高周波数において集積回路の電気的特性を測定するプローブ測定システムは、誘電体基板８８を有するマイクロストリッププローブを支持するとともに、電気的に接続された同軸ケーブル（４０）と、細長形状のコンダクター（９２）と、誘電体基板８８の第２の側によって支持された接地信号に電気的に結合された導電性部材（９０）とを具えている。前記導電性部材は、前記誘電体基板の第１の側に位置する細長形状コンダクターのほぼ全体に亘る長さ部分の下方に位置する。また、前記プローブ測定システムは、誘電体基板（８８）の前記第１の側及び前記第２の側の間に位置する導電性パス（９４）と、試験下にあるデバイスとの接触を図るために前記導電性パスの電気的に接続した接触部とを具える。
（もっと読む）

モジュール式試験機アーキテクチャ（100）により、エンド・ユーザがスキャン・チェーン・モジュールおよびクロック・ドライバ・モジュールを組み合わせることができる。各モジュールは、同期バス（118）を介して相互接続され、それによって試験モジュール同士が互いに同期するのが可能であり、したがって、各モジュールは、試験全体におけるそのモジュールの部分を、他のモジュールによって行われる試験に対して適切な時間に実行することができる。このモジュールには、BISTドライバ・モジュール、データ取得モジュール（208）、ネットワーク化インターフェース・モジュール（202）、コントローラ・モジュール（204）、電流測定モジュール（210）、およびDCパラメトリクス・モジュールを含めることができる。

（もっと読む）

同軸プローブ相互接続システム１００は、キャリアアセンブリ２００と、プローブホルダ３００と、を含む。キャリアアセンブリ２００は、第１同軸コネクタ半体２１０を有する。各第１同軸コネクタ半体２１０は、関連する同軸ケーブル２１２に終端される。プローブホルダ３００アセンブリは、同軸プローブコネクタ３０６を有する。各同軸プローブコネクタ３０６は、第１端にスプリングプローブを有し、第２端に第２同軸コネクタ半体３１０を有する。各第２同軸コネクタ半体は、キャリアアセンブリ２００の対応する第１同軸コネクタ半体に摺動可能に嵌合する。
（もっと読む）

【課題】ＬＳＩ開発の初期評価で使用するために、高額なＬＳＩテストシステムを必要とせずにＬＳＩ検査システムの構築を可能にする。
【解決手段】ＬＳＩ検査プログラムおよびＬＳＩ検査結果データを格納する不揮発性メモリとＬＳＩ検査プログラムを実行するＣＰＵとを内蔵するＬＳＩテストチップ１１１をプローブカード装置１０１に搭載し、ＬＳＩ検査プログラムはパーソナルコンピュータ１０３に接続した専用治具を介してＬＳＩテストチップにロードし、ＬＳＩテストチップは検査開始信号および検査終了信号によりウエハ検査搬送機１０２を制御してＬＳＩ検査プログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】 従来のような個々のＩＣ毎に使用するソケットに代えて、多種類のＩＣに何度でも使用できる安価な部品を使用することで、コストを大幅に低減できるようにした電子回路の欠陥検査装置を提供するものである。
【解決手段】 可撓性を有する導電シート１８に接続回路を備え、その一方の面にデバイス１０の半田ボール２６接触するパッド３０を備え、導電シート１８の他方の面に検査用基板１６のパッド２８と接触する半田ボール３２を備える。その導電シート１８で軟質弾性体２０の上下の面を覆う。デバイス１０を装着するガイド部材１４に端子も接続回路も備えない。ガイド部材１４に装着したデバイス１０を押圧手段２４で押圧することで、デバイス１０の半田ボール２６と検査用基板１６のパッド２８とを導電シート１８を介して電気的に接続する。デバイス１０に応じて検査用基板１６と端子も接続回路も備えないガイド部材１４とを交換し、デバイス１０の種類によっても軟質弾性体２０と端子と接続回路とを有する導電シート１８とを交換しないようにする。これによって、製造コストを大幅に削減することができる。 （もっと読む）

【課題】製造効率が良く、且つ半導体チップとの接触抵抗をより小さくして正確な検査を行なうことが可能である検査用プローブ基板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】銅箔を備えた基板に突起と該突起に接続する配線パターンとを形成する検査用プローブ基板の製造方法において、前記突起の形成は、Ａｕボールをボンディングした後にＡｕワイヤをクランプしたキャピラリを移動することにより行ない、その後前記突起の上に第１のめっき及び第２のめっきを施したことにある。 （もっと読む）

【課題】 ＳＡＷフィルタなどの電子部品に対する高周波特性の損失を少なくした高精度なプローブ測定が可能となる電気的特性検査装置におけるプロービング装置およびプロービングシート構造を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、スルーホール４８ａ、４８ｂで接続された表裏配線パターン４８（６０ａ、６２ａ）、４６（６０ｂ、６２ｂ）を有し、裏面パターン上に信号用とグランド用の角錐バンプ（５０ａ、５０ｂ）を形成し、信号用角錐バンプおよびグランド用角錐バンプを、それぞれ対応する裏面パターン、スルーホール、表面パターンを径由して、信号入出力用の同軸コネクタ３４に接続したプリント配線基板４２を備えて構成したプローブシート構造３０を備えたプロービング装置である。 （もっと読む）

【課題】 接触状態でのプローブ先端の位置及びプローブの最適な押し込み深さを事前に測定することができるプローブ検査装置及びプローブ検査方法を提供する。
【解決手段】 被検査物と同じ程度の平坦な接触面を有する変形体７と、複数のプローブ１からなるプローブカード３と、接触面と複数のプローブ１を接触させる手段と、接触面上に形成された複数のプローブ痕８を観察する手段と、複数のプローブ痕８の開口の大きさ及び複数のプローブ先端痕の位置を測定する手段と、複数のプローブ痕８の開口の大きさからプローブ１の押し込み深さを算出する手段とを有する。 （もっと読む）