【課題】一台の装置で溝、テーパ、コーナー等の形状を持つ被検査物の内面および／または外面の表面欠陥を効率よく簡易な構造で、検査が可能な表面欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】反射ミラー１１はミラー軸１１ａに取り付けられ、ミラー軸１１ａと駆動軸１４には其々プーリー１３ａおよび１３ｂが装着されており、当該プーリー間をタイミングベルト１３ｃでつないでいる。また、駆動軸１４はミラー駆動モータ１５につながっており、駆動モータ１５を微少角度回転させることで、駆動軸１４の回転が前記プーリー１３ａ、１３ｂおよびベルト１３ｃを介して前記ミラー軸１１ａに伝達され、反射ミラー１１の角度が変化する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一つの撮像手段により、表面検査だけでなく裏面検査も同時に行える反射防止フィルム欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】表面検査だけでなく裏面検査も同時に行える反射防止フィルム欠陥検査装置であって、前記反射防止フィルムの表面を照射する表面照射手段と、裏面を照射する裏面照射手段と、表面照射手段により生じる表面反射光と裏面照射手段により生じる散乱光を同時に撮像する撮像手段を有することを特徴とする反射防止フィルム欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】従来のシリコンウエハ等の薄板状基板の端面を検査は、基板製造工程における基板検査は不可欠な工程であるが、専用の装置は高価格であり高製造コスト化を助長しており、検査装置の占有スペースを減少させ、且つ検査時間の短縮が望まれている。
【解決手段】本発明は、複数の反射ミラー２，３及び４が基板の端面７ａ及び該端面７ａに掛かる表裏面まで回り込む観察視野範囲を有するようにミラー保持部５で保持され、且つミラー保持部５を退避・移動するミラー退避機構１０（ミラー昇降機構を含む）を備える簡易な構成であり、光学観察装置１１となる実像顕微鏡に搭載することにより、基板端面７ａを表面から裏面に至る全範囲に亘って欠陥を実像化された画像を作成し目視検査により簡単に検査判断を行う端面検査装置である。 （もっと読む）

【課題】セラミック板及び／またはラインセンサーカメラを移動させながら検査することが可能であって、セラミック板のエッジを適切な光源によって効果的に照らし、エッジの複数の面を同時に１台のラインセンサーカメラで効果的に撮像し、微細なカケをも効果的に発見し得る検査方法と検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】セラミック板のエッジの端面の法線方向にラインセンサーカメラと光源を配置し、ラインセンサーカメラの視野内に複数のミラーを配置し、光源でセラミック板のエッジを照らし、その反射光を視野内ミラーで反射させて、その反射光をライン センサーカメラに入射させ、セラミック板のエッジを複数の角度から撮像し、該撮像した画像を処理して、セラミック板のエッジを研磨する際に発生するエッジ欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の６面画像を同時に撮像することができ、これら６面の撮像画像を用いて被検査物の全周面について１回の撮像で極めて正確で完全な外観検査を行なうことができる外観検査方法と、これを利用した外観検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤（被検査物）Ｓの外周側面を囲むように配置された４枚の側面ミラー１６ａ〜１６ｄと、錠剤の背面側に配置された断面「く」の字状をした１枚の背面ミラー１６ｅとからなる反射手段１６を、垂直落下経路中の撮像ポイントＰに配置し、落下してくる被検査物がこの撮像ポイントに位置したとき、４枚の側面ミラー１６ａ〜１６ｄから反射されてくる被検査物の４つの側面画像と、背面ミラー１６ｅから反射されてくる背面画像と、直接視認される正面画像の計６面の画像をエリアセンサからなるＣＣＤカメラ（撮像手段）１７で同時に撮像し、該６面の撮像画像の画像データを用いて被検査物の外観の良否の判定を行なう。 （もっと読む）

【課題】より確実に欠陥部分を際立たせて精度の良い外観検査を可能にする照明装置などを提供する。
【解決手段】照明装置２１は、電子部品Ｃを撮像してその外観を検査する外観検査装置に設けられ、電子部品Ｃの撮像時にこれを照明するものであり、環状に配置され電子部品Ｃに向けて光を照射する複数の発光ダイオード２２ａ，２３ａ，２４ａをそれぞれ備えた第１投光機構２２，第２投光機構２３及び第３投光機構２４からなる。第１投光機構２２，第２投光機構２３及び第３投光機構２４は、各発光ダイオード２２ａ，２３ａ，２４ａの環状配置中心軸線が水平面と直交し且つ互いに同軸となるように配置されるとともに、第１投光機構２２が上段に、第２投光機構２３が中段に、第３投光機構２４が下段に配置されている。また、第１投光機構２２は、青色の光を、第２投光機構２３及び第３投光機構２４は、赤色の光を照射する。 （もっと読む）

