【課題】ガイド部材にズレが生じてもプローブがスムーズに摺動可能なガイド部材によるプローブの保持構造を提供する。
【解決手段】電気的接触子がガイド部材によって保持された電気的接触子構造であり、電気的接触子は、先端にプランジャ、後端に支持部、さらにプランジャと支持部を接続するスプリングコイル、およびプランジャからスプリングコイル内へと延びる制動軸部を有し、スプリングコイルはプランジャに接続される可動部および支持部に接続され可動部よりも密に巻回されている固定部からなり、ガイド部材は、電気的接触子の先端側が挿入される第1のガイド穴が設けられた第１のガイド部材１１と、電気的接触子の後端側が挿入される第２のガイド穴が設けられた第２のガイド部材１２とが所定の間隔で配置されており、第１のガイド部材と第２のガイド部材との間で、スプリングコイルが湾曲するように、第１のガイド穴と第２のガイド穴が配置されている。 （もっと読む）

【課題】スプリングプローブのプランジャとバレルの間の摩耗による電気抵抗の変化を、スプリングプローブの交換が必要となる時期を検出するに適したスプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法を得るものである。
【解決手段】スプリングプローブ２６のバレル端子２７に接続され、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４、２３に流れる電流を測定する電流測定器５３と、バレル端子２７とスプリング端子１６に接続され、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の電圧降下を測定する電圧測定器５４と、電流測定器５３及び電圧測定器５４からの信号に基づき検出されたバレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の接触抵抗値と、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の基準抵抗値とを比較し、その比較差が設定した値に達すれば摩耗検出信号を出力する制御計算機を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被検査物の損傷等を抑制可能な検査治具および検査装置を提供する。
【解決手段】検査治具２０および検査装置３０は、半導体チップ等の被検査物１０の電気特性の検査に使用される。検査治具２０は、プローブカード１００と、弾性部１５０とを含んでいる。プローブカード１００は、プローブピン部１２０を含んでいる。弾性部１５０は、プローブカード１００のうちでプローブピン部１２０が設けられている面とは反対側の面に設けられている。検査治具２０は、弾性部１５０を検査治具取り付け場所（検査装置３０の検査治具連結部）２００に向けた状態かつ弾性部１５０の弾性作用によってプローブカード１００が揺動可能な状態で、検査治具取り付け場所２００に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】ソケット本体に対するカバーの変位を円滑にする。
【解決手段】電気的接続装置は、針先を凹所に露出させた状態にソケット本体に配置された複数の接触子と、ソケット本体の上側に上下方向へ移動可能に配置された板状のフローティング部材であって、被検査体を凹所に対し出し入れすることを許す開口を有するフローティング部材と、フローティング部材の上側に配置され、かつ水平方向へ延びる軸線の周りに回転可能にフローティング部材に連結されたカバーであって、フローティング部材をソケット本体に押圧すると共に凹所に収容された被検査体の電極を針先に押圧する第1の位置と、フローティング部材及び電極の押圧を解除する第２の位置とに変位可能のカバーと、フローティング部材をソケット本体に対し上方に付勢する第１の弾性部材と、第２の位置に変位させるべくカバーをフローティング部材に対し付勢する第２の弾性部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定であって支障なく半導体パワーデバイス用コンタクトプローブとして使用し得ると共に、支障なく多数回使用することができる使用寿命の長い半導体パワーデバイス用コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】スリーブを、先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成することによって、コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定とすることができる。また、スリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに固定した耐熱性の材料から形成された絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該絶縁性チューブの外周に固定するか、スリーブに嵌合させた別の絶縁性チューブ内に位置させて、前記プランジャーに固定した絶縁性チューブでコイルスプリングを押圧するように構成することによって、長寿命のコンタクトプローブとすることができる。 （もっと読む）

【課題】プローブピンと測定対象物との導通状態を確保しつつ、測定対象物の過度の損傷を抑制することを課題とする。
【解決手段】プローバ装置は、プローブピンと、このプローブピンの先端部を接触させる電極パッドが設けられた半導体ウェハ等の測定対象物が設置される台座部を備える。さらに、プローバ装置は、プローブピンと測定対象物の少なくとも一方を往復振動させる振動発生部を備える。そして、プローブピンの先端部が台座部に設置された測定対象物に接触したときのプローブピンと電極パッドとの間の電気抵抗値Ｒを取得する検出回路部を備える。制御部は、検出回路部により取得された電気抵抗値Ｒに基づいて、この電気抵抗値Ｒが予め設定されたしきい値を越え、導通状態となったか否かを判断する。そして、導通が確保されたら、振動発生部による往復振動を停止させ、測定機器による測定を行う。 （もっと読む）

