【課題】同一のステーションで円筒状検査対象物の外周面側や端面側の検査を可能とした筒状部材外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は回転軸５を備え、回転軸５は、透光性材料により形成されると共に、ゴムブッシュ６の孔部６ａ内に嵌合される嵌入軸部５ａと嵌入軸部５ａ一端部に備えられた導光軸部５ｂとを備える。回転軸５の嵌入軸部５ａに、ゴムブッシュ６の孔部６ａを嵌合させて装着し、回転させながらラインセンサカメラ１５により外周面の外観検査を行う。導光軸部５ｂを周囲から照明するＬＥＤリング照明１１が備えられ、嵌入軸部５ａの他端部側からゴムブッシュ６をその軸心方向から撮像する２次元カメラ１７が備えられる。 （もっと読む）

投受光部（５２）は、液体が基板（１４）に供給されて縁部（３０）に流れる状態で、レーザ光を縁部（３０）に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ（５４）は、反射波の電気信号を処理して縁部（３０）の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部（３０）が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。
（もっと読む）

【課題】好適に円形エッジを有する物体の品質を、物体のエッジの確実で再現可能な検査を非常に高精度で可能なように、光学的に試験するための冒頭に記載したタイプの方法と装置を改良しさらに展開すること。
【解決手段】好適に円形エッジを有する物体の品質を、該円形エッジに光を当てる光学的に試験するための方法において、反射、屈折及び／又は回折により該物体から放射する光が測定ユニット（１）により検出され、該物体の表面及び／又は内部の欠陥が検出画像信号によって判定されることを特徴とする、物体の品質を光学的に試験する光学的試験方法。 （もっと読む）