【課題】 １つ以上の空間光変調器（ＳＬＭ）（１０８、１１２、１２２、２１２、２２０、２３０、３１２、３３２、３２０）を用いて検査システム（１００、２００、３００）内の光学ビームの位相および／または振幅を変える方法および装置を提供する。
【解決手段】 ある実施形態において、光学ビームで試料を光学的に検査する装置が開示される。この装置は、入射光学ビームを前記試料上に導くことによって、前記入射光学ビームの少なくとも第１部分が前記試料（１１８）から出力ビームとして導かれるビーム発生器（１０２および２０２）、および前記出力ビームの少なくとも一部を受け取るよう配置される検出器（１２６、２３４、３３６）を含む。この検出器はまた、前記出力ビームに基づいて出力信号を発生するよう動作可能である。この装置はさらに前記出力ビームを前記検出器に導く１つ以上の結像光学系（２２４、２２８、２２６、２３２）、および前記出力ビームまたは前記入射ビームのいずれかの光路内に配置される第１プログラム可能な空間光変調器（ＳＬＭ）を含む。このＳＬＭは、前記入射ビームまたは前記出力ビームの位相または振幅プロファイルを調節するよう構成される。この装置は、前記入射ビームまたは前記出力ビームの前記位相または振幅プロファイルを変えるよう前記第１ＳＬＭを構成するよう動作可能な制御システム（１２８、２３６、３３８）も有する。例えば、ＳＬＭは、異なる検査モードを達成するために入射ビームの照射プロファイルを変えるよう構成されえる。他の例では、ＳＬＭは、前記出力ビームの前記位相および／または振幅プロファイルを変えることによって、前記結像光学系によって作られる収差を実質的になくすよう構成されえる。他の実施形態において、装置は、前記入射ビームおよび前記出力ビームの両方の位相および／または振幅プロファイルを変えるよう構成可能である２つ以上のＳＬＭを含みえる。
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配線パターン検査装置は、光源（１０）と、光源からの光をほぼ平行に導光する平行導光部と、平行導光部によって導光された光から、導光方向に対して直交する横波光成分を抽出し、この横波光成分を特定偏波成分に変換し、この特定偏波成分をワーク（５１）に照射し、照射された特定偏波成分がワークで反射してなる反射光から、縦波光成分を抽出する光抽出部を備えている。
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本発明は、画像検出装置（４１〜４３，６０，６３，６５）を有するタバコ加工産業の製品（６４）の外観検査をするための装置に関する。本発明による装置は、画像検出装置（４１〜４３，６０，６３，６５）が、少なくとも１つの屈折率分布型レンズ（６０）を有することによって際立っている。更に、本発明は、タバコ加工産業の製品（６４）の外観検査をするための屈折率分布型レンズ（６０）の使用によって際立っている。
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中心軸線と周囲に延びる外部リブ付きの側壁とを有する容器を検査するための装置である。装置は、線形状光ビームを容器の外面上に向けるための光源と、線形状ビームの反射された部分を受けるように配置された光センサと、反射された光エネルギーの関数として側壁の幾何学的特性を判断するように光センサに連結された情報処理装置とを含む。線形光状ビームは、少なくとも１つのリブ峰部とリブ峰部間の少なくとも１つの谷部とを照らすのに十分な長さを有する、容器の軸に平行な長い寸法を有するのが好ましい。センサは、非円形度を測定するために特に有用な直線アレイ・センサとすることができ、又は、非円形度及び側壁の厚さを測定するための領域アレイ・センサとすることができる。 （もっと読む）

【課題】単に、照明レベルを制御し、画面全体の明るさを調整するのではなく、画面内での照明均一性を確保することが可能な照明制御機能を備えた視覚センサを提供すること。
【解決手段】所定の配列パターンを有しかつ予め決められた検出領域をほぼ同時に照らす複数の照明器と、複数の照明器でほぼ同時に照らされた検出領域内の画像を取得する二次元撮像素子とを有すると共に、二次元撮像素子で取得された検出領域内の画像に基づいて各種の検査を行う運用モードと、二次元撮像素子で取得された検出領域内の画像の濃度が均一となるように、複数の照明器の照明強度を調整する設定モードとを有する。 （もっと読む）

サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
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表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(198)が結合される。
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固浸レンズ３を支持する固浸レンズホルダ５が連結された第一腕部材７１と、この第一腕部材７１を、観察対象物に対して略平行を成すＸ−Ｙ平面内で回動させる第一腕部材回動源７２と、この第一腕部材回動源７２を保持する第二腕部材７３と、第一腕部材回動源７２の回動軸と非同軸の位置を回動軸として、第二腕部材７３をＸ−Ｙ平面内で回動させる第二腕部材回動源７４と、を具備する構成とする。そして、二個の腕部材７１，７３を回動することで、固浸レンズ３をＸ−Ｙ平面内の所望の位置に移動可能とし、直交するＸ方向、Ｙ方向に構成部品を長尺とする必要を無くし、占有領域を小とすると共に簡易な構成とする。これにより、低コスト化を図りつつ、装置の小型化を図ることが可能な固浸レンズ移動装置、及びこれを備えた顕微鏡が実現される。 （もっと読む）

光源５８は、レンズ５９によりライン状の平行光に変換され、ビーム・スプリッタ６０に入射される。ビーム・スプリッタ６０は、入射光の半分を反射して光ディスク６５の表面のライン状領域に垂直に入射させ、残りの半分を透過させて光ディスク６５の表面のライン状領域に斜めに入射させる。光ディスク６５の表面に垂直に入射された光の反射光の光量は第１カメラ６２で検出される。この入射光、反射光はともに光ディスク６５の表面に対して垂直であるため、表面に大きな欠陥が生じても第１カメラ６２の撮影において虚像が発生せず、正確な欠陥サイズの検知が可能となる。 （もっと読む）

錯乱円を減少し、被写界深度を増大するために、拡大対物レンズ上の細い開口部を利用する光学デバイスを検査するシステムおよび方法。被写界深度の増大を生じるより小さい開口部は、検査される物体の全ての部分について同時焦点を可能にさせる。集光レンズと組み合わせた楕円形の反射体を備えるアークランプは、対物レンズを通った光の、より強いビームに焦点を合わせ、それにより、被写界深度を何ら犠牲にすることなく十分な明るさを提供する。
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