カラー測定に関連するシステム、方法、媒体、および他の実施形態が説明される。例示のシステムの一実施形態は、分光光度計と、この分光光度計の内部を照明するための１つまたは複数の光源と、この分光光度計のポートの位置に構成され、サンプルからの光成分を測定するように構成されているデジタルカメラとを含んでいる。本発明においては、コンピュータを利用した画像セグメント化を使用して、サンプルからの鏡面反射の特性付けを行い、多色のパターン中の選択されたカラーなど、このテストサンプルからの選択されたパッチまたは部分の特性付けを行うように構成されたセグメント化ロジックが、この分光光度計のために設けられる。本発明によれば、この分光光度計とこの含められたデジタルカメラは、現位置でカラー特性付けを行うことができる。 （もっと読む）

真空紫外線スペクトラムで動作する分光検査システム（５００）が提供される。特に、該真空紫外線スペクトラムの反射率計測技術を使うシステムが度量衡応用での使用のため提供される。精密で繰り返し可能な測定を保証するために、光路（５０６，５０８）の環境が、該光路内に存在するガスの吸収効果を制限するよう制御される。なお起こる吸収効果の責めを負うために、該光路の長さは最小化される。更に吸収効果の責めを負うために、該反射率データは相対的標準に基準合わせされる。
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【課題】レーザのスペクトル帯域幅を判断する技術を提供する。
【解決手段】レーザから放出されて帯域幅計測器に入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器の方法及び装置が開示され、それは、レーザから放出された光の帯域幅を示す第１のパラメータを表す第１の出力とレーザから放出された光の帯域幅を示す第２のパラメータを表す第２の出力とを提供する光学帯域幅モニタと、実帯域幅パラメータを計算する（１０）ために光学帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を使用する多変数方程式の一部として第１の出力及び第２の出力を利用する実帯域幅計算装置とを含むことができる。実帯域幅パラメータは、レーザから放出された光のスペクトルの全幅内の最大値のある百分率比でのスペクトル全幅（ＦＷＸＭ）、又はレーザから放出された光のスペクトルの全スペクトルのエネルギのある百分率比を含むスペクトル上の２点間の幅（ＥＸ）を含むことができる。帯域幅モニタは、エタロンを含むことができ、第１の出力は、ＦＷＸＭでのエタロンの光出力のフリンジの幅、又はレーザから放出された光の全スペクトルのエネルギのある百分率比を含むスペクトル上の２点間の幅（ＥＸ’）の少なくとも一方を表し、第２の出力は、第２のＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’の少なくとも一方を表し、ここで、Ｘ≠Ｘ’’及びＸ’≠Ｘ’’’である。予め計算される較正変数は、信頼できる基準を利用して、較正スペクトルに対する第１及び第２の出力の発生と相関付けられた実帯域幅パラメータの値の測定値から導出することができる。実帯域幅パラメータの値は、推定実ＢＷパラメータ＝Ｋ^*ｗ₁＋Ｌ^*ｗ₂＋Ｍという式から計算され、ただし、ｗ₁＝ＦＷＸＭ又はＥＸ’を表す第１の測定出力、及びｗ₂は、ＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’を表す第２の測定出力である。この装置及び方法は、レーザリソグラフィ光源及び／又は集積回路リソグラフィツールにおいて実施することができる。 （もっと読む）

基準の多色パターン化表面(10)と試験アイテムの多色パターン化表面(12)の間の視覚的に知覚された色印象の差を計測学的に検出する方法および装置が記載される。付随して、基準と比較された試験アイテムの色統計および他の色変化率の変化、および基準と比較された試験アイテムのパターンの画像鮮明度の変化が、色画像カメラのような色能力を備えた空間センサ(24)によって決定され、かつ表示される。本発明に従って、多色パターン化表面の視覚的に知覚された色変化の基準に対する共通変化率が、前述の2つの変化の結合で確立される。
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