【課題】帯状樹脂フィルムの上の欠陥を安定して、精度よく検出することが出来る欠陥検出方法及び欠陥検出装置の提供。
【解決手段】連続して搬送される帯状樹脂フィルムの上の欠陥を検出手段により検出する欠陥検出方法において、前記検出手段は照明手段と、前記帯状樹脂フィルムの表面側を撮像する第１撮像手段と、前記帯状樹脂フィルムの裏面側を撮像する第２撮像手段と、前記帯状樹脂フィルムの両端を把持する把持手段とを有し、前記帯状樹脂フィルムは、少なくとも前記欠陥を検出する検査領域で、少なくとも前記把持手段で、前記帯状樹脂フィルムの搬送方向に対してそれぞれ幅方向に張力を掛けた状態で把持し、前記把持手段は、少なくとも前記検査領域で、前記帯状樹脂フィルムの搬送方向速度と連動して移動し、前記検出手段により欠陥の検出を連続的に行うことを特徴とする欠陥検出方法。 （もっと読む）

【課題】各支持体が支持している基板の部位についてもその状態を撮影画像から判断、解析することのできるような基板表面検査装置及び方法を提供することである。
【解決手段】複数の第１支持体２３ａ〜２３ｄの走査方向と直交する方向に沿った基板支持位置の配列位置が、第１相対位置での撮影部３０ａ、３０ｂによる基板１０の撮影範囲外及び共通撮影範囲内の双方に設定され、複数の第２支持体２４ａ〜２４ｄの前記走査方向と直交する方向に沿った基板支持位置の配列位置が、第２相対位置での撮影部による前記基板の撮影範囲外及び前記共通撮影範囲内の双方に設定された支持機構２０を用い、前記複数の第１支持体によって支持された基板１０の表面を第１相対位置にある前記撮影部が走査して撮影し、前記撮影部を第２相対位置に移動させ、前記複数の第２支持体によって支持された基板１０の表面を、第２相対位置にある撮影部が走査して撮影するように構成される。 （もっと読む）

【課題】簡素化および小型化を図り得る外周円形ワークの外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、一端側が上流側、他端側が下流側として、上流側端部が下流側端部よりも高い位置に配置されて、上流側端部に載置された外周円形のワークＷが自重により転動して下流側端部に搬送される搬送経路と、ワークＷを搬送経路の上流側端部に載置する移載手段と、搬送経路上を転動するワークＷの外観を撮像する撮像手段と、を備え、撮像手段による撮像データに基づいて、ワークＷの外観を検査する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の各部分とカメラとの距離の相違に基づく遠近歪みを、検査対象物の外面形状に基づき精密に補正することができ、複数の画像を結合して１枚の平面画像に展開した場合でも、画像周辺の歪みを補正してパターンマッチング処理の誤差を大幅に低減でき、これにより精度の高い外観検査ができる外観検査方法および装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１の検査表面の３次元形状データ６とＣＣＤカメラとの相対位置を予め入力するデータ入力ステップＳ１と、検査表面の全体を少なくとも一部を重複させて複数のＣＣＤカメラ１４で撮像して複数の画像４を取得する撮像ステップＳ２と、各画像の歪みを３次元形状データを基に補正して平面に展開し少なくとも一部が重複した複数の平面画像５を作成する画像補正ステップＳ３と、複数の平面画像の重複部分を結合して１枚の外面画像８を作成する画像結合ステップＳ４と、を有し、外面画像８により検査対象物の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】円板体の外周部が水平方向や垂直方向に急速に変位しても、光照射装置からの照射光の焦点が外周部の表面やその内部の位置に合った状態を維持することが可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】円板体Ｗの外周部の表面Ｗｓに光を照射する光源２を備える光照射装置１において、表面Ｗｓの円板体Ｗの径方向への変位量ΔＸと円板体Ｗの円板面Ｓｗに直交する方向への変位量ΔＹとを検出する変位量検出装置５と、第１ミラー３１で反射された照射光Ｌａの反射光を照射光Ｌａの光軸に平行逆向きに反射する第２ミラー３２を備えるミラー部３と、照射光Ｌａを表面Ｗｓに角度θ（下向き正）方向から照射する場合、ミラー部３を照射光Ｌａの光軸方向及び直交方向に夫々（ΔＸ×cosθ−ΔＹ×sinθ）／２及び（ΔＸ×sinθ＋ΔＹ×cosθ）／２だけ移動させるアクチュエータ４とを備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置において、検査対象物の搬送位置上方のスペースを確保すると共に、装置の小型化を図る。
【解決手段】検査対象物に照明光を照射する照明部（３５）、この照明部（３５）により照明光を照射された検査対象物を撮像する撮像部（２６）、及び、検査対象物を載置して検査を行うためのステージ（３０）、を有する検査部（２）と、検査対象物を、ステージ（３０）に受け渡すと共にステージ（３０）から受け取るための搬送部（２９）と、を備える外観検査装置において、撮像部（３３）の光軸は、検査対象物から撮像部（３３）へ向う光路中でミラーにより搬送部（２９）から離れる方向に偏向されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】表面及び裏面の検査を効率良く行える基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、ガラス基板Ｗをエアー浮上させる浮上ステージを挟んで表面検査部５と裏面検査部が配置されている。両検査部は、検査用顕微鏡ユニット５５をガラス基板Ｗの搬送方向と直交する幅方向に移動自在に構成されている。各検査用顕微鏡ユニット５５が落射照明で検査をするときは、各々の対物レンズを光軸が一致するように配置すれば、同一箇所の表面と裏面の検査を同時に行える。さらに、各検査用顕微鏡ユニット５５が透過照明で検査を行うための照明ユニットも設けられている。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板のような検査対象物の検査を効率的に遂行できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】プリント回路基板は搬入ユニット１０から検査ユニット３０に移動された後、順次に上面の撮影、反転、下面の撮影が行われ、搬出ユニット２０に移動される。搬入ユニット１０と検査ユニット３０と搬出ユニット２０との間のプリント回路基板の移動は、直角に配置される二つのアーム７２０，７４０を用いて搬入ユニット１０から検査ユニット３０にプリント回路基板の移動及び検査ユニット３０から搬出ユニット２０へのプリント回路基板の移動が同時に行われる。検査ユニット３０でプリント回路基板が載置されるステージ３４０にプリント回路基板の反転のために提供されるフィンガ５１０が挿入される溝を形成し、フィンガ５１０が溝を介して移動することによってプリント回路基板をステージ３４０から持ち上げるか、ステージ３４０上に載置する。 （もっと読む）