【課題】 容器などのように極端な段差のある被検査物を照明し、被検査物の微小な欠陥を検出可能とするリング状照明装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 保持枠１３の上部に水平状に取着したドーナツ状基板１１に、リング状に複数列配置された複数の発光ダイオードを光源２として備え、被検査物を照明するリング照明装置１０において、前記発光ダイオードを、その光軸を基板１１に直交させて取付るとともに、発光ダイオードの内周側発光ダイオード群２ａと外周側発光ダイオード群２ｂとの間に、内側を反射鏡にした第１反射板１４を、発光ダイオードの光軸に対して所定角度傾斜して配置し、前記外周側の所定列の外側には、前記第１反射板１４の傾斜角度より小さい傾斜角度を有し、内側を反射鏡にした第２反射板１５を配置し、かつ保持枠１３の下部に中央に撮影用の円形開口部１２ａを有し、光源２による光を拡散させる拡散板１６を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハ外周部の面取り部の短時間で且つ的確に検査し得るウェーハ外周検査方法を提供すること。
【解決手段】 検出位置を前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部の２つに設定してその上半部及び下半部に対応して照明光学系及び結像光学系の組をそれぞれ設置し、上半部及び下半部の検出位置での対物レンズそれぞれの物側焦点面が平面となるように設定すると共に各物側焦点面が前記ウェーハ外周部に寄りかかる方向に傾斜するように設定し、各々の照明光学系の対物レンズを介して非コヒーレント光を所定の照射開口角で以てウェーハの厚さ方向の中点に集束するようにウェーハ外周部の上半部及び下半部を照射する照射工程と、各々の結像光学系を介してウェーハ外周部の上半部及び下半部での反射光を検出する検出工程とを実行する。 （もっと読む）

一実施形態において、ウエハー（１２２）端部を検査するシステムは、ウエハー表面（１２２）上に放射光を指向させる放射光標的アセンブリと、ウエハー表面（１２２）からの反射光を収集する反射光収集アセンブリと、ウエハー（１２０）の端部表面（１２６）の周囲で表面分析計アセンブリを回転させる手段と、ウエハー（１２０）の端部で単一または複数の欠陥を検出する手段を備えたことを特徴とする表面分析計アセンブリを備える。
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【課題】 180°の方位角にわたる半導体ウェハの端縁全体の像をモニタ上に同時に表示できる撮像システムを提供する。
【解決手段】 本発明では、ライン状光ビームを発生する光源装置(1，2，3)、ライン状光ビームを集束して試料に投射する対物レンズ(10)、及びリニァイメージセンサ(13)を有する撮像ヘッドを用い、ウェハ端縁を３次元的に走査し、複数の角度方向からウェハ端縁を撮像する。信号処理回路(16)において、複数の角度から撮像した複数の画像を合成して画像表示装置(16)上に表示する。さらに、本発明では、ウェハ端縁を３次元的に走査しているので、奥行方向の高さ情報を利用してウェハ端縁の画像を３次元的に表示することができる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板縁部における欠点を高精度に検査することを可能としつつ、検査時の位置決め作業を不要とする。
【解決手段】 本発明による欠点検出システムは、コンベア上に設定される縁部検査セクションまで搬送姿勢検出セクションを介してガラス板を搬送する搬送機構と、搬送姿勢検出セクションに設けられ、姿勢検出用の撮像手段１０６及び光源１０４を用いて、縁部検査セクションに搬送されるガラス板の搬送姿勢を検出する搬送姿勢検出装置と、縁部検査セクションに設けられ、欠点検出用の撮像手段２１２及び光源２１４が組み込まれたカメラ組立体２１０を、ガラス板の縁部に沿ってガラス板の全周に亘りカメラ組立体を移動させ、その際に撮像手段２１２により取得されるガラス板の縁部の画像情報に基づいて、ガラス板の縁部における欠点を検出する縁部検査装置と、を含み、カメラ組立体２１０の移動軌跡が、前記搬送姿勢検出装置から得られるガラス板の搬送姿勢情報に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】 180°の方位角にわたるディスク状物体の端縁全体の像をモニタ上に同時に表示できる撮像システムを提供する。
【解決手段】 本発明では、光ビームを発生する光源(1)、第１及び第２のビーム偏向装置(2，7)、光ビームを収束して試料に投射する対物レンズ(11)、及びリニァイメージセンサ(14)を有するコンフォーカル顕微鏡を用い、ウェハ端縁を３次元的に走査し、複数の角度方向からウェハ端縁を撮像する。信号処理回路(16)において、複数の角度から撮像した複数の画像を合成して画像表示装置(17)上に表示する。さらに、本発明では、ウェハ端縁を３次元的に走査しているので、奥行方向の高さ情報を利用してウェハ端縁の画像を３次元的に表示することができる。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の撮像方向における寸法が変化しても精度のよい検査を実行可能とする外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査するための外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄとを備え、表面側撮像ユニット８０ａには、基板２の厚さに応じて像倍率を変えることなく被検査体である基板２に焦点を合わせる焦点合わせ機構を構成する焦点調整モータ４０等が設けられている。 （もっと読む）

