【課題】被観察物の端面が，面取り加工された光沢性の強い端面であっても，その端面の広い範囲を一望できる撮像画像を得ること。
【解決手段】光を透過させて透過光を拡散させる拡散板が，被観察物１の端面からその端面に連なる表裏両側の面に渡る範囲に対して内側の面が対向する屈曲形状又は湾曲形状に形成され，その外側に配置されたカメラ３０の位置から被観察物の端面１ａが見える覗き窓１４が設けられた光拡散部材１１と，その光拡散部材１１の外側に配列され，光拡散部材１１を介して端面１ａを照明する複数のＬＥＤ１２と，前記覗き窓１４に向かうカメラ３０の光軸方向に交差する方向へ光を照射するＬＥＤ２１及びレンズ２２と，カメラ３０と前記覗き窓１４との間においてＬＥＤ２１からの光を反射して前記覗き窓１４を通じて端面１ａに照射するとともにその端面１ａからの反射光をカメラ３０側へ通過させるハーフミラー２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】適正な感度で異物を検出することが可能な異物検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、所定の感度でフォトマスク上の異物を検出する異物検出部と、露光装置の使用条件に応じた検出感度情報を取得する検出感度情報取得部と、前記検出感度情報に基づいて前記異物検出部の前記感度を変更する感度変更部とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の縁部における欠陥を検査する検査装置に関し、被検査物の縁部からの散乱光を確実に検出する装置の提供。
【解決手段】被検査物Ｗを移動可能に保持する回転テーブル１１と、前記被検査物Ｗの縁部に光を照射する照明部１３と、前記縁部で発生する散乱光を受光する受光部１５と、前記被検査物Ｗの移動に対応して変動し前記縁部からの正反射光が前記受光部１５に入射することを制限する遮光部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】製品の二層が出来るだけ確実な形式で検査され得る前記種類の製品、特に箔を巻いた煙草包装箱の自動化光学的検査方法を与えること。
【解決手段】この発明は、製品の少なくとも一つの内部配置層−内部層が−少なくとも範囲領域で少なくとも一つの少なくとも部分的に透明な更に外部配置製品層−外部層により被覆されて、少なくとも二層を備える特に移動された製品、特に箔を巻かれた包装体、好ましくは煙草包装箱を検査する方法に関し、製品の外部層が入射角度、特にほぼ３５°の下で好ましくは偏光されていない光を照明され、この外部層に反射された光が少なくとも７０％、とりわけ少なくとも９０％、特に好ましくは少なくとも９５％に直線ｓ−偏光された光から生じること、外部層或いは内部層の少なくとも一方により反射された光のｓ−偏光された成分或いは外部層或いは内部層の少なくとも一方により反射された光のｐ−偏光された成分の少なくとも一方がそれぞれに別々に少なくとも一つの適した電気光学的検出部材−カメラによって製品の画像或いは部分画像として検出されること、検出されたｓ−偏光された或いは検出されたｐ−偏光された光成分の少なくとも一方が外部層或いは内部層の少なくとも一方の特徴事項に関する推論をできるように評価される。
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【課題】小さい透明ディスクを備え、電子デバイスの底面を検査する機能を達成すると共に、該ディスクは、高硬度の性質を有し、検査すべき電子デバイスがディスクにぶつかって傷付けてしまうことを避け、画像取得する際の干渉現象を減少し、検査の正確度を向上させる検査システムを提供する。
【解決手段】複数の電子デバイス２００を置くための第１の透明ディスク１０と、第１の透明ディスク１０の下方に設けられ、電子デバイス２００の底面を検査するための第１の画像受取ユニット１１と、第１の透明ディスク１０に隣接する第２のディスク１２と、第１の透明ディスク１０と第２のディスク１２の隣接位置に設けられ、第１の透明ディスク１０上の電子デバイス２００を案内し第２のディスク１２に転送するガイドユニット１３と、第２のディスク１２の上方に設けられ、電子デバイス２００の他の表面を検査するための複数の第２の画像受取ユニット１４とを含む。 （もっと読む）

