２の電極１７は、第１の電極１１から略同じ方向に同じ長さだけずらせて設けられている。 （もっと読む）

【課題】外部から加わる衝撃などの応力の緩和が可能な小型のセンサーデバイス、モーションセンサー、及び、これらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】半導体装置としてのＩＣチップ１０は、第１の電極１１と、突起電極１２と、能動面１０ａと突起電極１２との間に積層された絶縁膜１４と、を有する。絶縁膜１４上の、振動ジャイロ素子２０の引き出し電極２９と対応する位置には、弾性を有する絶縁性樹脂からなる樹脂突起１２ａと、各樹脂突起１２ａの表面に設けられた導電膜としての金属膜１７とにより構成された突起電極１２が配設されている。金属膜１７は、絶縁膜１４の各開口部１４ａ内の第１の電極１１から絶縁膜１４上に引き出された配線１６に接続されている。突起電極１２と、振動ジャイロ素子２０の対応する引き出し電極２９とが位置合わせされ、導電性の接合部材９８により接合されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電結合漏れを相殺するとともに、出力信号の感度の低下も抑制することが可能な角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の角速度センサはＰＬＬ回路９１の出力の任意のエッジタイミングで可変可能な位相調整回路９２ａを備えることにより、センス回路における同期検波のタイミングを調整する構成としたため、同期検波時に出力信号に静電結合漏れに起因するオフセットが発生することを防止することが出来ることとなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサユニットおよびその信号検出方法に関し、角速度センサユニットの検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、角速度を検出する振動型のセンサ素子１およびそれを制御するＩＣ２を内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、センサ素子１は駆動アーム５にドライブ電極６、モニタ電極７、センス電極８を設けるとともに、駆動アーム５を支持する支持アーム１６に設けられたモニタ電極７の配線電極１９に補正電極２０を設け、不要振動によりモニタ電極７に形成された不要信号を、同じ不要振動により補正電極２０に形成された補正信号で減衰させる構造としたのである。 （もっと読む）

【課題】広い離調度調整範囲を確保すると共に、水晶振動子ごとの特性に合わせた離調度調整や漏れ調整を水晶ウェハー上で一括して行う水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形形成工程ＳＴ１と、水晶振動子に電極を形成する電極形成工程ＳＴ２と、電極を形成した水晶振動子の離調度を測定する離調度測定工程ＳＴ３と、離調度測定工程の測定結果に基づいて、基部と検出脚の接続部分の近傍に形成された電極を所定形状に加工する電極加工工程ＳＴ５と、電極加工工程で加工された電極をマスクにして水晶振動子をエッチングにより削るエッチング工程ＳＴ６を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）