【課題】
プリント配線基板等、特に光透過型電子基板の欠陥を、基板のずれを気にせずに光学的処理により高精度、迅速、かつ、自動的に検出することができる形状欠陥等の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】
可干渉性レーザ光源、可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズと、そのレンズの前方に設置された検査物体の回転を抑えるためのガイド溝を通して搬送する検査物体の導入手段または検査物体形状写出手段と、前記レンズの光軸中心の後焦点面または光軸中心の後焦点面付近に設置された形状識別手段としての光差分または排他的論理和を行う光学フィルタ(光差分フィルタまたは光相関フィルタ)を含む光差分器や光相関器と、光学フィルタを前焦点面として設置された逆フーリエ変換レンズと、逆フーリエ変換レンズからの画像を撮り込む電子カメラ、とで構成される画像の差異や画像欠陥を検査する方法および装置。 （もっと読む）

【課題】 診断対象を変質させない非破壊検査で診断できて、現場で簡便に実施でき、かつ劣化度を高精度に定量的に評価できるようにする。
【解決手段】 原画像のデータを処理し、防水シートの劣化に伴って現れる要素として定められた画像の複数種類の特徴量抽出する。この抽出した各種類の特徴量を、重回帰分析によって解析し、防水シートの破断時の伸び率の保持率である残存品質を求める。画像処理では、クラック領域と非クラック領域とに２値化処理によって領域分割する。前記複数種類の特徴量として、クラックの大きさに係る特徴量である、クラック領域の占める面積比率、距離変換で得る平均幅を用い、さらに局所的最大値による特徴量、および隣接ピクセルを比較することによって得られる特徴量を用いる。 （もっと読む）

【課題】計測した光学検出器の光電子増倍係数を基に計算した補正印加電圧を用いて光学検出器を駆動して補正値を検査することにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】表面検査装置において、個々の光学検出器８ａ〜８ｃの光電子増倍係数を計測し、計測した光電子増倍係数を基に制御部１１が補正印加電圧を計算する。表面検査装置に組み込まれた検出器８ａ〜８ｃのそれぞれについて、計算した補正印加電圧を用いて光学検出器８ａ〜８ｃを駆動して補正値を検査する。これにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】空間フィルタ設定の効率を向上可能であり、かつ空間フィルタ設定の自動化が可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】可変視野絞り８１を絞り、観察カメラ８８を用いて空間フィルタ面の画像を取得し、回折光の輝点の輝度レベルによって複数のグループに分類する。輝度レベルの最も高いグループを遮光するように空間フィルタを設定し、観察画像を取得する。取得した画像に繰り返しパターンが残っているかを判定し、残っていると判定した場合には、空間フィルタ４５の設定を変更する。先に遮光したグループに加え、次に輝度レベルの高いグループも遮光できるように空間フィルタを設定し、繰り返しパターンが残っていないと判断されるまで同じ手順を繰り返し、空間フィルタ４５の設定を終了する。 （もっと読む）

【課題】対象物に形成された検査対象画像の画像形成状態の検査精度を向上させることが可能な画像形成状態検査方法、画像形成状態検査装置及び画像形成状態検査用プログラムを提供する。
【解決手段】印字状態検査方法は、飲料容器に印字された数字を撮像する撮像ステップと、該数字の撮像パターンをテンプレートと照合して撮像パターンのテンプレートに対する第１の一致度を算出する第１算出ステップと、該算出された第１の一致度が第１の閾値以上であるか否かを判定する第１判定ステップと、第１の一致度が第１の閾値以上である場合に、撮像パターンを、テンプレートを上下２つに分割した各分割テンプレートと、対応する部分においてそれぞれ照合して撮像パターンの各分割テンプレートに対する第２の一致度をそれぞれ算出する第２算出ステップと、該算出された各第２の一致度が第２の閾値以上であるか否かをそれぞれ判定する第２判定ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プリンタ基板からの反射光を取り込んだ画像データを用いて正確な良否判定を行うことができ、良否判定の基準となる基準データの作成を短時間で行うことができるはんだ付け外観検査装置およびはんだ付け外観検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 投影データ作成部１２は、パット４と接続端子２１とのはんだ付け部の画像データをパット４の幅方向に投影処理した検査対象投影データを作成し、演算部１４は、検査対象投影データと基準投影データ記憶部１３に記憶されている基準投影データとを比較し、判定部１５は、検査対象投影データと基準投影データとの比較結果に基づいてはんだ付け状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フォトマスクの特性を検出することができるフォトマスクの特性検出装置およびフォトマスクの特性検出方法を提供する。
【解決手段】被検出体に形成されたパターンの光学像に基づいて検出データを作成する検出データ作成部と、前記パターンに関する参照データを作成する参照データ作成部と、特性の検出対象となるパターンに対応する参照パターンと、前記参照パターンの位置情報と、を前記参照データから抽出する抽出部と、前記参照パターンに基づいて特性を検出する領域を設定するとともに、前記位置情報に基づいて前記検出データから前記特性の検出対象となるパターンを抽出する第１の領域設定部と、前記特性を検出する領域における前記特性の検出対象となるパターンの特性を受光面上に結像された光学像を光電変換することで検出する検出部と、前記検出された特性を集計する集計部と、を備えたことを特徴とするフォトマスクの特性検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】目視によるブレードの確認が容易になる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像とテンプレート画像とを比較する。続いて、ＣＰＵ３４ｃは、ブレード画像の中から、画像比較の結果に基づいて一部のブレード画像を選択する。モニタ２２は、テンプレート画像と、選択されたブレード画像とを表示する。 （もっと読む）

