【課題】外観検査装置において、広い領域で良好な明視野観察が行えるようにすると共に、暗視野観察を可能にする。
【解決手段】外観検査装置は、ウェハＷの周縁部を照明する上部照明２１と、下部照明２２と、側部照明２３と、一対の斜照明３１と、一対のバー照明４１Ａ，４１Ｂとを有し、ウェハＷの周縁部を明るく照明する。上部照明２１には、隙間２１Ａが形成されており、この隙間２１Ａを通して落射照明部６０の照明光が投光される。落射照明部６０の照明光は、第一のミラー１４で折り返されてウェハＷの周縁部を照明する。必要に応じて第二のミラー１５Ａ，１５Ｂを共働させることで照明位置を変化させられる。周縁部の像は、落射照明部６０と同軸に配置された撮像部で取得する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、透明な被検査物の表面と内部の両方を同時に検査することができる透明物の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）透明な被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）被検査物２に関して発光部１４と同じ側において照射位置１５ｓに対向して線状に延在する受光窓１６ｓを有し、受光窓１６ｓを通った光束成分の強度を検出する受光部と、（ｃ）受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物の良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓１６ｓは、光束成分として、光束１５ａが照射位置１５ｓにおいて被検査物２の表面２ａで正反射された正反射光成分１５ｂと、光束１５ａが照射位置１５ｓで被検査物２の内部に入射し、裏面２ｂで反射した後、表面２ａから出射した内部反射成分１５ｅとの両方が同時に通るように、広げて形成されている。 （もっと読む）

【課題】錠剤を搬送して検査する搬送用ベルトに付着した錠剤の余剰粉を効率的に排除し、長時間運転が可能な着粉除去装置及び錠剤検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤を搬送して不良錠剤を検査する搬送用ベルト１２、２２の搬送面と搬送面に錠剤を吸引するための吸引孔を設けた吸引溝とが設けられ、搬送用ベルト１２、２２の吸引溝に付着した錠剤の余剰粉を除去する着粉除去装置１０であり、圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、吸引溝に堆積した余剰粉を除去するための圧縮空気供給手段により圧縮空気を噴射する噴射ノズルと、吸引溝を撮影して得られる画像信号に基づいて吸引溝に付着する余剰粉を検出する検査カメラ１１、２１と、検査カメラ１１、２１による余剰粉の検出によって、圧縮空気供給手段を制御して圧縮空気を噴射ノズルから噴射するベルト清掃制御装置３０、４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】スライダへの影響を抑えながら、スライダの外観検査を効率的におこなう。
【解決手段】スライダを、複数個の矩形状のスライダが長手方向に一列に配列されたローバーの状態で検査する方法は、ローバーＢの長手方向両側端面を除くスライダの４つの面を各々始点としてスライダの外側に延びる４つの法線ベクトルのうち、第１の面Ｍ１から延びる第１の法線ベクトルＶ１と、第１の面Ｍ１と隣接する第２の面Ｍ２から延びる第２の法線ベクトルＶ２とがともに鉛直方向上向きの成分を持つようにローバーＢを支持する支持ステップと、第１の検査手段１１によって、支持されたローバーのスライダの第１の面Ｍ１を光学的に検査するとともに、第２の検査手段１２によって第２の面Ｍ２を光学的に検査する検査ステップと、を有している。 （もっと読む）

【課題】筒状の被検査体の外周表面にテーパ部が存在しても、被検査体の表面全体を正確に検査できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外周面にテーパ部を有する円筒状の被検査体が支持されるワーク支持部材3、ワーク支持部材3を円筒の周方向に回転させる回転機構65、同軸落射照明装置61、リング照明装置62、被検査体の軸心上に光軸を有する第一ＣＣＤカメラ63、該軸心と直交する光軸を有し、被検査体の側面と対向する第二ＣＣＤカメラ64、制御装置100を備える。制御装置100は、同軸落射照明装置61で光を照射しながら第一ＣＣＤカメラ63で被検査体の軸方向端面を撮像し、リング照明装置62で光を照射しながら第一ＣＣＤカメラ63で被検査体のテーパ部を撮像し、リング照明装置62で光を照射しながらワーク支持部材3を回転機構65で間欠的に回転させて第二ＣＣＤカメラ64により被検査体の側面を撮像するように各機器を制御する。 （もっと読む）

【課題】薄板の表面及び端面の検査が可能であり、検査精度及び検査速度が促進され、その結果薄板の大量生産性に寄与する薄板検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の薄板検査装置は、被検査物である薄板を載置する検査台と、検査台の上方に配設され、薄板に照明光線を照射する照明系と、検査台の上方に配設され、薄板を撮影するデジタルカメラとを備える薄板検査装置である。上記検査台は、法線が斜め上方を向くよう傾斜した鏡面を有する基台部と、その鏡面の前方に薄板を略水平に配置する架台部とを有している。上記基台部の鏡面を上下辺が略水平に配設される方形に形成し、上記架台部を基台部の鏡面に貼設されるプリズムとし、このプリズムは鏡面上辺より下方に位置する略水平面を有するとよい。上記基台部及びプリズムを断面が相似直角三角形の三角柱状に形成し、対偶する側面を平行に貼設するとよい。 （もっと読む）

