【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び検出精度の向上の両立を図ることができる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光を透過させる本体部２と、本体部２の所定の面から本体部２に入射した光を分光すると共に所定の面側に反射する分光部と、所定の面に配置され、分光部によって分光されると共に反射された光を検出する光検出素子４と、所定の面に設けられ、分光部に進行する光が通過する第１の光通過孔６ａ、及び分光部から光検出素子４に進行する光が通過する第２の光通過孔６ｂを有する遮光層６と、光検出素子４を所定の面に固定する遮光性の樹脂部材１０と、を備えている。樹脂部材１０は、光の入射方向から見た場合に、光検出素子４の外縁から突出する突出部１５ａを複数有し、第１の光通過孔６ａの少なくとも一部は、光の入射方向から見た場合に、隣り合う突出部１５ａ，１５ａの間に位置している。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面２ａから入射した光を透過させる光透過部２，３と、光透過部２，３の凸曲面３ａ上に設けられ、光透過部２，３を透過した光を分光して表面２ａ側に反射する分光部と、表面２ａ側に設けられ、分光部によって分光されて反射された光を検出する光検出素子７と、を備える分光モジュール１の製造方法は、凸曲面３ａに、回折層４を形成するための材料を配置し、材料にモールドを当接させ、材料を硬化させることにより、凸曲面３ａに沿って回折層４を形成する工程と、回折層４の表面に反射層６を形成することにより、分光部を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａ上に支持された光検出素子４と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有している。前面２ａには、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する第１の光通過開口６ａ、及び光検出部４１に進行する光Ｌ２が通過する第２の光通過開口６ｂを有する光吸収層６が形成されている。光通過孔４２は、第１の光通過開口６ａと対向しており、光検出部４１は、第２の光通過開口６ｂと対向している。 （もっと読む）

【課題】広帯域の波長において略均一な回折効率が得られる回折格子を提供する。
【解決手段】透明基板上に、第１の格子材料により断面が凸状に形成された第１の格子材料層と、第２の格子材料により前記第１の格子材料層を覆うように形成された第２の格子材料層を有して、光を透過し回折する回折格子であって、所定の波長範囲内の任意の波長λの光における前記第１の格子材料の屈折率ｎ_１（λ）と、前記第２の格子材料の屈折率ｎ_２（λ）との差をΔｎ（λ）、前記回折格子のピッチをＰとした場合に、Ｐ／λ＝０．６１×Δｎ（λ）^{−０．５９}の関係を満たし、凸状に形成された前記第１の格子材料層の高さをｄとした場合に、０．７≦ｄ×Δｎ（λ）／λ≦１．２５であって、凸状に形成された前記第１の格子材料層の幅をＷとした場合に、０．２５≦Ｗ／Ｐ≦０．６５である回折格子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で透過率の高いグリズムを提供する。
【解決手段】 プリズムと、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子とを備えているグリズムを提供する。このグリズムでは、プリズムは、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である第１光学材料を用いて形成されており、バイナリ型回折格子は、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である第２光学材料を用いて形成されており、バイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値（ｒｍｓ値）は、５ｎｍ以下である。このグリズムは、フッ化リチウムおよびフッ化マグネシウムの屈折率が大きく変化する２００ｎｍから短波長側の吸収端波長までの真空紫外線領域で好適に利用できる。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で利用する分光器を提供する。
【解決手段】スリット４０、第１色消しレンズ２０、グリズム１０、第２色消しレンズ３０、検出器５０を備える分光器で、第１色消しレンズ２０と、グリズム１０と、第２色消しレンズ３０は、ＬｉＦ、ＭｇＦ２から選ばれて形成される。第１色消しレンズ２０は、第１屈折レンズ２１と複数のバイナリ型回折格子を有する第１回折レンズ２２とを有する。第２色消しレンズ３０は、第２屈折レンズ３２と複数のバイナリ型回折格子を有する第２回折レンズ３２とを有する。グリズム１０は、第１色消しレンズ２０と第２色消しレンズ３０との間に設置され、プリズム１１と、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子１２とを有する。第１回折レンズ２２のバイナリ型回折格子と、第２回折レンズ３２のバイナリ型回折格子と、グリズム１０の回折格子のバイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値は５ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と回折効率をともに向上できる分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法等を提供すること。
【解決手段】分光装置は、入射光を透過する透過型回折格子を含む。透過型回折格子は、第１の誘電体により形成される傾斜面１４０（または傾斜面１５０）を有する。傾斜面１４０は、基準線１３０に対して傾斜して配列される。透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線１３０に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線１３０に対して角度βとする。この場合、入射角度αは、傾斜面１４０対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度である。 （もっと読む）