【課題】電子部品の電気的特性の試験を繰り返す中で増大した、接触子と回路基板上の接続端子との間の電気抵抗を低減することのできるプローブカードを提供する。
【解決手段】接続端子３１１を有する回路基板３と、一端側が被試験電子部品４の外部端子４１と接触する電子部品接触部２１１、他端側が回路基板３の接続端子３１１と接触する基板接触部２１２となっている接触子２１とを備えたプローブカード１において、接触子２１の基板接触部２１２および／または回路基板３の接続端子３１１を相手側に対して進退させることでスクラブ動作させることにより、接触子２１の基板接触部２１２と回路基板３の接続端子３１１との間の電気抵抗を低減させるリフレッシュ機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】 安定した電気的接続を可能にし、かつ、突起状接続電極の突起頂点にスクラブ跡を付けることのないプローブ針のガイド部材、カンチレバー型プローブカード、並びに、半導体装置の試験方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 プローブ針先端部の移動をそのスクラブ方向に沿った直線方向にガイドする直線状の側部を備えたガイド孔を有し、当該ガイド孔が、上記プローブ針ガイド部材が突起状接続電極に対して使用位置に位置決めされたとき、突起状接続電極の突起頂点を通るスクラブ方向に沿った中心線から外れた頂点周辺部と対向する位置に開口するガイド孔であるプローブ針ガイド部材、そのようなプローブ針ガイド部材を備えたカンチレバー型のプローブカード、並びに、そのようなプローブ針ガイド部材を用いる半導体装置の試験方法を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により、高品質のクリーニング作業を実施すると共に、優れた性能を長期間維持することが可能なテストコンタクト、そのクリーニング方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】クリーニング部材４がテストコンタクト１１に接触したときに、ターンテーブル３が微動することにより、クリーニング部材４が動いてテストコンタクト１１の表面を擦るようになっている。また、クリーニング作業のたびに、クリーニング部材４表面のテストコンタクト１１に接触する部分をずらすようになっている。 （もっと読む）

【課題】半導体回路に影響を与えることなく確実に電極パッドとの電気的接続を得ることのできるプローバー装置を得る。
【解決手段】１又は複数のプローブ針を有するプローブカードと、前記プローブ針を振動させるための振動子と、を有し、前記プローブ針は屈曲部を有しており、前記プローブ針には、前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数が与えられるものであることを特徴とするプローバー装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】第１プランジャーと第２プランジャーとを確実に接触可能とし、半導体集積回路等の検査対象物と検査用基板とを電気的に安定させて低抵抗で接続することができる、コンタクトプローブ及びこれを備えたソケットを提供する。
【解決手段】第１プランジャー１のうちコイルスプリング３の伸縮方向に関してコイルスプリング３の外側に位置する部分(フランジ部１２及び先端側本体部１３)の第２プランジャー２との摺動面は、部分的に傾斜部１５となっている。コイルスプリング３が伸びている第１の状態(開放状態)からコイルスプリング３が縮んでいる第２の状態(圧縮状態)に遷移する過程で、第２プランジャー２の摺動部２１が板バネ状に変形して第１プランジャー１の傾斜部１５に乗り上げる。 （もっと読む）

【課題】プローブの支持ユニットを４分割するとともに、前記支持ユニットを個々に独立させて取替えや製造・補修を容易にできる、複数の検査領域に対応したプローブカードを提供する。
【解決手段】複数の開口が開設された基板と、前記基板の片側に設けられ、前記複数の開口を覆う補強板と、前記基板を介在して前記補強板に結合されたユニットホルダと、一つの検査領域に降ろされる複数のプローブを支持する複数組の支持ユニットとを備えたプローブカードであって、前記複数組の支持ユニットは前記複数の開口に配置されていて、互いに所定距離隔てて前記ユニットホルダに締結されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査時に生じる問題を解消し、タッチダウンを繰り返し行った場合でも針先精度を確保し、十分なオーバードライブ量が確保でき、ＦＰＣの曲げによる反力を小さくすることで、より高精度のプローブカードを提供する。
【解決手段】複数のプローブを備えるプローブモジュール、上記プローブモジュールと所定の間隔で平行に配置されているメイン基板、上記プローブモジュールと上記メイン基板とを接続するフレキシブルプリント配線板、および上記プローブモジュールを上記メイン基板に対して可動に保持する保持機構とを備えるプローブカードであって、上記保持機構は、上記プローブモジュールと上記メイン基板に対して垂直方向に弾性力を作用させる複数の圧縮ばねを有し、上記プローブモジュールに超音波発振器と接続した超音波発振子を設け、上記超音波発振器によって上記超音波発振子を超音波振動させてプローブの先端を超音波振動させる。 （もっと読む）

