【課題】周期未定の周期性ノイズか又は繰返しパターンのある画像でこれら以外の部分のコントラストが低い場合における欠陥抽出を、従来の欠点を排除し、高速に実行することが可能な欠陥検査方法を提供すること
【解決手段】Ｘ方向およびＹ方向各々に対して得られた、検査対象画素ラインと近傍にある画素ラインまたは繰返しパターンの周期分離れた位置にある画素ラインとの濃度差分画素ラインから、Ｘ方向濃度差分画像とＹ方向濃度差分画像を得て、各画素に対する濃度差分値によって定義される欠陥強度と欠陥方向を使用して欠陥候補を抽出し、その結果に対して領域分割と分割領域に対する濃度統計量によって欠陥候補存在領域を絞り込み、欠陥の連続性判定により欠陥を抽出する。 （もっと読む）

【課題】 迅速、且つ、誤差の少ない結晶化度検査装置及び結晶化度検査方法を提供する。
【解決手段】 結晶化度検査装置１００は、ペットボトル２００の口部２０２の結晶化度を検査するものであって、口部２０２の色を検出して色情報を生成する色検出センサ１０２、１０４及び色情報生成部１０６と、色情報生成部１０６によって生成された色情報基づいて、要り情報の値と結晶化度との対応関係を表す結晶化度テーブルを検索して、口部２０２の結晶化度を判定する結晶化度判定部１１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】
多数の最適候補条件の下でそれぞれ検査を行うと全体の処理時間が長くなる。そこで、多数の最適候補条件のうち、検査に適するものを選んで最適条件とすることが望まれている。そのために、まず、画像を順位つけした後分類を行うことが考えられているが、適切な分類方法はいまのところ提案されていない。
【解決手段】
請求項１に係る発明は、表面検査装置の装置条件を順次変更し、被検物体の画像データを順次、取り込み、複数の画像データを記憶し、前記複数の画像データに所定の処理を施して前記画像データの順位つけをすると共に、前記複数の画像データの特徴量をそれぞれ抽出して、その特徴量に基づいて前記複数の画像データを分類し、その結果、画像データのうち順位の高いものを、各分類毎の候補画像データとして、各分類毎の候補画像データを取得した際の装置条件を最終的な装置条件に設定する。 （もっと読む）

【課題】 半田印刷工程と並行して半田材の劣化度を短時間で判断する半田材劣化度判断装置を提供する。
【解決手段】 半田材１の表面に検査光を照射する照明部２０と、半田材１の表面を撮像する撮像部３０と、撮像部３０によって撮像された撮像画像に基づいて半田材１の劣化度を判断する劣化度判断部４２とを備える。上記の構成では、照明部２０が半田材１の表面に検査光を照射し、撮像部３０が半田材１の表面を撮像する。そして、上記撮像画像に基づいて、劣化度判断部４２が半田材１の劣化度を判断する。そのため、短時間で簡単に半田材の劣化度を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】照度変化の影響を受けず、しわのような細かく、かつ不規則な不良を検出でき、印刷物の影響を受けないＰＴＰシール検査装置を提供すること。
【解決手段】表面に印刷部分の存在するＰＴＰシートに光を照射する光源１４と、ＰＴＰシートから反射する反射光のうち赤外線光を選択的に撮像するカメラ１１，１２と、カメラ１１，１２が撮像した映像データを演算することにより、ＰＴＰシートのシール不良を検出するシール不良判断プログラム２２とを有している。 （もっと読む）

【課題】良品と判定されるべき被検査物の表面状態が複数種類存在する場合に容易でかつ正確な欠陥検出を行うことができる欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】検査対象である被検査物の表面状態を撮像した前記被検査物の画像情報を処理することで被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置において、モード判定手段１０３は、被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、標準周波数情報記憶手段に記憶された表面モードごとの標準周波数情報とを対比することによって、被検査物が表面モードのいずれに該当するかを判定し、欠陥画像生成手段１０４は、検査周波数情報と、モード判定手段で判定された表面モードに対応する標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成し、欠陥判定手段１０５は、欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置のアライメントにおける、線列パターンを用いたテンプレートマッチングにおいて、より精度よく線列パターンの位置検出を行う。
【解決手段】
相関法を用いたテンプレートマッチングにより、線列パターンを含む領域の画像を得る。当該画像から投影波形を求め、投影波形から線列パターンの位置を求める。例えば、線列パターンを含む画像について、線方向に投影した投影波形を取得し、投影波形の微分処理によりエッジを求め、最外位置にある両側のエッジのペアの中点を線列パターンの位置とする。 （もっと読む）

