【課題】簡単な構成で、検査面上にある凹凸欠点及び汚れのいずれをも検知する検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１０は、長尺状の被検査体４０の上面を検査面４０Ｕとして、検査面４０Ｕにある凹凸欠点及び汚れを検出するための装置であって、撮影カメラ１２と、照明装置１３と、被検査体送り機構とを備える。被検査体送り機構は、被検査体４０を横断するように配置された検査ラインＭを通るように、被検査体４０を長手方向Ｌに送る。照明装置１３は、被検査体４０を横断するように検査ラインＭに沿って設けられ、凹凸欠点の陰ができるように検査ラインＭを略横方向から照明する。撮影カメラ１２は、検査ラインＭ上を通る検査面４０Ｕのライン画像を撮影し、凹凸欠点の陰に基づき凹凸欠点を検出する。 （もっと読む）

【目的】パターンへの追従性を向上させながらフォーカスボケを起こさないで光学画像を取得する手法を提供することを目的とする。
【構成】パターンの設計形状データと前記パターンの膜厚情報とを入力し、前記パターンの設計形状データと前記パターンの膜厚情報とに基づいて、所定の領域の平均膜厚を演算する平均膜厚演算回路２５０と、前記パターンの設計形状データと前記パターンの膜厚情報とに基づいて作成されたマスクパターンを用いて、前記所定の領域に対応するマスクパターンの領域の光学画像を取得する場合に、前記平均膜厚に合焦位置を合わせて光学画像を取得する光学画像取得部１５０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像欠陥の検出精度を向上できる画像検査装置、画像検査装置システム、及び画像検査プログラムを提供する。
【解決手段】所定の画像を印刷した画像を読取って得た検査画像を構成する領域であり、かつ検査対象とする検査領域の近傍に位置する近傍領域から、所定の画像を構成する領域であり、かつ近傍領域に対応する対応領域の濃度分布と類似した濃度分布を有する領域を選択する選択手段と、選択手段が選択した近傍領域を濃度に基づいて特徴付ける特徴値と、検査領域を濃度に基づいて特徴付ける特徴値とを比較することで、検査領域が画像欠陥を有するか否かを検査する欠陥検査手段とを備える。全体的に不均一な検査画像の濃度、及び局所的に不均一な検査画像の近傍領域の濃度であって、検査画像の基となった所定の画像にない不均一な濃度の影響を軽減して画像欠陥の検出精度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】経時変化にかかわらず、クリームはんだの状態を検出することができる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】設定部９５ｂは、はんだ相関データ９６ｄおよびＬＥＤ相関データ９６ｅに基づいて、照明装置５から照射される赤外光の強度を設定する。これにより、撮像装置６は、クリームはんだの所定の厚さに対応する画素が所定の光強度を有する基板表面からの反射光を検出することができる。この撮像装置６による画像に基づいて、クリームはんだの断面を検出することができる。したがって、クリームはんだや赤外線ＬＥＤ５ａの経時変化にかかわらずクリームはんだの状態を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、中空糸膜モジュールの不通糸欠陥の有無およびその発生の程度を中空糸膜モジュールを劣化させることなく非接触の方法によって判断することが可能であり、良否の判定を従来の方法よりも正確に行うことができる方法およびその装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
中空糸膜モジュールのポッティング端面に光源による光を照射し、前記端面からの反射光を撮像し、前記撮像によって得られた画像と予め定めるモデル画像との相関をとって中空部分が空洞になっている中空糸膜を検出し、前記中空部分が空洞になっている中空糸膜をマスクし、前記撮像画像について前記中空部分が閉塞している中空糸膜部分と樹脂部分との２値化処理を行い、前記２値化処理画像から中空部分が閉塞している中空糸膜を検出し、前記中空部分が閉塞している中空糸膜の本数が予め定める閾値を上回る場合は中空糸膜モジュールを不良品と判定する検査方法およびかかる手段を有する装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、干渉縞（モアレ）が発生しても、欠陥の正確な検出をすることができるパターンの検査方法、パターンの検査装置および電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】検査対象物上のパターンを撮像することにより検査を行うパターンの検査方法であって、撮像された画像を分割して複数の検査画像を作成し、前記検査画像が有する周期情報に基づいて参照画像を作成し、前記参照画像の位相を前記検査画像の位相に合わせ、前記位相を合わせた参照画像の振幅を前記検査画像の振幅に合わせ、前記振幅を合わせた参照画像をサンプリングすることにより前記検査画像を復元させることを特徴とするパターンの検査方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】欠陥寸法の検出精度を迅速に適正化し検出精度の変動を抑制することによって半導体製造ラインのシステム安定性を向上させることができる光学式欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査用照明光１１，１２をステージ３０１上の試料表面に照射し試料表面にビームスポット３を生成する照明光学系１００と、ビームスポット３からの反射光を検出する検出光学系２００とを有する光学式欠陥検査装置において、校正用試料７００上の標準粒子の位置及び大きさを予め記憶した記憶部４１０と、校正用試料７００を検査対象とした場合に、標準粒子からの検出散乱光量を記憶部４１０に記憶された対応位置の標準粒子の既知の大きさと関連付け、検出散乱光量と真の値との相関関係を作成する校正処理部４０８と、検査ウェハを検査対象とした場合に上記相関関係に基づいて検出散乱光量を欠陥寸法に変換する信号処理部４０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】カメラもしくは検査対象物を移動させ、移動させながら得られた時系列の映像から、使用したカメラの画素分解能よりも高い画素分解能の画像を作成し、使用したカメラとほぼ同様のサンプリング速度により画像を出力し表示することができる検査装置を提供する。
【解決手段】高精細画像作成装置により作成した高精細画像と局所カメラから出力された画像とを比較して高精細画像の復元度を求め、この復元度に基づいて高精細画像作成装置を制御することにより、この高精細画像作成装置により作成される高精細画像を制御する画像比較装置５ｂと、高精細画像作成装置により作成した高精細画像を表示する表示装置５ｆと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高次局所自己相関特徴を用いて異常の有無と共にその位置を高い精度で検出できる高速かつ汎用的な異常領域検出装置を提供すること。
【解決手段】異常領域検出装置は、画像データから画素毎に高次局所自己相関によって特徴データを抽出する手段、画素毎に、その画素を含む所定の範囲の画素群について特徴データを加算する手段、正常領域を示す部分空間に対する特徴データの異常さを示す指標を計算する手段、指標に基づき異常判定する手段、異常と判定した画素位置を出力する手段とを備える。変位幅の異なる複数の高次局所自己相関特徴データを抽出してもよい。更に、特徴データから主成分分析手法により主成分ベクトルに基づく正常領域を示す部分空間を求める手段を備えていてもよい。画素対応に異常判定が可能であり、異常領域の位置を正確に検出可能である。 （もっと読む）