【課題】端子部を不必要に露出させることなく、計測対象物に接触させることができるようにして、効率のよい、また、容易な計測作業を実現することのできる計測プローブを提供すること。
【解決手段】電気的特性を計測する計測器に接続されて計測対象物に接触させる電極端子部６４を備える計測プローブであって、前記電極端子部は、把持部１３の先端から突出されて概略円筒形状のカバー部材１４内に内装されており、カバー部材は、離隔方向にスプリング１７で付勢されている外装部材１６を内装部材１５に外装させることにより電極端子部を内装状態にするとともに、その外装部材の底部１６ａにその電極端子部を露出可能に開口する突出穴１６ｈが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 特に、無電解メッキ法を用いて、従来に比べて半田転写の改善や接触抵抗の安定性等を図ることが可能な表面層を弾性変形部に形成することが可能な接触子の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 弾性変形部を備える接触子の製造方法において、固定部２１と、前記固定部２１から延出形成された前記弾性変形部２２とを有する芯部２３を形成する工程、前記芯部２３の表面に、無電解メッキ法にて、白金族金属層２８をメッキ形成する工程、前記白金族金属層２８の表面に、無電解メッキ法にて、Ａｕ層２９をメッキ形成する工程、加熱処理を施して、最表面層に、白金族元素とＡｕとの合金層を形成する工程、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プロービングの際の接触痕を可能な限り小さくすることが可能なコンタクトプローブ用固定具を提供することを主目的とする。
【解決手段】プローブ案内機構に一端が取り付けられると共にプローブ本体２を固定可能に構成され、固定されたプローブ本体２をプローブ案内機構による案内に従ってプロービング対象体Ｐに接触させるコンタクトプローブ用固定具１０において、プローブ本体２が接触状態であってプローブ案内機構によってプロービング対象体Ｐ側にさらに付勢されたときに、弾性変形部８ａ〜８ｄの弾性変形によって付勢方向とは逆向き方向へのプローブ本体２の直動または近似的直動を許容するリンク機構ＲＭを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より簡単に、より高精度の加工を行うことが可能なプローブ先端の加工方法を提供する。
【解決手段】プローブを可動に保持する筒状の保持部を設けた治具、表面に研磨シートが貼られたステージを備えるプローブ先端研磨装置であって、上記ステージが、上記研磨シートに上記プローブの先端が接触した状態で回転し上記プローブの先端を研磨し、上記プローブは先端が研磨されるにつれて下方に移動し、プローブの先端を研磨する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の電極面とプローブピンとの接触状態を改善して効率良く検査ができる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１０１は、プローブピン３１Ａ・３１Ｂが取り付けられたテストヘッド３を備えている。また、検査対象物であるコンデンサ１１の電極面１３に対して角度θ１で傾斜したピストンロッド１０４と、ピストンロッド１０４に沿ってテストヘッドを移動させるエアシリンダ５を備えている。検査装置１０１では、ピストンロッド１０４が角度θ１で傾斜しているので、プローブピン３１Ａ・３１Ｂの先端をコンデンサ１１の電極面１３に接触させた際に、さらにプローブピン３１Ａ・３１Ｂの先端をコンデンサ１１の電極面１３と平行な方向に移動する。これにより、プローブピン３１Ａ・３１Ｂの先端が電極面１３と擦れ合い、電極面１３を覆う酸化膜やゴミを除去して、プローブピン３１Ａ・３１Ｂと電極面１３との接触状態を改善できる。 （もっと読む）

【課題】被験体の被覆部分を避けてテストクリップを被測定領域に確実に接触させることができ、再接続作業を不要にするとともに、被験体の太さに拘らず、テストクリップと被験体の被測定領域との接触を維持する。
【解決手段】プローブにおいて、断面がほぼ三角形状であって、該三角形状の頂点付近で前記被験体の被測定領域に接触可能なＬ字型のテストクリップと、駆動手段により駆動される可動保持体とを備え、前記テストクリップと前記可動保持体とで前記被験体の被測定領域を挟持して、接触を維持できるようにした。 （もっと読む）

【課題】スクラブ機能を有する小型のプローブを提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係るプローブ２２は、プローブカードの配線基板２１と接続される接続部と、対象物の電極パッド１２と接触する接触部２４と、接触部２４を支持する支持部と、接続部２３から支持部２５に向かって延在する第１ビーム部２７ａ及び第２ビーム部２７ｂと、接続部２３が設けられた面と異なる面において、支持部２５に対して第１ビーム部２７ａを回転可能に支持する第１ヒンジ郡と、支持部２５の第１ビーム部が支持される面と対向する面において、支持部２５に対して第２ビーム部２７ｂを回転可能に支持する第２ヒンジ部とを備え、接触部２４を対象物に接触させ接続部２３側に押し付けることにより、接触部２４が当該対象物との接触点において、接触部２４の対象物への押し付け方向と平行な回転軸を中心として回転する。 （もっと読む）