【課題】 大型化を防止しつつ、広い波長域の光や異なる波長域の光を精度良く検出し得る分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１では、分光部７と光検出素子４とに加えて、分光部８と光検出素子９とが設けられているので、広い波長域の光や異なる波長域の光に対して検出感度を高めることができる。更に、光検出部４ａと光検出部９ａとの間に光通過孔４ｂが設けられており、光吸収性の基板２の領域Ｒと対向するように反射部６が設けられているので、大型化を防止することができる。また、外乱光Ｌ_ａは、基板２の領域Ｒで吸収される。そして、外乱光Ｌ_ａの一部が基板２における領域Ｒを透過したとしても、その一部の光は、領域Ｒと対向するように設けられた反射部６によって、領域Ｒ側に反射されるので、外乱光Ｌ_ａの入射に起因した迷光の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】反射型回折格子、及び、それを用いた分光器及びパルス整形器に関し、光の入射角を変更することで、広い波長域で高い回折効率を実現する反射型の回折格子の提供。
【解決手段】反射型回折格子１は、入射光ＩＬを透過型の体積ホログラム層２で回折させ、体積ホログラム層２からの回折光（ＤＬｒ、ＤＬｂ、ＤＬｇ）を体積ホログラム層２と接している反射部材（ミラー３）で反射することによって光の入射角を変更し、広い波長域で高い回折効率を実現する （もっと読む）

【課題】 回折格子パターンの形成を安定化させることができる分光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 分光モジュール１においては、回折層６よりも厚くなるように回折層６の周縁６ａに沿って鍔部７が一体的に形成されている。これにより、マスタモールドを用いて回折層６及び鍔部７を形成する場合の離型時に、レンズ部３の凸状の曲面３ａに沿うように形成された回折層６がマスタモールドに持っていかれて曲面３ａから剥離するのを防止することができる。更に、回折層６の中心に対して所定の側に偏るように回折格子パターン９が形成されている。これにより、回折層６の所定の側に対してその反対側を先行させるように離型を行うことで、回折層６が剥離したり、回折格子パターン９が損傷したりするのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】繰り返し露光で生じる回折光の異常ピークの発生を抑制し、急峻で異常ピークの少ない分光が可能な回折格子を実現し、この回折格子を用いることで高精度な分光分析装置を提供する。
【解決手段】一定ピッチの回折格子を繰り返し露光により作製する際に、作製する回折格子のピッチ寸法と小角偏向の繰り返し露光周期との関係において、露光すべきピッチ寸法Ｐと小角偏向の繰り返し露光周期Ｓとの比Ｐ／Ｓが０．１以上になるように設定して露光を繰り返し、露光で生じる回折光の異常ピークの発生を抑制し、急峻で異常ピークに少ない分光が可能な回折格子を実現する。 （もっと読む）

【課題】 受光手段に入射する光束の強度の低下を防止しつつ、回折効率に低下が無く、フレア等の問題が発生しない高精度な回折素子及び回折素子の製造方法及びそれを用いた分光器を得ること。
【解決手段】
曲面の基板に回折格子が形成されている回折素子２において、曲面３は、一平面上に存在する曲線(I) を、同一の一平面上に存在する直線(II)を回転軸として回動させたときに形成されるアナモフィック形状より成り、回折格子１０を構成する各々の格子１０ａは、回転軸と直交する各々の断面内に存在すること。 （もっと読む）

【課題】 回折面以外の面で反射した迷光が光検知部に入射するのを効果的に軽減し、回折面で分光した光を高精度に検知することができる分光装置を得ること。
【解決手段】 凹面反射型の回折素子を有する分光装置において、該回折素子の回折面以外の面のうち該回折面と同じ側であって、該回折面の外側に位置する非回折面は光沢面であり、該回折素子で回折される１次回折光の結像位置相当に該１次回折光を受光する光検知部を有し、該光検知部は回折面より外側の非回折面で正反射した光束の光路の内側に配置されていること。 （もっと読む）

