【課題】欠陥発生の原因となった設備の異常を早期に特定する。
【解決手段】欠陥検査装置は、基板において欠陥の発生が予測される位置を示す位置情報と、基板を処理する処理装置の名称と、を記憶する記憶部と、基板で発生した欠陥を検出する検出部と、検出された欠陥が、複数の基板において共通する範囲内で発生しているかを判定する判定部と、検出された欠陥が、複数の基板において共通する範囲内で発生している場合、複数の基板において共通する範囲内で発生した欠陥の位置を示す位置情報を、記憶部に記憶する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ検査装置及びそれを利用するＬＥＤ検査方法が提供される。
【解決手段】前記ＬＥＤ検査装置は、第１光を生成して、前記第１光によって励起されて前記第１光より長波長の光を放出する蛍光体を有する封止材が具備されたＬＥＤに照射する第１照明部と、前記第１光より長波長の第２光を生成して前記ＬＥＤに照射する第２照明部と、前記蛍光体から放出された光と前記ＬＥＤから反射した前記第２光を受信して、前記ＬＥＤの映像を獲得する映像獲得部と、前記映像獲得部から得られた前記ＬＥＤの映像を利用して、前記ＬＥＤの不良有無を判断するＬＥＤ状態判定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板上にコーティング層が安定的にコーティングされるように基板表面に存在する異物を検知するための検査装置、その検査方法及びそれを備えるスリットコータに関する。
【解決手段】本発明は、スリット状の光を照射するスリット照明ユニット、上記スリット光を互いに異なる２つの経路に沿って進行する２つの光に分離して対象物に照射し、上記対象物から反射される２つの光が集合されて干渉像を抽出する光学系、上記干渉像を撮影して映像信号を出力する映像装置及び上記映像信号の輝度値を取得してリアルタイムで分析して異物検知可否を判断する分析ユニットを含む表面検査装置、その表面検査方法及びそれを備えるスリットコータを提供する。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント成型積層体の欠陥検査や膜厚測定を簡便かつ迅速に、非破壊で行うことが可能な検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の検査方法は、鋳型モールドを用いるナノインプリント法により成型されたレジスト材料からなる膜層を有する基板に対して、レジスト材料を発光させる励起波長の光を照射し、基板上の成型されたレジスト材料からなる膜層からの発光を発光パターン画像として取得する工程(1)と、該発光パターン画像を、成型に用いた鋳型モールドのパターン画像又は同一鋳型モールドで繰り返し成型した該発光パターン画像と異なる発光パターン画像と比較し、画像の相違点を欠陥として検出する欠陥検出工程(2)及び／又は、該発光パターン画像を発光強度により解析し、発光強度の値から膜厚を測定する膜厚測定工程(3)とを含み、半導体、配線基板、電子デバイス、光学デバイス等の製造における品質管理に有用である。 （もっと読む）

【課題】処理結果に重複や漏れが発生することを防止すること。
【解決手段】検出装置は、画像表示装置の撮像画像を取得する。また、検出装置は、取得した撮像画像から、該撮像画像から検出する点欠陥又は線欠陥の種別ごとに異なる検出条件を用いて種別ごとに欠陥画素候補を検出する。そして、検出装置は、種別ごとに検出された欠陥画素候補間で、所定の閾値よりも小さい点欠陥候補や所定の閾値よりも小さい線欠陥候補を、前記種別ごとの候補間で移動する。そして、検出装置は、移動後の前記種別ごとの欠陥画素候補から、点欠陥又は線欠陥を決定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】宝石物質に含まれる内包物の撮像と同定を行う際に、両方の作業プロセスにおいて内包物の同一性を確保でき、これにより、その内包物及びそれを含む宝石物質の鑑別結果の信頼性を高めることができる宝石物質の鑑別方法等を提供する。
【解決手段】本発明においては、定性分析用のプローブ光としてのレーザー光が照射される光軸上に宝石物質を設置し、可視光がその宝石物質を透過するように、可視光を光軸に対して側方から宝石物質に照射しながら宝石物質を顕微観察し、レーザー照射光学系及び顕微観察光学系を内包物に合焦させ、その合焦位置において、内包物の画像を撮像する撮像し、かつ、その同じ合焦位置において、内包物のラマンスペクトルを測定する等して内包物の種類を同定する。 （もっと読む）

【課題】農産物（柑橘類）の表皮における疵の有無を正確に判定することができる農産物検査装置を提供する。
【解決手段】農産物検査装置（１００）は、農産物（５００）に３７５ｎｍ以上かつ３９５ｎｍ以下の波長を有する紫外線を照射する光源（１３０）と、農産物の外観を撮像する撮像装置（１４０）と、農産物（５００）からの反射光と撮像装置（１４０）との間の光路に配置されたフィルター（２００）と、を備え、フィルター（２００）は４４０ｎｍ以下の波長の紫外線をカットする。 （もっと読む）