【課題】基準板の汚れに影響を受けることなく安定的に正確な品位判別が行える穀粒品位判別装置を提供する。
【解決手段】米粒搬送用の溝には明度の異なる基準板を配設し、調整部においては、光学検出部が撮像した基準板の測定画像と初期画像から相関係数を演算し、該相関係数が所定の条件を満たしたときには基準板に濃い汚れ部分なしとして当該調整部による光量調整又は補正係数演算による調整を行う。一方、前記条件を満たさないときには、該条件を満たすようになるまで前記基準板の濃い汚れた部分と推定される画素データを測定画像及び初期画像から削除して相関係数の演算を行い前記調整が行われる。これにより、基準板における濃く汚れた部分の有無チェック及び濃い汚れ部分の除外が行われるので調整部による調整が正確となり、品位判別も安定的かつ正確となる。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応部分のグレイレベル差を検出し、この分布に基づき閾値を自動設定し、これら閾値とグレイレベル差とを比較し、グレイレベル差が閾値より大きい場合に欠陥であると判定する画像欠陥検査方法及び装置において、グレイレベル差の分布が通常の分布と異なる場合、閾値を補正することにより、疑似欠陥の発生を抑えつつ高い検出感度を実現すること可能とする。
【解決手段】 ２画像の対応部分のグレイレベル差の累積頻度を算出し（S103）、仮定した所定の分布で、累積頻度がグレイレベル差に対してリニアな関係になるように変換して変換累積頻度を算出し（S104）、グレイレベル差が正及び負である各領域で近似直線を算出し（S105）、各近似直線同士の傾きの差が所定値より大きいとき（S106）、傾きの小さい方の近似直線をその傾きが増大するよう補正し（S107）、この近似直線に基づいて所定の累積頻度の値から所定の算出方法に従って閾値を決定する。 （もっと読む）

【課題】 薄鋼板や、厚鋼板の移動表面の凹凸キズと汚れとの識別能力を向上させた表面検査装置、及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 検査領域Ａに光を照射する照明手段３と、表面５からの反射光を受光する受光手段１及び第２の受光手段２と、受光手段１及び受光手段２からの画像信号に基づいて、凹凸キズと汚れとを識別処理する画像処理手段７とを有し、画像処理手段７は、受光手段１からの第１の画像と受光手段２からの第２の画像との画像の位置ずれを、いずれかを一方の元画像の位置に補正して補正画像とし、この補正画像と元画像との差を求める座標変換処理部７ｂと、差分から凹凸キズの候補領域を抽出する凹凸候補抽出処理部７ｃと、候補領域について元画像と補正画像との相関値を求める正規化相関演算部７ｄと、相関値の大小から凹凸キズと汚れを識別する凹凸判定部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート表面の汚れや照明条件などによってひび割れの検出が困難な場合においても、簡易に高精度のひび割れ検出をおこなうことのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】 対比される２つの濃度に対応したウェーブレット係数を算定するとともに、該２つの濃度をそれぞれ変化させた場合のそれぞれのウェーブレット係数を算定してウェーブレット係数テーブルを作成し、ひび割れ検出対象であるコンクリート表面を撮影した入力画像をウェーブレット変換することによってウェーブレット画像を作成する工程と、前記ウェーブレット係数テーブル内において、局所領域内の近傍画素の平均濃度と注目画素の濃度に対応するウェーブレット係数を閾値として、注目画素のウェーブレット係数と該閾値とを比較することによりひび割れ領域とひび割れでない領域を判定する工程とからなるひび割れ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】 疵候補の未検出や過剰検出あるいは単発疵によるノイズが多い場合であっても、高精度で周期疵の有無を判定することができる帯状体や柱状体の周期疵検出方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】 移動する帯状体や柱状体の表面を撮像し、撮像画像を画像処理して周期疵を検出する帯状体や柱状体の周期疵検出方法において、撮像画像から帯状体や柱状体の長手方向に間隔をおいて現れる複数の疵候補を抽出し、長手方向位置ｘにおける疵候補画像Ｆ（ｘ）と長手方向位置をτずらしたときの疵候補画像Ｆ（ｘ＋τ）との相関を画像の類似度で演算し、さらに長手方向に関して前記類似度の総和を求め、τを変化させて前記類似度の総和を比較して、周期疵を検出することを特徴とする帯状体や柱状体の周期疵検出方法。 （もっと読む）

コンピュータに実装された方法が、各種、提供されている。レティクルの設計パターンにおける欠陥をソートするための一つの方法は、個々の欠陥と関連付けられる優先順位情報を、個々の欠陥に近接する領域の一つまたはそれ以上の特性との組合せで用いて、検査データにおける興味ある欠陥をサーチする工程を含んでいる。優先順位情報は、個々の欠陥と関連付けられる変調レベルに対応する。検査データは、リソグラフィック変数の異なる値に対して生成されたレティクルの画像同士を比較することによって生成される。画像は、少なくとも一つの参照画像および少なくとも一つの変調された画像を含んでいる。複合参照画像が、二つまたはそれ以上の参照画像から生成され得る。該方法はまた、一つまたはそれ以上の識別子を興味ある欠陥に割り付ける工程を含んでいる。識別子（複数も可）は、例えば、欠陥分類および（または）興味ある欠陥をさらなる処理に使用すべきかどうかを識別するインジケータを含んでいてよい。
（もっと読む）