【課題】ブレードを撮像した画像におけるブレードの領域を検出することができる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像から、テンプレート画像に対して所定のフレーム数だけ離れた参照画像を抽出する。ＣＰＵ３４ｃは、テンプレート画像と参照画像との差分を抽出し、その差分に基づいてブレード領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査性能が安定したパターン欠陥検査装置を実現すること。
【解決手段】複数の構成ユニットを有し試料面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、一部または全部の構成ユニットの経時変化や故障をモニタリングするモニタリングする手段とモニタリングした結果をユーザに通知する手段を備える。また、補正が可能であるユニットに関しては、補正を行う手段を備える。また、故障した部品を、装置内に用意しておいた予備部品と交換する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象パターン画像と基準パターンとの比較検査を実時間で行うこと等である。
【解決手段】検査対象パターン画像と前記検査対象パターンを製造するために使用するデータを用いて検査対象パターンを検査するパターン検査装置であって、前記データから線分もしくは曲線で表現された基準パターンを生成する基準パターン生成手段と、前記検査対象パターン画像を生成する検査対象パターン画像生成手段と、前記検査対象パターン画像のエッジを検出するエッジ検出手段と、前記検査対象パターン画像のエッジと前記基準パターンの前記線分もしくは曲線とを比較することにより、前記検査対象パターンを検査する検査手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく判定する表面検査方法を提供する。
【解決手段】偏光子７及び対物レンズ９を含み、ウェハ１０の表面を照明する照明光学系２１と、ウェハ１０の表面からの反射光を、対物レンズ９を介して集光し、偏光子７とクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を結像する検出光学系２２と、瞳面の像を検出する第１の撮像素子１７と、を有する表面検査装置１００による表面検査方法は、第１の基準像を取得する第１のステップと、検査像を取得する第２のステップと、第２の基準像を取得する第３のステップと、第１及び第２の基準像の階調値の差を求め、当該差が所定値を越えたときに、検査像の階調値を補正する第４のステップと、補正後の検査像及び第１若しくは第２の基準像の階調値を用いてウェハ１０の欠陥を検出する第５のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】試料上で注目領域に存在する目的物質を高い信頼度で同定する。
【解決手段】測定者は可視光による試料の表面観察画像を画面上で確認し、注目領域を選択指示する（Ｓ４）。すると、注目領域に含まれる測定点において測定された赤外吸収スペクトルに現れる吸収ピークが抽出され（Ｓ５）、吸収ピーク毎にそのピークが観測される測定点の２次元分布が取得される（Ｓ６）。そのあと、各ピークの２次元分布毎に注目領域との分布の相関係数が計算される（Ｓ７）。そして、注目領域内の各測定点における赤外吸収スペクトル中の各吸収ピークに対し相関係数に応じた重み付けを行った上で、該スペクトルと既知物質のスペクトルとのマッチングを実施して、各測定点に存在する物質を同定する（Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】
賞味期限・消費期限などの日付の印字や製造番号・ロット番号などの印字は商業印刷で90％以上を占める黒色の印字色と可視光域の環境下での印字検査が行われており、依然として印字のもれやかすれなどの印字異常や不良を検知するには不十分である。また、出荷製品の包装の素材・色・形の多種多様化と製造工程の自動化機械の高速化も印字異常を検知しないまま見落としてしまう原因となっている。
【解決手段】
印字色に黒色以外の分光上の特性がある青、緑、赤、紫などのインクを用いて、印字色と包装色との間の反射率の差、透過率の差が最大の波長帯もしくはそれに準ずる波長帯やその他の効果的な波長帯を特定することにより、最適な明暗差・輝度差が得られる波長の照明を照射して印字異常の検知を確実にする。 （もっと読む）