【解決手段】対象の検査方法およびシステムは、対象表面上の望まれないパーティクルを検出するための分光技術の使用を含む。この技術は、望まれないパーティクルと検査対象とが異なる材料により形成されることによる、検査対象と比較したときの望まれないパーティクルの異なる応答に基づく。対象の表面からの二次光子放出の時間分解分光法および／またはエネルギ分解分光法を使用することにより、ラマンおよび光ルミネッセンススペクトルを得ることができる。検査対象は例えばリソグラフィプロセスで使用されるパターニングデバイス、例えばレチクルであってもよい。その場合、例えば金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在が検出されうる。この方法および装置は高感度であり、例えばＥＵＶレチクルのパターン形成された側の小さなパーティクル（１００ｎｍ弱、特に５０ｎｍ弱）を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】微小なパーティクルであっても高い確実性をもって検出することができ、信頼性の高い計測を行うことができるパーティクルの検出方法を提供すること。
【解決手段】基板である半導体ウエハＷの上にダミー膜１１を成膜し、次いでウエハＷの表面に真上から光を照射しながら照射位置を移動させ、その反射光を受光し、この受光した光の強度と光の照射位置とを対応付けたデータを取得して、ウエハＷ上のパーティクルを検出する。ここでダミー膜１１の膜厚をダミー膜１１の表面で反射された反射光と、ダミー膜１１とウエハＷとの界面で反射された反射光とが同位相になるかまたは逆位相になるように設定することにより、可干渉状態あるいは不干渉状態を形成しておく。パーティクルがダミー膜１１の表面あるいは前記界面のいずれかに存在すると、上記の状態が崩れるため、受光する光の強度が変化し、これにより高感度でパーティクルを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】低価格で、且つ半導体基板のルミネセンス画像から高い精度でクラックを検出できる半導体検査装置及び半導体検査方法を提供する。
【解決手段】ｐｎ接合を有する半導体基板１００にルミネセンスを生じさせる励起エネルギーＥｒを半導体基板に供給する供給装置１０と、第１の励起エネルギーＥｒ１及び第１の励起エネルギーＥｒ１と大きさの異なる第２の励起エネルギーＥｒ２が供給された半導体基板１００の第１及び第２のルミネセンス画像をそれぞれ取得する画像取得装置３０と、第１のルミネセンス画像と第２のルミネセンス画像とのルミネセンス強度の差分を半導体基板１００の各位置について算出して、強度差分画像データを作成するルミネセンス画像処理装置４１と、強度差分画像データの差分の大きさを用いた判定値に基づき、半導体基板１００のクラックが発生したクラック位置を検出する検出装置４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ナックルへのベアリング圧入過程においてナックル内径の圧入摺動面に塗布される潤滑剤の塗布状態の良否を的確に判定することができ、且つ検査の信頼性を向上させる潤滑剤の塗布状態検査装置及び塗布状態検査方法を提供する。
【解決手段】車両の懸架装置を構成するナックルと該ナックルに圧入されるベアリング１３と該ナックルのベアリング圧入面に塗布される潤滑剤に対して紫外光を照射してカメラで撮影してその撮像画像に対して二値化処理を施し、前記ナックルのベアリング圧入面に沿って略円環形状の判定領域１０を設定する判定領域設定手段と、前記ベアリング１３の圧入によって前記圧入面から前記判定領域１０にはみ出す潤滑剤１２のはみ出し領域から前記圧入面に塗布された潤滑剤の塗布状態の良否を判定する良否判定手段とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】成膜用マスクの所望の品質特性を検出可能であって、効率的にマスク検査が可能
なマスク検査装置、これを備えた有機ＥＬ装置の製造装置、これを用いたマスク検査方法
および有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例のマスク検査装置１５０は、帯状に光を射出する光源１５３と、帯
状の光により成膜用マスクとしての蒸着マスク５０の表面を所定の方向に走査するように
、光源１５３と蒸着マスク５０とを相対移動させる走査機構としての搬送機構１１５と、
走査に伴って蒸着マスク５０の表面から反射した光を受光する受光部１５６と、受光部１
５６の受光信号を画像に合成する画像処理部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】応力発光体の発光現象に基づいて、当該応力発光のひずみパターンを精度よく推定することができる応力発光解析装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る応力発光解析装置１００は、応力発光体の発光パターンを特定するパラメータ、および、応力発光体を賦活状態に遷移させる賦活光の照射パターンを特定するパラメータおよび賦活光の照射終了時刻から応力発光の検知時刻までの経過時間を入力情報とし、応力発光体のひずみパターンを出力情報する、学習により予め最適化されたニューラルネットワークを用いた算出部１４０を備えている。 （もっと読む）