【課題】自動車の車体のような検査対象物の形状及び色彩に関する表面状態を同時に検査できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１の表面を主走査方向に走査するラインセンサ１２を有し、画像データを出力するカメラ３と、主走査方向と直交する副走査方向にカメラ３と検査対象物１を相対的に移動させる副走査装置と、被検査対象物１の表面の主走査領域Ｌをそれぞれ異なる照明角度で照明するように配置された複数の光源５Ａ、５Ｂ、５Ｃ及び５Ｄを含む照明装置４と、光源を切り替えて選択的に点灯させる光源駆動装置７，８と、光源のそれぞれの点灯毎に、カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して検査対象物の表面状態を示す処理結果を出力する演算処理装置１５と、光源のそれぞれの点灯に対応する処理結果を個別に表示する表示装置１６を有する。 （もっと読む）

【課題】色むらの有無を正しく判断し得る色むら検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査対象物の検査面を撮像し、撮像した画像データから検査面における三次元形状を求めて、三次元形状から任意の断面の形状の変化Ａを求め、画像データからこの断面部分での表面の色の変化Ｂを求めて、形状変化Ａと色の変化Ｂについて、その変曲度合の類似性を評価して、形状変化Ａを同じように色が変化している部分（イ）は色むらとせず、形状変化Ａと類似性が無く色が変化している部分（ロ）は、色むらと判断する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、中空糸膜モジュールの不通糸欠陥の有無およびその発生の程度を中空糸膜モジュールを劣化させることなく非接触の方法によって判断することが可能であり、良否の判定を正確に行うことができる方法およびその装置を提供することにある。
【解決手段】
中空糸膜モジュールのポッティング端面に平面型光源による光を照射し、前記端面からの反射光を撮像し、前記撮像によって得られた画像と予め定めるモデル画像との相関をとって中空部分が空洞状態の中空糸膜を検出し、前記検出により確認された前記中空糸膜の本数が、予め定める中空糸膜本数閾値を下回る場合は、中空糸膜モジュールを不良品と判定することを特徴とする中空糸膜モジュールの検査方法。 （もっと読む）