【課題】基板の表面、裏面、端部部分の欠陥を効率良く検出できるようにする。
【解決手段】基板検査装置１は、基板であるウェハＷを搬送する搬送３とウェハＷの検査をする検査部４とを有する。検査部４は、ウェハＷを保持するウェハ保持部３１と、ウェハＷの裏面検査をする裏面検査部３０とが検査ステージ２５に搭載され、一軸方向に移動自在である。一軸方向の先端側にはウェハＷの表面を検査する表面検査部８１が設けられている。さらに、ウェハ保持部３１に保持されたウェハＷの位置決めをするアライメント部４１と、ウェハＷの端面検査をする端部検査部４２とを有し、アライメントと端面検査を同時に行えるようになっている。 （もっと読む）

【課題】一式の光学系により、端部の表面、裏面、側面の撮像が可能な端部検査装置を提供する。
【解決手段】円盤状の被検物体１の端部上面１ａ、端部下面１ｂ及び端部側面１ｃを撮像して、被検物体１の端部のキズや異物、膜の異常を検出する端部検査装置であって、被検物体１の端部上面１ａ及び下面１ｂ、側面１ｃを撮像する光学系は、共通の対物レンズ７を有し、かつ、物体側にテレセントリックであり、前記被検物体端部側面を撮像する光学系は前記テレセントリックな光学系にアフォーカルな拡大光学系５、６を含んでいて、前記被検物体端部上面１ａ、下面１ｂ、及び端面１ｃの像が同一平面上１１に結像することを特徴とする端部検査装置。 （もっと読む）

【課題】搬送経路にて、チップ型電子部品の六面すべてを、その略垂直方向から外観検査が可能な検査装置を提供する。
【解決手段】六面を有するチップ型電子部品１３を外周面１４ａに保持して搬送する搬送用ドラム１４と、受け渡しされた前記チップ型電子部品１３を直線状に搬送する直線搬送部１５と、これら搬送用ドラム１４および直線搬送部１５とからなる搬送経路に設置された撮像手段１６〜１８、２１〜２３とを備えたチップ型電子部品１３の検査装置であって、前記搬送用ドラム１４の回転面と直線搬送部１５とを直交して配置し、前記撮像手段１６〜１８、２１〜２３でチップ型電子部品１３の六面全てを、その略垂直方向から外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】容易に製作できる装置により、半導体ウェーハ（薄片試料）の端面の傷の有無を自動検査できること。
【解決手段】ウェーハ１の面に直交する一の平面内に配置され、被検査端部Ｐに対し異なる方向から光を照射する複数のＬＥＤ１２と、被検査端部Ｐの画像データを得るカメラ２０とを備え、計算機３０が、順次異なる一部のＬＥＤ１２のみが点灯した一部点灯状態になるよう制御を行い、さらに、その一部点灯状態の画像データに基づいて、点灯中のＬＥＤ１２の光の正反射光の像の領域（正反射光領域）を特定し、順次異なる一部のＬＥＤ１２のみが消灯した一部消灯状態になるよう制御を行い、その一部消灯状態の画像データついて、点灯中のＬＥＤ１２に対応する正反射領域以外の画像領域であって消灯中のＬＥＤ１２に対応する正反射領域と重複する興味領域の範囲内に、高輝度部が存在するか否かにより、被検査端部Ｐにおける傷の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】ブレードの欠陥検査工程と寸法検査工程とを連動させて自動化を図る。
【解決手段】欠陥検査装置２１および寸法検査装置３１は、ブレード１が欠陥検査装置２１および寸法検査装置３１に対して連続的に相対移動されるように取付台１１の移動方向に沿って配列されている。そして、欠陥検査装置２１は、ブレード１の内部の欠陥を検査する内部欠陥検査部２５と、ブレード１の第１の基準面３における欠陥を検査する第１の表面欠陥検査部２６と、ブレード１の第１の基準面３に直交する第２の基準面４における欠陥を検査する第２の表面欠陥検査部２７とを有する。 （もっと読む）

