【課題】 欠陥を確実に検出することが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 マスク８に形成されたパターンの微分干渉像を生成する微分干渉光学系７、１０と、前記微分干渉光学系の微分干渉効果が生じる方向を時間的に変化させる制御部１５、１６と、前記制御部による前記微分干渉光学系の微分干渉効果が生じる方向の時間的な変化に対応して時間的に変化する微分干渉像を撮像する撮像部１２と、前記撮像部で撮像された時間的に変化する微分干渉像に基づいて前記マスクに形成されたパターンの欠陥を検出する欠陥検出部１８、１９、２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プラズマディスプレイパネルの蛍光体塗布状態を評価する方法に関し、基板に形成された蛍光体層の形状を非破壊検査によって、プラズマディスプレイパネルの製造工程中に検出することを課題とする。
【解決手段】 基板に塗布される蛍光体の塗布状態を評価する方法であって、発光色の異なる少なくとも２種類の蛍光体を塗布した後の基板表面を紫外線で照明した状態で該基板表面を各発光色を検出する異なる光検出器で走査し、各検出器から得られる電気パルス信号のパルス幅を比較して各蛍光体の塗布状態を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 全ての欠陥種を検出できる最適の欠陥検査レシピを作成者の熟練度に依存することなく作成する方法を提供する。
【解決手段】 模擬正常パターンに対して高さ方向での変化と平面形状での変化とを有する模擬欠陥パターンＤＦ１〜ＤＦ３を備える模擬欠陥ウェーハ１を用いて暫定検査レシピを作成し、模擬欠陥ウェーハ１について欠陥検査を行ない、検出された欠陥データと、予め得られた模擬欠陥ウェーハ１の模擬欠陥データとを照合して欠陥検出感度を定量化し、所望の欠陥検出率が得られるまでレシピパラメータを変更して暫定検査レシピを作成する。 （もっと読む）

【課題】 正反射を起こす面を有する粗面物体の機能的表面性状を定量的に、かつ簡易に測定する。
【解決手段】 粗面物体の表面性状を測定する方法において、主として正反射を起こす面を有する粗面物体の表面に基準パターンを投影して該基準パターンの反射像のゆらぎを結像し、該反射像のゆらぎをＣＣＤカメラで撮影し、該ＣＣＤカメラの映像信号を画像処理することにより前記反射像のゆらぎの輝度分布および該反射像のゆらぎの大きさを算出し、その値から粗面物体の表面性状を求める。反射像のゆらぎの大きさとして、輝度の振幅の標準偏差を用いることができる。 （もっと読む）

本発明は、電磁波２つの送光器及び送られる電磁波の反射を受けるため適当に方向づけられる２つの受光器を持つ周辺検出システムに関し、第１の送光器及び受光器は、第１の目標範囲に、第２の送光器及び受光器は、第２の目標範囲に向けられている。
第３の目標範囲を検出するため、少なくとも第１の送光器の前に、一時的にこの送光器が送られる電磁波の少なくとも一部を少なくとも一時的に第３の目標範囲へ転向させる光学的手段が設けられ、少なくとも第２の受光器の前に、第１の送光器から第３の目標範囲へ送られて反射される電磁波を少なくとも一時的に第２の受光器へ転向させる光学的手段が設けられている。光学的手段はなるべく永続的に設けられ、交互にそれぞれ１つの送光器のみが動作するので、それぞれ１つの受光器が、それぞれ妨げられることなく第３の目標範囲を検出する。
それにより例えば自動車において、走行方向において車両の右及び左に設けられる送−受光器対により、走行方向において正面範囲全体を検出することができる。
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【課題】安定した高い信頼性を持つ画像データと撮像位置表示手段を用いて高精度の連続した画像データにより目視検査とも対応できる探傷検査方法を提供する。
【解決手段】デジタルカメラで色表示手段であるカラー色票を撮像しモニタに表示する。色再現しているかチェックし、カラー色表の各色が再現していなければ、カメラ設定をチェックする。解像度表示手段であるＬＰゲージを撮像し、２．０ＬＰが分離していなければ、カメラ設定をチェックする。検査対象に探傷処理をした後、検査対象に撮像位置表示手段であるスケールバーを装着し、スケールバーのマークに合わせて撮像する。画像データを全て検査用ＰＣに転送し、検査用ＰＣで欠陥検査を実行する。欠陥検査中に欠陥を発見した場合、その欠陥の位置や大きさ、形状などの欠陥情報を記録し欠陥数などのデータを表示する。 （もっと読む）