【課題】凹凸を有する被検査物の表面の比較的広範囲の傷等の情報をその全範囲においてピントが合った状態で的確に検出することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有する被検査物Ｗの表面Ｗｓに光を照射し、該表面Ｗｓでの反射光を受光素子５で検出して被検査物Ｗの表面Ｗｓの検査を行うように構成された表面検査装置１において、束ねられた複数の光ファイバ４１からなり、入力側端部４ａにおけるファイバ位置（ｘ，ｙ）と出力側端部４ｂにおけるファイバ位置（ｘ^＊，ｙ^＊）とが光学的に１対１に対応付けられ、表面Ｗｓでの反射光Ｌreを受光素子５に導くファイババンドル４を備え、ファイババンドル４の入力側端部４ａが、被検査物Ｗの表面Ｗｓの形状と相補的でありかつ等倍または相似な形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】多量の画像データの中から被検物の欠陥を含む画像データをより短時間で容易に抽出することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、被検物において所定方向にずれた複数の範囲をそれぞれ撮像する撮像カメラ３０と、撮像カメラ３０により撮像された複数の画像において画像毎にデータ圧縮処理を行い圧縮画像データを生成する圧縮処理部４２と、圧縮画像データのサイズの差異に基づいて、被検物における欠陥の有無を検査する検査部４４とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】多量の画像データの中から被検物の欠陥を含む画像データをより短時間で抽出することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、被検物において所定方向にずれた複数の範囲をそれぞれ撮像する撮像カメラ３０と、撮像カメラ３０により撮像された複数の画像において各画像内で前記被検物における欠陥を示す欠陥信号を抽出する画像処理部４０と、画像処理部４０による処理結果を表示する表示部とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】ウェハを基板検査装置に取り付ける際の偏心等に影響されることなく、ウェハの外周端部が検査できる基板検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る基板検査装置１は、ウェハ２を保持するウェハ支持部１０と、ウェハ２の端部を観察するラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４と、ウェハ支持部１０とラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４とを相対移動させる移動部と、相対移動中にラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４がウェハ２の端部を観察できるように移動部を制御する制御部とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】撮影手段が撮影する背景部の光量レベルを容易に調整する。
【解決手段】色彩選別機では、フロントカメラ５２及びリヤカメラ５４が背景部８４の背景板９０を背景として撮影した選別粒Ｇの光量レベルに基づいて、選別粒Ｇのうちの正常粒と異常粒とを選別する。ここで、背景部８４内における冷陰極管８６の発光光量が調整可能にされており、背景板９０は冷陰極管８６によって発光可能にされると共に、背景板９０の発光光量が調整可能にされている。このため、フロントカメラ５２及びリヤカメラ５４が撮影する背景板９０の光量レベルを容易に調整できる。 （もっと読む）