【課題】
検査装置から出力された欠陥座標の誤差を補正し、欠陥レビュー装置における欠陥探索用の視野サイズ及びファインアライメント用の欠陥を容易に選定することができる方法及び装置を提供する。
【解決手段】
校正用基板の欠陥の位置座標を絶対座標と呼び、検査装置によって検出した校正用基板の欠陥の位置座標を検査座標と呼ぶ。絶対座標に対する検査座標の偏差が検査座標に含まれる誤差である。検査座標より、「傾向を持つ誤差」を除去すると、検査座標には、「傾向を持たない誤差」が残る。傾向を持たない誤差に基づいて、欠陥レビュー装置における欠陥探索用の視野サイズを設定する。更に、検査装置によって検出した校正用基板の欠陥サイズの検出値の傾向に基づいて、ファインアライメント用の欠陥を選定する。 （もっと読む）

【課題】 誤判定が少なく、迅速な判定が可能な電子部品の実装検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】 本発明においては本発明において検査エリアＲ２を撮影して得られた輝度分布が正規分布に近似しているかどうかによって電子部品の裏取付け判定が行われる。具体的には、検査エリアＲ２を撮影して得られた輝度分布から平均値ｕと分散値σ²を算出し、これらを満足するような正規分布の関数として確率密度関数ｆ_iする。そして、確率密度関数ｆ_iと元の輝度分布の分布傾向との相関係数ｒを算出し、この相関係数ｒの大小によって電子部品の裏取付け判定を行うことができる。従って、予め不良品や良品の輝度分布のティーチング等を行うことなく、正確な判定を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】高精度な欠陥候補の種別の判定を容易に行う。
【解決手段】パターン検査装置の演算部５０は、被検査画像と参照画像とを比較して被検査画像中の欠陥候補領域を示す２値の欠陥候補画像を生成する欠陥候補画像生成部５１１を有し、被検査画像マスク部５２１により欠陥候補画像を用いて被検査画像がマスクされる。特徴抽出部５３１ではマスク後の被検査画像から自己相関特徴量が求められ、判定部５４に出力される。判定部５４は自己相関特徴量が入力されることにより判定結果を出力する判定器５４１、および、学習により判定器５４１を構築する判定器構築部５４２を有する。これにより、幾何学的特徴量や濃淡を示す特徴量に比べて特徴付けが困難となる自己相関特徴量を利用した高精度な欠陥候補の種別の判定が容易に実現される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プリンタ基板からの反射光を取り込んだ画像データを用いて正確な良否判定を行うことができ、良否判定の基準となる基準データの作成を短時間で行うことができるはんだ付け外観検査装置およびはんだ付け外観検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 投影データ作成部１２は、パット４と接続端子２１とのはんだ付け部の画像データをパット４の幅方向に投影処理した検査対象投影データを作成し、演算部１４は、検査対象投影データと基準投影データ記憶部１３に記憶されている基準投影データとを比較し、判定部１５は、検査対象投影データと基準投影データとの比較結果に基づいてはんだ付け状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 従来技術では、欠陥検査対象部品の表面の近似合同模様による輝度変化レベルより輝度変化レベルの小さい欠陥を検出できなかった。
【解決手段】 本発明は、撮像装置（ラインセンサーカメラ２）で撮像された単一画像中の画素毎の輝度データを記憶する輝度データ記憶手段２２と、単一画像中において隣接する複数の画素で構成され互いに構成画素の一部が重複する複数の小領域を設定する小領域設定手段２４と、小領域の特徴として小領域を構成する複数の画素の輝度データの総和値を演算する小領域特徴演算手段２５と、小領域特徴データ記憶手段２５Ａと、相互相関係数演算手段２６と、相互相関係数データ記憶手段２７と、データ出力制御手段（表示制御手段３７）とを備え、小領域設定手段２４が、単一画像中に含まれる近似合同模様の繰り返しの複数個入る大きさの小領域を単一画像の一方向に所定画素ずつ移動させながら設定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熟練者による光学素子の光散乱計測の検査を数値化によって定量化することにより検査を容易化する方法及び手段を提供する。
【解決手段】本発明による光学素子評価方法は、光源から光学素子の表面に非垂直方向にレーザを照射し、光学素子の表面からの散乱光の画像をデジタルカメラで撮像し、デジタルカメラからの画像信号の２次元高速フーリエスペクトル及び２次元パワースペクトルを得て、該２次元パワースペクトルを基に光学素子性能を評価する。 （もっと読む）

ウェブ上の異常領域の識別を第１の時間および場所で行うことが可能であるとともに、実際の欠陥の定位およびマーキングが第２の時間および場所で可能であるウェブ（３０）の特徴付けのためのシステム（２０）。
（もっと読む）