【課題】正常に塗布されたインクと連結して塗布されたインクとを液状体のまま識別することが可能な検査装置、突状体の検査方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板２の上面２ａに形成されたのカラーインク５の輪郭形状を検査する検査装置にかかわり、上面２ａと垂直な方向に対して斜めの方向から基板２に照射光５８を照射する照明装置２８と、上面２ａと略垂直な方向からカラーインク５を撮像する撮像装置２４と、撮像装置２４により撮像された画像を用いて、画像の明部と暗部の形状からカラーインク５の輪郭形状を識別する識別演算部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被検面端面に存在する膜の境界や膜の屈曲部で発生する散乱光を効果的に除去することが可能な被検面端面検査装置を提供する。
【解決手段】 欠陥検出装置の前側に、膜位置モニター用光学系を設け、ウエハ１０に形成された膜１１の膜境界１２、屈曲部１３を検出する。この検出位置に基づいて、検査点では、膜１１の膜境界１２、屈曲部１３を照明する照野３５を照明する照明光が遮光されるように透過型液晶素子３３の対応する素子３３Ｂ、３３Ａを非透過状態とする。これにより膜境界１２、ベベルの傾斜開始点１３を照明する部分が遮光部３８、３９となり、膜境界１２、ベベルの傾斜開始点１３で発生する散乱光を防止でき、検査のＳ／Ｎを上げることができる。 （もっと読む）

【課題】形状の異なるモジュールであっても確実に欠陥部分を抽出する欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】リング照明でモジュールＭへ投光して撮像された第１の画像１０Ａの所定以上の輝度を有する領域を抽出する第１のステップを行い、抽出された所定以上の輝度を有する領域において所定の大きさ以上の面積を有する領域を第１の画像１０Ｂより除去する第２のステップを行い、第１の画像１０Ｃから直線または曲線形状で抽出された領域を除去する第３のステップを行い、モジュールＭをリング照明により投光して撮像された第２の画像１１Ａにおける第２のステップと第３のステップとにより第１の画像１０Ａから除去された領域に対して、第１のステップ、第２のステップ、第３のステップを再び実施する第４のステップを行うことにより、不要な高輝度領域を削除して欠陥部分８、１２のみを抽出することにより形状の異なるモジュールＭでも検査が可能になる。 （もっと読む）

【課題】
誤検出を低減した異物検査装置を提供すること。
【解決手段】
被異物検査装置は、被検査物の表側の被検査面および裏側の被検査面それぞれに光束を照射する照射手段と、前記表側の被検査面からの散乱光を検出する第１検出手段と、前記裏側の被検査面からの散乱光を検出する第２検出手段と、前記第１検出手段および前記第２検出手段からの出力に基づいて前記表側の被検査面および前記裏側の被検査面それぞれの異物を検査する演算手段と、照射手段と第１検出手段と第２検出手段と演算手段とを制御する制御手段とを有する。照射手段は、表側の被検査面または前記裏側の被検査面へ光束の照射を選択的に行え、制御手段は、選択的な光束の照射を受けた被検査面に対応した第１検出手段および第２検出手段のうち少なくとも一方に関し、同時の光束の照射に応じた出力と選択的な光束の照射に応じた出力とに基づいて演算手段に異物を検査させる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの周縁部分を効率良く検査することが可能な外観検査装置および外観検査方法を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハに処理を施すことにより半導体基板を製造するための各プロセスを実行する１つ以上の半導体製造装置とともに半導体製造システムを構成し、製造過程において半導体基板の外観を検査する。半導体製造装置が半導体ウエハを保持する際の半導体ウエハの保持位置に関するウエハ保持位置情報を、半導体製造装置を特定するための装置識別子と対応付けて取得する手段と、装置識別子と対応付けて取得されたウエハ保持位置情報に基づいて、半導体ウエハの周縁部分を検査するための検査レシピを作成する手段と、作成された検査レシピを格納する手段と、格納された検査レシピに基づいて、半導体ウエハの周縁部分を撮像する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ディスクの表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク12の面に対し、照明装置112，114,116,118からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ102,104によって撮像する。照明光は、光ファイバーなどのライトガイドを使用して照射パターン形状を整形し、ディスク12のテクスチャの接線方向に沿って照射する。カメラ102,104から得られる画像を解析し、ディスクの中心位置と半径を求めて自動的に各検査面のウインドウを形成する。また、検査画像からエッジ部分における反射形状を認識し、当該反射形状に基づき、塵埃と塵埃以外の要因によるものとを判別して塵埃の検出と測定を行う。 （もっと読む）