【課題】被検査物品の上面と側面とを同時に撮像でき、被検査物品と撮像手段との距離を長くすることなく、被検査物品の上面を照射する光の強度が十分に得られ、被検査物品の上面を高精度で検査できる物品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物品Ｓの側面Ｓ２からの反射光を反射させる反射手段と、照明手段と、反射手段２０から出射された光および被検査物品Ｓの上面Ｓ１からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段からの映像信号を処理する処理手段とを備え、反射手段が、被検査物品Ｓの上面Ｓ１側から見たときに被検査物品Ｓを取り囲むように配置された複数の反射体２２を備えたものであり、照明手段が、隣り合う反射体の間から被検査物品の少なくとも上面を照射する上面照明手段を備えている外観検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部にある微小な欠陥を、高スループットで検出することが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】上ベベル用照明光源３ａから放出されたは、上ベベル用干渉フィルタ４ａで所定波長域の光とされ、上ベベル用集光レンズ５ａにより、ウェハ１の上ベベルの被照明領域を、幅ｄのスリット光でテレセントリックに照明する。上ベベルの被照明領域からの乱反射光は、上ベベル用干渉フィルタ４ａと同じ波長特性を有する上ベベル用干渉フィルタ６ａを透過し、上ベベル用集光レンズ７ａで集光されてＳＰＤ等の上ベベル用受光装置８ａで受光される。上ベベルの被照明領域からの正反射光は、受光光学系に入射せず、バックグラウンドノイズとならない。 （もっと読む）

【課題】裏写りのある両面印刷物についても、裏写りの影響を除去して正確に検査することが可能な検査システムを提供する。
【解決手段】印刷データＳprintに対応する両面印刷物ＰＰを検査する際に、両面印刷物ＰＰにおける表面ＳＦを光学的に撮像し、表面ＳＦに相当する被検査データＳtestを生成する表面ラインセンサ５と、両面印刷物ＰＰの裏面ＲＶに印刷された印刷データＳprintに対応する裏写り補正テーブルであって、表面ＳＦ側から撮像して生成された被検査データＳtest内に含まれる裏写りに相当する裏写り補正テーブルを記憶するＨＤＤ１１と、記憶されている裏写り色補正テーブルに基づいて表面ＳＦ用の印刷データＳprintを補正し、表面ＳＦの検査における基準となる比較基準データＳrefの生成処理を実行し、更に、被検査データＳtestと、対応する基準データＳrefと、を比較して結果を出力する基準データ生成用コンピュータ１及び検査装置３、と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 パターンからの回折光に基く誤検出を低減し、高精度な異物検査を実現できる異物検査装置を提供すること。
【解決手段】 被検査面（１ａ）に照射光を斜入射させる照射手段（４）と、前記被検査面に対して前記照射手段と同じ側に配置された、前記被検査面上の異物で生じる散乱光を検出する第１，第２の検出手段（８，９）と、を備え、前記第１，第２の検出手段は、前記照射手段の照射光の入射面に関して互いに逆側に配置されていることを特徴とする構成とした。 （もっと読む）

【課題】使用可能なすべての情報を効果的に使用し、プロファイルスペースを構成する公称プロファイル及びそのバリエーションをユーザが設定するのを手助けする。
【解決手段】オブジェクトのイメージ42を取り込み、このイメージ上に、手動又は自動によって推定プロファイル20を重畳すること、を含む。推定プロファイルは数学的に定義され、かつ、上記イメージと一致するようにセグメント毎にハンドル30を調節40する。あるいは又はこれに加えて、ユーザは、既知のイメージのプロファイルをトレース（又は自由描写）し、その後、多項式、スプライン、又はベクトル等の数学関数の形状定義物を推定プロファイル上に描くことにより、未知のオブジェクトのプロファイルをその回折パターンから再構成する際に使用し得る、プロファイル及び当該プロファイルの一つ以上の可変例を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の上下両側の検査面を検査する場合でも、欠陥検査を迅速に且つ精度良く行うことができる欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、検査対象物２が載置される支持板３と、この支持板３の左右両側に配置され、支持板３上に載置された検査対象物２を搬送する搬送ユニット４Ａ，４Ｂと、支持板３の上方及び下方に配置され、検査対象物２の上下両側の検査面にレーザ光を照射し各検査面の反射光を受光することにより、検査対象物２の両検査面までの距離をそれぞれ測定する二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂとを備えている。支持板３の中央部には、二次元レーザ変位計５Ｂからのレーザ光を透過させるための検査用開口部６が設けられている。検査対象物２が検査用開口部６（検査領域Ｘ）まで搬送されると、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂにより検査対象物２の両検査面までの距離を同時に測定する。 （もっと読む）

【課題】略直方体形状の検査対象物の側面のみならず稜部についても精度よく外観を検査する。
【解決手段】外観検査装置１０は、略直方体形状の素体１の外観検査を行う。外観検査装置１０は、第２回転テーブルＢ１０と、側面撮像用第１カメラＢ１１と、稜部撮像用カメラＢ１２とを備える。第２回転テーブルＢ１０は、素体１の側面を吸着して素体１を保持する吸着ノズルＢ１０ｅを有する。側面撮像用第１カメラＢ１１は、吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されていない素体１の側面を撮像する。稜部撮像用カメラＢ１２は、吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されていない側面をその側面と隣り合うと共に互いに対向する一対の側面とそれぞれ連結させる一対の稜部を撮像する。第２回転テーブルＢ１０は、素体１の姿勢を維持したまま、側面撮像用第１カメラＢ１１から稜部撮像用カメラＢ１２へと素体１を搬送する。 （もっと読む）