【課題】 不良観察画像を用いた半導体デバイスの不良の解析を確実かつ効率良く行うことが可能な半導体不良解析装置、不良解析方法、及び不良解析プログラムを提供する。
【解決手段】 半導体デバイスの不良観察画像Ｐ２を取得する検査情報取得部１１と、レイアウト情報を取得するレイアウト情報取得部１２と、半導体デバイスの不良についての解析を行う不良解析部１３とによって不良解析装置１０を構成する。不良解析部１３は、不良観察画像での輝度分布と、所定の輝度閾値とを比較することによって不良に起因する反応領域を抽出し、反応領域に対応して半導体デバイスの不良解析に用いられる解析領域を設定する解析領域設定部を有する。 （もっと読む）

【課題】蛍光磁粉液の性能をより正確に評価することができるようにして、蛍光磁粉液の性能を改善するために様々な要因を調整することを可能とする蛍光磁粉液の性能測定方法および性能測定装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射手段１と、撮像手段２と、撮像手段２により撮像された画像を画像処理する画像処理手段４と、画像処理手段４により画像処理された画像に基づいてＳ／Ｎ比を演算するＳ／Ｎ比演算手段５とを備えて、標準疵Ｖが設けられた試験体Ｗに測定対象の蛍光磁粉液を散布し、その撮像画像からＳ／Ｎ比を演算し、そのＳ／Ｎ比により性能を評価するものである。 （もっと読む）

【課題】シート上に散布された紛体の目付分布、目付量を非接触でリアルタイム計測を可能とする、紛体の目付測定方法を提供する。
【解決手段】平面基材上に載置された紛体に光を照射し、前記紛体により散乱、回折もしくは反射された光または前記粉体からの蛍光発光の強度を測定し、この測定値と予め作成しておいた検量値と比較することにより粉体の目付を測定することを特徴とする紛体の目付測定方法。 （もっと読む）

【課題】シェアログラフィー法による非破壊検査を迅速かつ高精度に実施可能な非接触式欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】非接触式欠陥検査装置には、検査対象物Ａに熱歪みを付与する誘導加熱器１０１と、検査対象物Ａにレーザ光を照射するレーザ発振器１０２と、検査対象物Ａからの反射画像を特定の方向にずらして二重露光計測する画像計測手段１０４と、当該画像計測手段１０４で得られた微分画像から検査画像を生成する画像解析手段２０４と、検査対象物Ａを冷却する冷却風送風手段１０６とを備える。二重露光計測を行う際、冷却風送風手段１０６の駆動を停止するか、冷却風送風手段１０６から送風される冷却風１０６ａの流れ方向と反射画像のずらし方向とを合致又は近似させる。 （もっと読む）

【課題】破孔ろ布の特定を効率化することができ、しかも安全性を向上させることができるバグフィルタにおける破孔ろ布の特定方法を提供する。
【解決手段】 バグフィルタ（１）のクリーン部（１ｂ）側へ飛灰が洩れていることが確認された場合に、バグフィルタ（１）のろ布（３）に付着した灰を払い落とす工程と、バグフィルタ（１）の捕集部（１ａ）側に紫外光または可視光線により視認できる粉体顔料を投入する工程と、バグフィルタ（１）を開口する工程と、バグフィルタ（１）のクリーン部（１ｂ）側から紫外線または可視光線をろ布に向けて照射して粉体顔料のろ布（３）への付着を確認することにより破孔が発生したろ布（３ａ）を特定する工程と、強制パルス逆洗浄によりろ布（３）に付着した粉体顔料を払い落とす工程と、破孔が生じたろ布（３ａ）を新しいろ布と交換する工程とを包含する。 （もっと読む）

【課題】外面（外周面）に凹凸を有し、内面（内周面）が滑らかな光沢面である透明体の内面検査を、簡単な無理のない構成で、しかも短時間に精度よく検出することのできる内面検査方法等を提供する。
【解決手段】
外面４１ｂに凹凸４２を有し内面４１ａが滑らかな光沢面である透明体４の当該内面４１ａを検査する方法であって、前記透明体４から蛍光が発される波長域の検査光Ｌを前記内面４１ａに対して斜め方向から照射し、その照射によって生じる当該内面４１ａからの蛍光及び散乱反射光を観測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 光量を定量評価できる光量計測装置および光量計測方法を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ１２の無信号状態を作り、ゼロ点調整を行う。このとき、校正用シャッター２３は光路を遮断する実線で示す位置に駆動され、迷光がＣＣＤカメラ１２に入らない状態が確保される。このときのＣＣＤカメラ１２の出力信号は光量算出部５１に送られ、校正部５６は光量算出部５１に対し、この出力信号値を基準（ゼロ点）とする校正を実行する。また、校正用レーザ光源２１から出力された光は光アッテネータ２２により減衰され、可動ミラー９およびリレーレンズ１１を介してＣＣＤカメラ１２に入射する。光アッテネータ２２の減衰量を切り替えることで、正しく値付けされた光をＣＣＤカメラ１２に入射させる。このときのＣＣＤカメラ１２の出力信号は光量算出部５１に送られ、校正部５６は各出力信号値がそれぞれの光量に正しく対応するように、光量算出部５１に対する校正を実行する。 （もっと読む）