【課題】表面に緩やかな凹凸があった場合や欠陥とは言えない浅い傷などがあった場合重欠陥であるクラック状欠陥と区別できない問題を解決し、傷や付着物の性状を判定するとともに、さらに欠陥の程度を評価する表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】移動する検査対象物の鏡面状表面を拡散光によって照明する拡散光照明手段と検査対象物の鏡面状表面の画像を撮像するテレセントリック光学系とリニアセンサアレイで構成された撮像手段と設け拡散光照明を検査対象物への入射角度が広角である第１の拡散光照明手段と照射方向が狭い第２の拡散光照明手段とから構成しさらに第１の拡散光照明手段および第２の拡散光照明手段を用いて得られる撮像データを比較して欠陥を評価する欠陥評価手段を設けて構成した。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で同一の観察対象物を複数の方向から適正な照明状態で観察可能とする。
【解決手段】 同一観察対象物Ｗを、同一平面Ｐ_０または互いに平行な平面に沿う光路長の異なる複数方向から観察する装置であって、一の光路上の焦点位置の像と、他の光路上の焦点位置の像とを同一の撮像手段３に結像させる結像光学系４と、平面Ｐ_０に交差する方向に沿って観察対象物Ｗに照明光Ｌを照射する照明装置２とを備える多方向観察装置１を提供する。 （もっと読む）

本発明は、圧延ストリップの検査の方法及び装置に関する。ストリップサンプル（Ｍ）は、最初その第１の面が検査され、次いで、その第２の面を検査するために裏返される。本発明によれば、ストリップの長手方向軸に平行を変位して、ストリップサンプル（Ｍ）は、ストリップサンプル（Ｍ）の各横方向端部（Ｍ１、Ｍ２）にそれぞれ固定された２つの互いに離隔された把持装置（６、６’）（７、７’）の間に置かれる。２つの把持装置（６、６’）（７、７’）は、第１の面の光学的検査のためにストリップサンプルを張力が印加された状態に置くために長手方向に互いに離されている。第２の面を検査するために、その印加された張力を維持したまま、長手方向軸Ｑを中心にして２つの把持装置（６、６’）（７、７’）を同時に回転させて、ストリップサンプルは裏返される。その張力は、テーブルの上の置く必要なく検査を実行できるに十分なものである。かくして、本発明は、ストリップが連続圧延ラインから出るときに、ストリップを検査することを可能にする。
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【課題】ウェーハの裏面におけるマクロ検査結果の正常あるいは異常判定は異物数を閾値としていたために、異物やチッピングそしてチャック痕を識別することが困難であった。
【解決手段】ウェーハ裏面を任意のエリアに分割して、チャック痕の対象となるエリア数Ｓ１の設定、Ｓ１における単位面積あたりの異物数ＰＳ１の規格値を設定することにより、ウェーハ裏面の異物とチャック痕の識別を迅速に行うことが可能である。
また、チッピング判定エリアおよびチッピング判定エリア内における単位面積あたりの欠陥数の閾値を設定することで、迅速に異物とチッピングを識別することが可能でるため、半導体装置の製造ロスを未然に防ぐことが可能である。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出と同時に欠陥の表裏判別を行う簡便なガラス基板欠陥の表裏識別方法を提供する。
【解決手段】 ガラス基板の表裏いずれかに欠陥が存在するかを識別するガラス基板欠陥の表裏識別方法であって、搬送されるガラス基板より間隔を空けて設けた検査光源より照射された検査光をガラス基板に対する入射角度を一定にして照射し、表面欠陥は、ガラス基板より間隔を空けて設けた検出カメラが欠陥による前記検査光の散乱を検知する際に、表面欠陥による検査光の散乱を検出カメラが検知し、更に前記散乱による散乱光がガラス基板内部を伝播し裏面反射したものを検出カメラが検知することで２回検出され、裏面欠陥は、ガラス基板内部に入射した検査光の裏面欠陥による散乱を検出カメラが検知し１回のみ検出されることによりガラス基板欠陥の表裏識別を行うことを特徴とするガラス基板欠陥の表裏識別方法。 （もっと読む）

【課題】 カートンブランク製造装置において、カートンブランクの印刷検査および形状検査を、コンパクトで安価な設備を用いて適正に行い得るようにすることを目的とする。
【解決手段】 印刷されたシート材Ｓ１に所定形状の打ち抜き加工を施す打ち抜き工程部２２と、打ち抜き工程部２２において発生する打ち抜き屑を取り除く屑除去工程部２３と、堆積工程部２５と、を有し、屑除去工程部２３と堆積工程部２５との間で搬送されるカートンブランクＫ１の上下動を制限する上下動制限手段２４Ａと、上下動を抑制されたカートンブランクＫ１の少なくとも一面を撮像することによって、カートンブランクＫ１に対する印刷状態の良否、および打ち抜き形状の良否を検査する検査手段２４Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反射散乱光による撮像で検出でき、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができるガラス板の欠点検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】実施の形態の欠点検査装置１０は、ガラス基板１２の上面１２Ｂで反射した赤色の反射散乱光、ガラス基板１２の下面１２Ｃで反射した青色の反射散乱光、及びガラス基板１２の端面１２Ａで反射した緑色の反射散乱光に基づいて欠点を検査する。すなわち、本発明は、Ｂバンドカットフィルタ２８、Ｒバンドカットフィルタ３０によって透過散乱光をカットして欠点の検査を実施するため、反射散乱光による撮像では検出できるが、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができる。 （もっと読む）