【課題】商品パッケージや透明シートなどに付された点字を正確に検査することが可能な点字検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物の点字部分Ｃにのみ、紫外線を受けて発光する透明蛍光インキが付され、紫外線照射器４を用いて紫外線を被検査物に照射して被検査物の点字部分Ｃの透明蛍光インキを発光させた状態で、被検査物を撮像カメラ３により撮像する。撮像したビデオ信号を２値化処理手段が２値化処理して２値化信号を生成し、点字認識手段が２値化された２値化信号から被検査物上の点字Ｂの特徴部分を抽出し、特徴部分の特徴量に基づき点字を認識し、認識した認識結果を判定表示部８に表示する。 （もっと読む）

【課題】筒状物に存在する傷、ピンホール、薄肉部等の欠陥を精度良く簡便に検査し得る筒状物の検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、筒状の形状を有し且つその中心軸方向の一端が開放されて開口端１ａとされ且つ他端が閉じている中空の筒状物１の欠陥を検査する筒状物の検査方法である。筒状物１の周囲に配置された照明手段２０から該筒状物１の外周面１ｃ全体に光を照射しつつ、開口端１ａから筒状物１の中空部２内に光が入らないように該開口端１ａを遮光した状態で、撮像手段４０によって開口端１ａから中空部２内を撮像し、撮像された中空部２内の画像を画像処理することによって、外周面１ｃを透過して中空部２内に漏洩する光の強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板内部の表面近傍を含む全ての領域の内部欠陥を確実に検出して欠陥のない製品を製造可能にする。
【解決手段】２つの主表面と４つの端面を有する薄板状のマスクブランク用ガラス基板を準備する基板準備工程と、前記いずれかの端面から波長２００ｎｍ以下の検査光を前記ガラス基板内に導入して内部欠陥を検出する検査工程とを有するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、前記検査工程は、ガラス基板内に導入された検査光が両方の主表面の所定領域全体に到達する発散角度を有する発散光を検査光として使用し、前記検査光によって前記ガラス基板の内部欠陥から発生する蛍光の有無を検査するものであり、蛍光が検出されないガラス基板を選定してマスクブランク用基板を製造することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来の有機物顕在化方法では、被検査物表面の異物を識別するためには、薄膜を堆積させる時間を多く必要とし、異物を識別させるための作業等が煩雑であった。また、被検査物表面の異物を識別する際には、被検査物を不活性ガスが封入された特別な環境下に置く必要があるため、異物の存在を容易に確認することができなかった。
【解決手段】 基板１の表面に金属薄膜１９を成膜し、金属薄膜１９が成膜された基板１表面に光を照射して、光の干渉により生じる、有機物１４が存在している部分と存在していない部分とのコントラスト差を識別する。 （もっと読む）

【解決手段】検査処理能力を増加させるために、赤外線カメラの視野を試料上で一定速度で移動させることができる。この移動全体を通して、変調を試料に加えることができ、赤外線カメラを用いて赤外線画像を捕捉することができる。視野を移動させること、変調を加えること、及び赤外線画像を捕捉することは、同期させることができる。赤外線画像をフィルタ処理して時間遅延ロックイン・サーモグラフィを生成し、これにより欠陥識別を行うことができる。このフィルタ処理は、赤外線カメラの走査方向の画素数を与えることができる。光変調の場合は、移動全体を通して、暗視野領域を視野用に提供することができ、これにより、フィルタ処理中の信号対雑音比を向上させる。局在する欠陥は、検出システム内に統合されたレーザーによって修復するか、生産ラインにおける後の修復用にインクで印を付けることができる。 （もっと読む）

【課題】容易に色ムラ検査を実施可能な色ムラ検査方法、および色ムラ検査方法で用いる
検査用画像データ生成装置を提供する。
【解決手段】色ムラ検査方法は、プロジェクタ２に色ムラ検査用画像を表示させる検査画
像表示工程と、プロジェクタ２のＲＧＢ／ＸＹＺ変換特性を取得する色空間変換特性取得
工程と、色ムラ検査用画像を撮像手段により撮像して、撮像画像データを取得する撮像工
程と、プロジェクタ２のＲＧＢ／ＸＹＺ変換特性に基づいて、撮像画像データの第二の色
空間形式をプロジェクタ２の第一の色空間形式に変換した変換画像データを生成する色空
間変換工程と、変換画像データをプロジェクタ２により表示させる変換画像表示工程と、
色ムラ検査用変換画像に基づいて、色ムラの検査を実施する色ムラ検査工程と、を備えた
。 （もっと読む）