【目的】 透光性物品における光学的な不均一性の有無を正確に検査できる透光性物品の検査方法を提供する。
【構成】 透光性物品に２００ｎｍ以下の波長を有する検査光を導入した場合に、該透光性物品内部で前記検査光が伝播する光路に前記局所又は局部的に光学特性が変化する部位がある場合にこの部位から発せられる光であって前記検査光の波長よりも長い光を感知することにより、前記透光性物品における光学的な不均一性の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】方向性を有する欠陥であっても、欠陥の方向性に依存することなく欠陥像を撮像できる微分干渉顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明による微分干渉顕微鏡は、試料の微分干渉像を撮像装置(11)により撮像し、その映像信号を画像処理装置に出力する。画像処理装置において、第１のシャーリング方向の第１の微分干渉像と第１のシャーリング方向と直交する第２のシャーリング方向の第２の微分干渉像とを画像合成する。画像合成に際し、第１の微分干渉像と第２の微分干渉像とを２乗和処理して画像合成を行う。２乗和処理により、画像の輝度情報の符号が反転するので、欠陥のエッジの周囲にそって明のリング状の画像部分が形成され、方向性の無い欠陥像が撮像される。 （もっと読む）

【課題】蛍光塗料を用いて離型剤を可視化することを図り、金型のキャビティ形成面に塗布された離型剤の分布や塗布厚を簡易観察により判別して、離型剤塗布状態の良否を判定することが可能である離型剤塗布状態検出方法及び離型剤塗布状態検出装置を提案する。
【解決手段】蛍光物質を含有する離型剤が塗布された金型のキャビティ形成面８に紫外光を照射し、前記キャビティ形成面８にて発される可視光の発光強度に基づいて離型剤塗布状態を検出して、離型剤の分布や塗布厚などの、前記キャビティ形成面８への離型剤塗布状態の良否を判定する。離型剤塗布状態のうち塗布量の多少を推定するに際しては、離型剤塗布量と可視光の発光強度との関係を示す測定ゲージを用いる。 （もっと読む）

【課題】見る方向によって異なる像が浮かび上がるホログラム印刷を検査する際に、ひとつの視線方向から同時に複数のホログラム像を観察できるシンプルなホログラム印刷検査器を提供する。
【解決手段】ホルダ３に、ホログラム印刷１４の観察位置に対応させて観察窓４を形成するとともに、観察窓４とホログラム観察位置との間でホログラム印刷１４を挟んで一対のミラー２を所定の傾き角度で逆ハの字状に配置することによってホログラム印刷検査器１を構成する。観察者１６は観察窓４から観察位置のホログラム印刷１４の直視像（１５）および各ミラー２の反射像（１５）を一視線方向から同時に観察できる。 （もっと読む）

【課題】 多種多様な被検体を位置決めすることなく短時間に検査でき、被検体以外の領域からの蛍光の影響を受けずに被検体の微細な傷を高いＳ／Ｎ比で容易に検出でき、かつ検出した傷の大きさと被検体上の位置を容易に特定できる蛍光探傷装置および蛍光探傷方法を提供する。
【解決手段】 蛍光探傷装置１０は、暗室１４、ブラックライト１６、白色ストロボ１８、ロングパスフィルタ２０、撮影カメラ２２及び画像処理装置２４を備える。暗室内で、検査位置に静置した被検体１に蛍光探傷用の近紫外線２を照射し、ロングパスフィルタ２０を通して被検体を撮影して蛍光静止画像５を取得する。また、時間をずらして同一位置から、被検体１に可視光３を照射し、ロングパスフィルタ２０を通して被検体１を撮影して可視静止画像６を取得する。さらに蛍光静止画像５と可視静止画像６を画像処理により重ね合わせて重合せ画像７を表示する。 （もっと読む）

【課題】 被検体や異物の質量や材質の種類あるいは色に拘わらず、安価に有機質異物をも検出できる異物検出方法を提供する。
【解決手段】 例えば、食品等の粒状または塊状の被検体Ｄにヤグレーザー照射装置３から射出されたレーザー光Ｌを照射し、異物を含む被検体Ｄに誘起された蛍光Ｌ´の所定の波長の強度を受光装置４で計測し、得られた蛍光の相対強度比に基づいて受光装置４に接続された判定装置が被検体Ｄは異物か否かを判定したものである。 （もっと読む）

