【課題】 人間の感性に頼ることなく、定量的かつ再現性の良いローピングなどの程度の測定・評価評価が可能となる測定・評価方法等を提供する。
【解決手段】
所定の入射角で、メタルイハライド光源１２が測定対象の表面に光を照射する工程と、入射角に略等しい反射角に対応させた角度上で表面から反射される光をＣＣＤカメラ１５が受光し、反射光を光の強度の分布のデータに変換する工程と、そのデータに基づいて、表面の光の強度変化を指標として演算装置１７が算出する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 被検査物２２をＴＶカメラ２４により撮影し、この撮影画像に対して画像処理を施すことにより被検査物２２の表面の欠陥を検出するようにした金属表面の欠陥検出方法において、面取り量の大きさに依存せず良好な検査が行えること、微小傷などの小さな欠陥も確実に検出できること、及び面粗さに依存せず良好な検査ができることを目的とする。
【解決手段】 被検査物２２の表面の検査領域を複数個の微小領域に分割し（ステップ３）、この微小領域のそれぞれにおいて輝度に関する標準偏差を測定し（ステップ５）、この標準偏差と予め測定し登録しておいた欠陥のないマスターワークにおける標準偏差との相関度を算出し（ステップ１２）、この相関度を予め設定しておいた欠陥検出用のしきい値と比較することにより（ステップ１４）、被検査物２２の表面の欠陥の有無を検出するようにした。 （もっと読む）