【課題】単一の撮像手段により検査対象物の複数箇所の外観検査が可能で、小型化が図れる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、チャック手段１０によりチャックされたコネクタ６を撮像手段１８により撮像し、画像処理により得られた画像データに基づいてコネクタ６の良否判定を行う。外観検査装置１は、所定の軸心Ｌ回りに回動操作自在に支持された回動アーム手段１１と、回動アーム手段１１に備えられると共に、軸心Ｌ上にセットされたコネクタ６をその軸心Ｌ方向両側からチャックするチャック手段１０と、軸心Ｌと直交する撮像方向Ｍからコネクタ６を撮像する撮像手段１８と、回動アーム手段１１を撮像方向Ｍと平行な方向に沿ってスライド操作自在な電動スライダ装置１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハの位置が変動した場合でも、受光光学系を高価にすることなく、小さな欠陥を検出可能なウエハ端面検査装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ１１の瞳位置に開口絞り１２が設けられており、撮像面１６は対物レンズ１１の瞳位置と共役な位置に設けられている。欠陥Ｃ、Ｄから放出された光は、視野絞り上では、対応する異なった位置Ｃ’、Ｄ’に結像するが、第２リレーレンズ１５により、それぞれ平行光とされ、撮像面１６を照明する。撮像面１６には、対物レンズ１１の瞳像が結像する。よって、図に示すように、欠陥Ｃ、Ｄから放出された光は、撮像面１６の同じ位置を照明する。すなわち、照明光が照明する位置が変わっても、その反射光が撮像面１６を照明する位置は変わらない。すなわち、ウェハ１の反りや径方向のシフト等に起因して、照明光がウェハ１を照明する位置が異なっても、撮像面１６で受光される位置は変わらない。 （もっと読む）

【課題】装置を小型化でき、かつミラーの調整作業の手間を軽減できる検査装置を提供する。
【解決手段】壜１００の胴部１０１を撮像するカメラ２０と、カメラ２０により得られた画像に基づいて壜１００の異常の有無を診断する診断装置３０と、を備えた検査装置１において、壜１００の胴部１０１のうちカメラ２０に向いている正面部分Ｆがカメラ２０に直接撮像されるように空間Ｓが設けられ、壜１００の胴部１０１のうち各側面部分Ｒ、Ｌが映るように空間Ｓを避けて設けられる第１ミラー４１、４３と、第１ミラー４１、４３に映っている像がカメラ２０にて撮像されるように空間Ｓを避けて設けられる第２ミラー４２、４４と、をさらに備え、診断装置３０は、カメラ２０にて撮像された正面部分Ｆの画像及び各側面部分Ｒ，Ｌの画像のそれぞれの大きさが同じになるように正面部分Ｆの画像を縮小補正する。 （もっと読む）

【課題】量産部品の完成検査は、従来、目視によることを基本とし、検査員の育成・配備や検査時間が多大であると同時に、判別に対する個人差や誤認或いは見落としが避けられないため、判別検査を自動的に処理する画像処理システムを提供する。
【解決手段】被検査部品の各面に対応してカメラを設置し、照明板、コントロ−ラ、パ−ソナルコンピュ−タ−及びこれらをコントロ−ルするコンソ−ル並びにコントロ−ルマウスによって画像処理システムを構成し、適合の見本とする部品の各撮像面について、カメラの角度、照明の色調及び照明の明るさをプログラミングしたモデル画像による計測値９をメモリ−する。同時に、これを基準にして曖昧さの領域について上限レベル及び下限レベルを設定する。以上にもとづいて、被検査部品の画像をモデル画像及びその計測値９と対比し、被検査部品の適合又は不適合を自動的に判別する。 （もっと読む）