【課題】 より正確に印刷ずれかどうかを判定することが可能な蛍光体の印刷ずれ検査方法を提供する。
【解決手段】 平面表示器のガラス基板に塗布されている蛍光体の蛍光面を撮像したカメラからの入力画像から、蛍光体が塗布されている各領域を抽出して、蛍光体の色の選定を行ない、先に抽出された各領域内の画素を色度に変換し、色度のうち予め設定した領域内の色度を抽出し、抽出した色度から印刷ずれかどうかを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
簡易な構成で安価な表面検査装置を提供することを目的の一つとする。また、検査対象又は周辺部材の劣化が少ない表面検査装置を提供することを目的の一つとする。
【解決手段】
光源の光を検査対象へ照射し、それから得られる光を検出して前記検査対象の表面の異常部位を検出する表面検査装置において、
前記光源としてピーク波長が３７０〜４００ｎｍであるＬＥＤ光源を用いることを特徴とする表面検査装置とする。
（もっと読む）

【課題】フィルムに紫外線硬化樹脂が設けられていても、また暗い色のインクを用いていても、像を印刷している最中に、その印刷状態を検査できる印刷方法を提供すること。
【解決手段】転写ローラ１の外周面に形成されたインクの像をフィルムＦに転写する印刷方法において、前記像が形成された転写ローラの外周面に紫外光Ｌ２を照射する第１の工程と、前記光を照射したときに前記インクから発生する蛍光Ｌ３の強度分布を検出する第２の工程と、前記蛍光Ｌ３の強度分布に基づいて前記像の印刷状態を検査する第３の工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】赤外線に対して反射性を有する基材上に、特定波長領域の赤外線により励起されてピーク波長が当該励起波長とは異なる赤外線を発する蛍光インキを用いて記録された情報パターンを読み取る手段として、情報パターンの読み取りのみならず、その真贋をも判定できる方法を提供する。
【解決手段】基材上の情報パターンを含むパターン記録領域に赤外線を照射したときに、情報パターンの存在する部分（情報パターン存在部）では蛍光インキに対する励起波長領域で赤外線の吸収が起こることにより情報パターンの存在しない部分に比べて赤外線の反射率が低くなることを利用して、前記パターン記録領域における情報パターンを読み取る一方、前記情報パターン存在部からの赤外線の発光の有無を検出することにより、当該情報パターンの真贋を判定する。 （もっと読む）

【課題】 ２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる、透明層の検査装置を提供する。
【解決手段】 第１の透明層１２に対して所定の第１の入射角α_１で、照射位置１８ａを変えながら、Ｐ波の第１のレーザビーム２０を照射する、第１の投光部と、第１の透明層１２に照射された第１のレーザビーム２０により、第１の透明層１２で直ちに反射する表面反射光２２と、第１の透明層１２に一端入射した後、第１の透明層１２と第２の透明層１４との界面１３で反射して第１の透明層１２から出射する界面反射光２６との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞を検出して信号を出力する干渉光受光部と、第１の投光部が照射する第１のレーザビーム２０の照射位置１８ａと、干渉光受光部から出力される信号とに基づいて、第１の透明層１２の不均一部分を検出する第１の検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】省電力下で肉体的な負担を軽減して作業効率を向上させ得る手動操作式の磁粉式探傷装置を提供する。
【解決手段】磁性材表面１を走行するキャスタ１３付きの台車基部１２に復帰ばね１６を介して押下げ操作可能に支持された昇降式台車１０に、両側のコア脚部２０ａの先端部が一対の磁極ヘッド２３として形成され、かつ励磁コイル２１を巻回されたコア２０と、磁極ヘッド２３間の領域の磁性材表面１に紫外線照射用スイッチ１９の操作に応答して紫外線を照射する紫外線光源とが取付けられる。磁極ヘッド２３の高さ位置は、キャスタ１３よりも上方位置に設定されている。台車基部１２に、昇降式台車１０が下降したのを検知して励磁コイル２１の給電を自動的に行わせる下降検知スイッチ１７が設けられる。昇降式台車１０を押下げ操作すると、下降検知スイッチ１７がオンになると共に、磁極ヘッド２３が磁性材表面１に当接する。
（もっと読む）

【課題】 明るい輝点も正確に検出する。
【解決手段】 カメラに対応した輝度値をカメラ座標Ａ（ｉ，ｊ）として取得し（Ｓ１）、フラットパネルディスプレイに対応する対応座標Ｂ（ｘ，ｙ）に変換する（Ｓ２）。対応座標Ｂ（ｘ，ｙ）での輝度値を二値化して二値化座標Ｃ（ｘ，ｙ）を形成し（Ｓ３）、輝点とされた二値化座標Ｃ（ｘ，ｙ）の二値化座標位置に対応する対応座標Ｂ（ｘ，ｙ）での対応座標位置（ｘ，ｙ）における輝度値と、対応座標位置に隣接した隣接座標位置（ｘ−ｐ，ｙ−ｑ）（ｐ＝−１〜＋１，ｑ＝−１〜＋１）での輝度値とを比較し、各隣接座標位置Ｂ（ｘ−ｐ，ｙ−ｑ）での輝度値が対応座標位置での輝度値に所定値γを乗算した乗算値γ・Ｂ（ｘ，ｙ）以上の場合に、対象座標位置（ｘ，ｙ）に対応する二値化座標Ｃ（ｘ，ｙ）の二値化座標位置を輝点「１」から暗点「０」に変更する（Ｓ４）。 （もっと読む）