【課題】不規則なパターンが存在する場合でも、そのパターンの影響を受けずに欠陥を検出することができる欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、画像入力工程ＳＴ１と、検査データ抽出工程ＳＴ２と、比較データ抽出工程ＳＴ３と、背景パターン方向算出工程ＳＴ４と、欠陥検出工程ＳＴ５とを備える。背景パターン方向算出工程ＳＴ４は、検査データおよび各比較データの比較を、各比較データを前記走査方向に移動しながら行い、その比較結果に基づいて撮像画像の背景パターン方向を算出する。また、欠陥検出工程ＳＴ５は、検査データおよび各比較データにおいて前記背景パターン方向に位置するデータの差分を求め、その差分値に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】被写体を撮像して得られる計測画像に対して予め設定されたモデル画像に基づくマッチング処理を行なう画像処理装置に対して、最適なモデル画像をより迅速かつ容易に取得できるモデル画像取得支援装置、モデル画像取得支援方法およびモデル画像取得支援プログラムを提供する。
【解決手段】モデルとなり得る被写体を撮像することで得られた参照画像からモデル画像の候補となる複数のモデル画像候補が抽出される。抽出された複数のモデル画像に従うマッチング処理を、上述の視覚センサが実際に取得した計測画像に対して実行することで、それぞれの試行結果を得る。それぞれのモデル画像に従うマッチング処理の試行結果をそれぞれ評価することで、評価結果が生成される。このような評価結果に基づいて、最適なモデル画像が決定される。 （もっと読む）

【課題】ウェーブレット係数や輝度情報などを用いて、空間分解能以下のひび割れ幅を精度よく、しかも高い確証のもとに推定し、もって実際のひび割れ幅を特定することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成する第一工程と、ひび割れ抽出画像を作成する第二工程と、該ひび割れ幅を目的変数とし、かつ、複数の説明変数から形成されるひび割れ幅の推定式を重回帰分析から規定し、該推定式に基づいてひび割れ幅を特定する第三工程と、からなるひび割れ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】パターンの形状を高精度で測定可能な検査方法を提供する。
【解決手段】この検査方法は、ホール径が既知の基準パターンを有する基準ウェハの表面に、三原色の波長を含む照明光を照射するステップ（ステップＳ１０２）と、照明光が照射された基準パターンからの光を受光するとともに、当該光を受光した光学系の瞳面の像を検出するステップ（ステップＳ１０３）と、前のステップで検出した瞳面の像における三原色のうち二色（ＲおよびＧ）に関する輝度情報および、基準パターンのホール径のデータから、二色（ＲおよびＧ）に関する輝度情報と基準パターンのホール径との相関を示す近似曲面の式を求めるステップ（ステップＳ１０６）と、求めた近似曲面の式を用いて検査対象ウェハの検査を行うステップ（ステップＳ１０７〜Ｓ１１０）とを有している。 （もっと読む）

【課題】容易な調整作業によって複数の撮像装置で同じ波長帯の光を受光できる光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置を提供する。
【解決手段】薄膜に対して光を照射することによって、当該薄膜の上面および下面でそれぞれ反射する反射光の干渉による像の一部を少なくとも含む第１領域を撮像する。また、第１領域と重複する重複領域を有し、当該重複領域に上記像の一部が少なくとも含まれる第２領域を撮像する。薄膜に照射されてその反射光がそれぞれ撮像されるまでの光路上に第１光学フィルタおよび第２光学フィルタをそれぞれ配置して、特定の波長帯の光を透過させる。それぞれ撮像された重複領域の像を用いて、第１光学フィルタの透過波長帯と第２光学フィルタの透過波長帯との相対的な関係を示すパラメータを算出する。算出されたパラメータに基づいて、第１光学フィルタおよび第２光学フィルタの少なくとも一方の光路に対する傾きを変更する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の個体差に影響されずに精度良く被検査体の表面を検査できる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】中心点を基準として点対称に形成される複数のボス２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを有する被検査体２を撮像して被検査体画像３を取得する撮像手段１１と、被検査体画像３からボス２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄが写った複数の部位画像３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを切り出し、切り出された複数の部位画像のうちの一枚を基準画像として、基準画像と他の残りの部位画像との間で一つずつパターンマッチングを行う画像処理手段１５と、パターンマッチングの結果、基準画像とある特定の部位画像との相関が他の部位画像との相関よりも所定の閾値だけ低い場合または基準画像と他のすべての部位画像との相関が所定の閾値よりも低い場合には被検査体に欠陥が存在すると判定する判定手段１６と、を有する。 （もっと読む）