本発明は、ウエハの特性を決定するための方法とシステムに関する。一つの方法は、検査システムを用い、ウエハからの光に対応する出力を生成することを含む。出力は、ウエハ上の欠陥に対応する第一出力と、欠陥に対応しない第二出力とを含む。また本方法は、第二出力を用い、ウエハの特性を決定することを含む。一つのシステムは、ウエハに光を当て、ウエハからの光に対応する出力を生成するように設定された検査サブシステムを備える。出力は、欠陥に対応する第一出力と、欠陥に対応しない第二出力を含む。また本システムは、第二出力を用い、ウエハの特性を決定するように設定されたプロセッサを備える。
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【課題】 目視検査時に欠陥情報を表示し、オペレータの判定のばらつきを少なくする基板の欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】 複数の基板について作成された欠陥履歴データから検索条件に合致するものを読み込んで、この中から２つずつの欠陥位置の重なりを比較し、重なる領域が存在する場合には、その領域を重なり数ｌ＝１の重なり情報データとして記録し、以降は、全ての欠陥履歴データについて重なり情報データを作成し、さらに欠陥履歴データと重なり情報データとの間の欠陥の重なり合い比較し、重なる領域について、重なり数を１つ加算した重なり情報データを作成する。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応する各画素同士の画素値の差分を検出して、この差分が検出閾値を超えるとき画素部分を欠陥として検出する画像欠陥検査装置及び方法において、比較する２画像に明度差がある場合の疑似欠陥の発生を低減する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、本発明では対比される２画像の差画像とこれら２画像のうちの少なくとも一方との間の相関値を算出する相関値算出手段（２０）を備えて構成し、この相関値の増加に応じて欠陥の検出を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 要処理画像データ量を格段に減少せしめ、下水道管等の内部欠陥の検出・判別をリアルタイムで行い得る管渠内部の欠陥・判別方法、装置を提供すること。
【解決手段】 ａ．管内走行装置に搭載され、魚眼レンズを装着した撮像装置で管内画像を取得するステップ ｂ．管継ぎ目部に注目してエッジ抽出を行った後、管継ぎ目部の管軸方向前後に亘る領域の画像切り出しを、予め用意したマスクによって関心領域外の画像をマスクした後に行うステップ ｃ．該切り出された画像を分割し、分割された各部の輝度変換を行い、平均画像と各部の個別画像との相関を演算算出し、一定の閾値以下の相関を示した画像箇所部に欠陥ありと判別するステップからなる管渠内部の欠陥・判別方法およびそのための装置。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録媒体表面の１０ｎｍ以下の突起の検出およびそれらの分布の把握を可能とする磁気記録媒体の表面品質評価方法を提供する。
【手段】 潤滑剤層を有する磁気記録媒体を回転させ、回転している前記磁気記録媒体の表面に圧接テープを圧接し、前記圧接テープを磁気記録媒体の外周部と内周部との間を往復摺動させる表面処理して、磁気記録媒体表面の突起部に潤滑剤を移動集積させ、２００〜８００ｎｍのレーザ光を用いる光学式測定装置により磁気記録媒体表面を観察する。 （もっと読む）

【課題】印刷物の欠陥検出を高精度で行うことが可能な検査装置等を提供する。
【解決手段】検査対象（印刷物等）に、複数の絵柄が配置されている。検査装置１は検査対象画像を小領域に分割し、１つの小領域画像を指定し、当該小領域画像と相関の高い類似小領域画像を抽出する。検査装置１は小領域画像と類似小領域画像を更に分割し、分割した領域についてサブピクセル単位で相関係数の高い領域画像を再抽出する。相関係数の高い分割小領域画像の補正量の平均値を用いて、相関係数の低い分割小領域画像の位置補正を行う。検査装置１は補正後の分割小領域画像について、基準となる領域との差異から、欠陥（汚れ、欠け）を抽出する。本検査装置１は、絵柄を有する検査対象の欠陥を、高精度で検査することが可能である。 （もっと読む）

本発明は、航空機の構造体パネル（５）の表面の形状の異常箇所（６）を測定する方法に関するものであり、その方法は、その構造体パネル（５）の表面のその異常箇所（６）の箇所に目標となる模様を投影し、投影したこの目標模様の少なくとも二つの画像を取得し、そのような二つの画像を立体的相関関係で処理して、異常箇所の測定を行なうというものである。本発明は、また、その方法を実行するためのシステムにも関するものであり、そのシステムは、その構造体パネル（５）の表面の異常箇所（６）の箇所に目標模様を投影するのに適した投影装置（３）と、その目標模様の画像一つをそれぞれ撮影するのに適した少なくとも二つの撮影装置（２ａ，２ｂ）と、その目標模様のそのような画像を処理する手段とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】平均検出率を向上させ、又はＤＯＩ検出率を高める一方でノイズ検出率を抑制することが出来る欠陥検査条件を容易に決定する。
【解決手段】検査装置から出力される欠陥・画像情報と、観察装置から出力されるADR・ADC情報とをデータ処理装置上で突き合わせをし、一覧表示させると共に、そのデータを用いて欠陥特徴量と平均検出率の関係や、レビューカテゴリごとにその欠陥特徴量と検出数を示す。 （もっと読む）