【課題】低コストな樹脂製の回折格子において、格子定数の温度依存性を小さくする。
【解決手段】いわゆる２色成型（２材成型、複合成型）を用い、熱膨張係数が小さい材料によって高い剛性に形成されるハウジング２に、薄肉の表層部４ａを一体で積層し、その表層部４ａに回折格子４を形成（成型の際に型から転写）する。したがって、ハウジング２に一体成型される回折格子４において、その熱膨張係数は剛性の高いハウジング２の熱膨張係数に支配的されるので、該ハウジング２に成形後の熱的な安定性および好ましくは経時の安定性にも優れた樹脂材料を用いることで、回折格子４を含むハウジング２全体での熱膨張係数を小さく抑えることができるとともに、前記表層部４ａには、平滑性および好ましくは成形性にも優れた樹脂材料を用いることで、高い光学特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】固有のＣＣＤ空間的分解能を保有でき、ＣＣＤアレイ直線ジオメトリーに合致する分解能を有し、歪みのない所望のスペクトルを光学的にイメージすることができる分光計を提供する。
【解決手段】高分解能の収差補正同心分光計１１０は、非平行の複数の溝を有する凸面回折格子１００を含む。この凸面格子１００の複数の溝がフィールド収差を補正する。凸面回折格子１００の使用により本発明の分光計１１０を著しく分解能が向上した高精度スペクトルイメージングのものにすることが可能になる。平行でない複数の溝をもつ前記凸面回折格子１００を使用することにより、分光計１１０は、多用途に適した機能のものになる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１においては、分光部４に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔５０が光検出素子５に形成されている。そのため、光通過孔５０と光検出素子５の光検出部５ａとの相対的な位置関係にずれが生じるのを防止することができる。更に、光検出素子５が光学樹脂剤６３によって基板２の前面２ａに接着されている。そのため、光検出素子５と基板２との熱膨張差に起因して光検出素子５に生じる応力を低減することができる。しかも、光透過板１６が光入射開口５０ａの一部を覆っている。これにより、光通過孔５０内において光学樹脂剤６３の光入射側表面６３ａが略平坦面となる。そのため、基板２に光Ｌ１を適切に入射させることができる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールの製造方法及び分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１では、光通過孔５０を有する光検出素子５を用いる。そのため、光通過孔５０と光検出素子５の光検出部５ａとの相対的な位置関係にずれが生じるのを防止することができる。更に、基板２の前面２ａに形成された配線９に光検出素子５をフェースダウンボンディングによって電気的に接続し、基板２と光検出素子５との間にアンダーフィル樹脂として樹脂層７９を形成する。そのため、基板２と光検出素子５との固定強度を向上させることができる。しかも、樹脂層７９を形成する前に、光通過孔５０を包囲するガイド部７７に沿うように樹脂層７８を形成する。これにより、光通過孔５０への樹脂層７９の進入が防止されるため、基板２に光を適切に入射させることができる。 （もっと読む）

【課題】 分光部や光検出素子を収容するパッケージの小型化と共に、パッケージの光入射部に対する分光部や光検出素子の高精度な位置決めを実現し得る分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１では、分光部４が設けられた球面３５、及び光検出素子５が配置された底面３１を有するレンズ部３が、底面３１と略直交する側面３２、並びに、底面３１及び側面３２と略直交する側面３４を有している。そして、分光モジュール１０を収容するパッケージ１１が、側面３２，３４とそれぞれ面接触する側面１６，１８、及び球面３５と接触する接触部２２を有している。そのため、レンズ部３の球面３５をパッケージ１１の接触部２２に接触させつつ、レンズ部３の側面３２，３４をそれぞれパッケージ１１の側面１６，１８に面接触させることで、パッケージ１１の光入射窓板２５に対して分光部４及び光検出素子５が位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性を維持しつつ簡便に組み立てることができる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、前面２ａから入射した光Ｌ１を透過させる基板２と、基板２に入射した光Ｌ１を透過させるレンズ部３と、レンズ部３に入射した光Ｌ１を分光すると共に反射する分光部４と、分光部４によって反射された光Ｌ２を検出する光検出素子５と、を備えている。基板２には、光検出素子５を位置決めするための基準部となるアライメントマーク１２ａ，１２ｂ等に対して所定の位置関係を有する凹部１９が設けられており、レンズ部３は、凹部１９に嵌め合わされている。分光モジュール１によれば、レンズ部３を凹部１９に嵌め合わせるだけで、分光部４と光検出素子５とのパッシブアライメントが実現される。 （もっと読む）