本発明は、リング（３０）を部分的にカメラ（５０ａ）とカメラ（５０ａ）に向けられた光源（５１ａ）との間に配置するステップを有しており、この場合、カメラ（５０ａ）の観点から光源（５１ａ）が部分的に見えかつ部分的にリング（３０）によって妨げられ、これにより、リングの軸方向に面した側面（４３）の輪郭の少なくとも部分を見せるようになっており、リング（３０）、すなわち前記輪郭の部分の画像を撮影するためにカメラを使用するステップと、このように撮影された画像を分析することによって、特に理論的に所望の形状からの実際の形状のずれを検出することによって、前記輪郭の部分の形状にリング（３０）の品質を関連づけるステップとを有する、駆動ベルト（３）製造プロセスにおいて又は駆動ベルト（３）製造プロセスのために製造されたリングコンポーネント（３０）の品質を検査するための方法を提供する。
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【課題】装置の冗長性及び長期安定性を確保しつつ、基板表面Ｗａ上又は裏面Ｗｂ上の欠陥を区別することができる。
【解決手段】基板表面Ｗａに検査光Ｌ１を照射した場合の光検出信号から表面照射検出欠陥の位置、基板裏面Ｗｂに検査光を照射した場合の光検出信号から裏面照射検出欠陥の位置を算出し、その表面照射検出欠陥の位置及び裏面照射検出欠陥の位置の位置関係をパラメータとして、表面照射検出欠陥及び裏面照射検出欠陥が前記各測定系により共通して検出された同一欠陥であるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥が表面の欠陥なのか裏面の欠陥なのかを区別できる検査装置を提供することにある。
【解決手段】 反射光の偏光依存性の最も大きくなるブリュースター角に近くなるよう設置した光源と、その反射光を撮影する偏光カメラを用いて、表面の欠陥なのか裏面の欠陥なのかを判別する。 （もっと読む）

【課題】ほこりと傷とを区別して検査することができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】金属ベルトの検査装置２０は、ベルト走行機構２１と、走行中の金属ベルト３０を囲うように配置されている４個のカメラ（第１ランプ付きカメラ４０、第２ランプ付きカメラ４５、第３ランプ付きカメラ５０、第４ランプ付きカメラ）とからなる。
【効果】第１〜第３ランプは互いに異なる色の光を発射し、第１〜第３カメラはカラーカメラである。金属ベルトに付着したほこりは、無彩色の凸像となって現れ、金属ベルトに付いた傷は、有彩色の暗い像となって現れる。画像処理装置で、ほこりと傷とを識別させる。 （もっと読む）

【課題】部品の表裏二面あるいは両端面の形状異常あるいは傷の有無を簡単に検出する部品検査装置の提供。
【解決手段】本発明は、保持穴８ａが周縁に複数個設けられた回転ディスク８を直立するように配置する一方、この保持穴８ａに両端面が検査対象面となるスタッドピン１ａを供給する部品案内シュート５を配置するとともに、保持穴８ａの通過位置の２個所に回転ディスク８を挟むように第１カメラ１２および第２カメラ１４を配置し、これらカメラ１２，１４で取り込んだ画像データによりスタッドピン１ａの両端面を検査するように構成されている。そのため、スタッドピンがカメラの前方を通過する際に、スタッドピン１ａの両端面を露出させることができ、スタッドピン１ａの両端面の状態を画像データとして取り込み、この画像データからスタッドピンの両端面の形状異常あるいは傷の有無を未検査部分なく確実に検出することができる。 （もっと読む）