【課題】 ３次元微細領域元素分析方法に関し、電界蒸発のし易さが異なる元素が混在した試料を短時間で精度良く分析する。
【解決手段】 被分析試料１から電界蒸発強度が４０×１０¹⁰Ｖ／ｍ以上の元素２が検出された時点で、被分析試料１に飽和吸着し、且つ、エネルギービーム５の照射によってエッチングが進行するガス種４を被分析試料１に供給したのち、エネルギービーム５を照射して被分析試料１のガス種４の吸着した部分のみを脱離させ、脱離した被分析試料１由来の粒子６の質量分析を行なうとともに、電界蒸発強度が４０×１０¹⁰Ｖ／ｍ以上の元素２が検出されなくなった時点でガス種４の供給を停止して電界蒸発によって脱離した被分析試料１由来の粒子６の質量分析を行なう。 （もっと読む）

【課題】微量成分の吸着量を高める塩析剤を用いた質量スペクトル分析において、塩析剤の妨害を排除した分析方法ないし試料調製方法を提供する。
【解決手段】酸性試料液に含まれる微量のウランおよびトリウムを吸着させて捕集し、これを溶離して質量スペクトル分析する方法において、ウランおよびトリウムの吸着量を高める塩析剤として、試料液と同種の酸のカルシウム塩を用いることを特徴とする質量スペクトル分析方法であり、例えば、塩析剤として硝酸カルシウムを添加した硝酸性試料液をイオン交換樹脂またはフィルターに通液して、試料液中のウランおよびトリウムを吸着させ、次いで、このウランおよびトリウムを溶離してＩＣＰ-ＭＳによる質量スペクトル分析を行なう分析方法。 （もっと読む）

【課題】効率よく金属を表面に析出させる金属析出装置を提供する。
【解決手段】金属析出装置１００は、シリコンウェハ９００中に含まれる不純物金属を表面に析出させる。金属析出装置１００は、シリコンウェハ９００に向けてＸ線を発射するＸ線発射部３００を備える。Ｘ線の波長は、不純物金属のＫ吸収端の波長以下であってＫ吸収端に近い波長である。例えば、不純物金属がＮｉであるとき、特性Ｘ線を発射するターゲット３３１をＺｎとする。また、例えば、不純物金属がＣｕであるとき、特性Ｘ線を発射するターゲット３３１をＺｎとする。 （もっと読む）

トーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を備える。いくつかの実施例では、トーチの半径面はトーチ長手方向軸に実質的と直交する。
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【課題】 例えば、バイオアッセイに用いる核酸プライマー分子の固定化に利用される微細な粒子状の基体等、微小な物体に対しても、必要に応じて多数種の標識を付す際に有効な物体の標識方法、ならびに該方法により標識が付された物体の提供。
【解決手段】 微小な物体に対しても、それを構成する材料の一部として、予め選択される複数種の原子の種類数（ｎ）と、前記選択された原子個々の含有量の有無、あるいは、含有量の水準とを利用して、少なくとも二進法ｎ桁の数値情報に相当する、含有原子の組成条件に従って調製される標識用材料を用いることで、必要に応じて多数種の標識を付すが可能となる。さらには、該標識方法によって標識を付された物体を基体に利用することで、該基体に固定化されている核酸プライマー分子の特定が容易となる。 （もっと読む）

【課題】 バイオアッセイに用いるプローブ分子の固定化に利用される微細な粒子状の基体等、微小な物体に対しても、必要に応じて多数種の標識を付す際に有効な物体の標識方法の提供。されには上記標識が施された物体の提供。
【解決手段】 微小な物体に対しても、それを構成する材料の一部として、予め選択される複数種の原子の種類数（ｎ）と、前記選択された原子個々の含有量の有無、あるいは、含有量の水準とを利用して、少なくとも二進法ｎ桁の数値情報に相当する、含有原子の組成条件に従って調製される標識用材料を用いることで、必要に応じて多数種の標識を付すが可能となる。さらには上記標識方法によって標識された物体によって、上記バイオアッセイが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高強度、高剛性、高耐磨耗性、高耐熱性および高耐腐食性といった特性を持っており溶液化が困難であるサファイア基板試料を、不純物および汚染の導入をできるだけ排除して、溶液化し、サファイア基板中の微量元素を定量する方法を提供する。
【解決手段】サファイア中微量元素の定量方法は、サファイア基板試料を酸分解法またはアルカリ融解法により分解し、得られた溶液中の微量元素を、フローインジェクション導入−ＩＣＰ／質量分析法によって測定する。 （もっと読む）

１つの実施形態において、弱アニオン交換樹脂を用いて、少なくとも１種の金属を含む酸性溶液のマトリックスを中和する方法を提供する。本方法は、弱アニオン交換樹脂を弱酸性の金属錯化試薬にて活性化し（この弱酸性の金属錯化試薬の一部がプロトンと金属錯化アニオンとに解離しており、それによって弱アニオン交換樹脂中のいくつかの官能基がプロトン化され、そして金属錯化アニオンと結合する）；そして活性化された弱アニオン交換樹脂で酸性溶液サンプルを中和する工程を含む。 （もっと読む）