【課題】スライダへの影響を抑えながら、スライダの外観検査を効率的におこなう。
【解決手段】スライダの検査方法は、概ね直方体形状をなすスライダの検査方法であって、媒体対向面または媒体対向面となるべき面である第１の面以外の面を下面としてスライダを支持しながら、スライダを上方に動かし、検査位置で止める移動ステップ（Ｓ２，Ｓ３）と、検査位置にあらかじめ光軸を合せて設置された第１のカメラによって第１の面を検査すると同時に、検査位置にあらかじめ光軸を合せて設置された第２のカメラによって、第１の面と異なり、かつ下面とも異なるスライダの第２の面を検査する検査ステップ（Ｓ４）と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 錠剤やカプセルなどの被検物の正面および側面をラインセンサーを用いて同時に１つの撮像装置で検査できるようにする。
【解決手段】 被検物Ｊの右斜め後側面および左斜め前側面の像は、それぞれ左右の第１反射体３，４により反射されて被検物Ｊの上方向に位置するラインセンサー２上に結像させ、被検物Ｊの右斜め前側面および左斜め後側面の像は、それぞれ左右の第１反射体３，４および第２反射体５，６により反射されて被検物Ｊの上方向に位置するラインセンサー２上に結像させ、被検物Ｊの正面の像は直接ラインセンサー２上に結像させて撮像することができる。これにより被検物Ｊの正面および側面の５つの面の外観を同時に撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減すると共に汎用性を高める印刷物の品質検査装置及びその品質検査方法を提供する。
【解決手段】印刷物１を搬送する搬送手段１２と、照明手段１３と、照明手段１３の照射光により印刷物１の画像情報を取り込む撮影手段１４とを備え、画像情報に基づいて印刷物１の異常を検査する印刷物１の品質検査装置１１であって、印刷物１の搬送経路に透過材１５を備え、搬送手段１２により搬送される印刷物１の一面を撮影するよう撮影手段１４を配置すると共に、透過材１５を介して印刷物１の他面を撮影するよう撮影手段１４を配置する。 （もっと読む）

【課題】平板形状の被検物体の端部の状態を精度よく検査する。
【解決手段】平板形状の被検物体１の端部を前記被検物体の表面あるいは裏面と平行な面に対して垂直方向位置から撮像する撮像手段４と、前記撮像手段により得られた画像と、予め記憶された参照画像とを比較することにより、前記端部の前記表面あるいは裏面に対して傾斜した部分の状態を検査する検査手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】平板形状の被検物体の端部の状態を精度よく検査する。
【解決手段】平板形状の被検物体１の端部に対して、前記被検物体の表面あるいは裏面の上方あるいは下方以外の位置から拡散光を照射する照明手段５と、前記端部を前記被検物体の表面あるいは裏面と平行な面に対して垂直方向位置から撮像する撮像手段４と、前記撮像手段により得られた像により、前記端部の前記表面あるいは裏面に対して傾斜した部分の状態を検査する検査手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の表面及び裏面に存在する欠陥を同時に検出することが可能な外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】試料２の外面に現れる欠陥を検出する外観検査装置１を、試料２の表面及び裏面のうちの一方の面で反射した反射光学像に現れる第１の欠陥群と試料２を透過した透過光学像に現れる第２の欠陥群とを検出する欠陥検出部（２０ａ、２０ｂ）と、第１の欠陥群と第２の欠陥群とを比較して表面及び裏面のうちの他方の面に現れる欠陥を検出する欠陥比較部（２５）と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】錠剤等の外観の良否を判定する検査装置をシンプルな構造とし、良否の判定に際しても錠剤等の全面画像を確実に得ることができ、また、このような全面画像を一度の撮像で得て直ちに良否の判定ができるようにする。
【解決手段】撮像ケーシング１０の立方体形状の一つの頂点のところに入口１０ａを設け、この入口１０ａが設けられた頂点に対向する頂点のところに出口１０ｂを設けて、錠剤Ａを入口１０ａから出口１０ｂを貫けて落下するようにさせる。そして、この立方体形状の六つの面の中央位置にカメラ１１ａ〜１１ｆを、当該カメラ１１ａ〜１１ｆの光軸が当該立方体形状の中心を向くようにそれぞれ配置する一方、撮像ケーシング１０の６つの内壁のそれぞれには、カメラレンズ１１ａ〜１１ｆの光軸を遮らないようにして二次元配列されたＬＥＤで構成される照明装置１２を設け、更に、照明装置１２の前面側に拡散板１３を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、不良が発生したウエハの端部の状態をプロセス全体にわたって容易に観察、追跡ができる機能を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ウエハ外周部を検査するウエハ表面検査装置において、ウエハ外周部の画像を撮るレンズ系およびＣＣＤカメラと、撮った画像データを記憶する記憶手段と、記憶装置に記憶されている画像データを表示する表示手段とを有することを特徴とする。
更に、具体的に述べると、本発明はプリアライメント部に載せてウエハを回転させ、ウエハのオリエンテーションフラット部あるいはノッチ部の位置合わせを行う部位に、レンズ系とＣＣＤカメラにより、ウエハ端部の外周１週分の画像を記録し、記憶装置に取り込み、ＣＲＴ上に表示させる機能を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子部品を円盤から離脱させるための空気流により所望の電子部品を良好に離脱させるとともに、かかる空気流が他の電子部品の保持に与える影響を緩和した外観検査装置の提供。
【解決手段】円盤３、４に吸着された電子部品Ｗを円盤３、４から離脱させるための離脱空気流を形成する離脱手段１３、１４、２８、２９を有し、電子部品Ｗを円盤３、４に吸着する負圧形成手段１２、３０〜３３は、電子部品Ｗを吸着するための孔に連通する複数の管部３３と、管部３３を互いに連通させる連通部３２とを有し、管部３３がそれぞれ、離脱空気流の緩衝を行う緩衝部を有する。 （もっと読む）