【目的】ノイズの影響による誤検出を抑制し、フォトマスク上のゴミ等の異物を高感度で検出するフォトマスク検査方法を提供する。
【構成】異なる層構造を有する領域を表面に備えるフォトマスクの画像データを取得し、この領域の階調値データから画像データを引き算して反転画像データを作成し、反転画像データの画素値を一定量底上げした底上げ反転画像データを作成し、底上げ反転画像データと底上げしたガウシアン分布型カーネルとの正規化相関を取ることにより正規化相関画像データを作成し、正規化相関画像データと所定の閾値との比較により異物を検出することを特徴とするフォトマスク検査方法。 （もっと読む）

【課題】表面欠陥の検査に際し、目視による検査結果に近い結果を得ることができる表面欠陥の検査方法、検査装置、鋼板の製造方法、及び製造装置を提供する。
【解決手段】被検査面に照明を投光し、被検査面を撮像することにより該被検査面の表面欠陥を検査する方法であって、撮像により得られた画像を縦横に並列される複数の画素に分割し、全ての画素のそれぞれについて色差を算出することにより表面欠陥の検出するものであり、色差は、対象画素を含む領域の明度、及び該対象画素から所定距離離隔した領域の明度からのみ算出される色差であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
表面検査装置では、より粒径の小さいＰＳＬを使用することで、より小さい欠陥を検査することが可能となる。しかし、ＰＳＬの粒径は、有限である。このことから、従来の表面検査装置では、近い将来に半導体製造工程の検査で必要となるＰＳＬに設定の無いほど小さい粒径の欠陥をどのように検査するかということに関しては配慮がなされていなかった。
【解決手段】
本発明は、被検査物体で散乱，回折、または反射された光の、波長，光量，光量の時間変化、および偏光の少なくとも１つを模擬した光を発生する光源装置を有し、前記光を表面検査装置の光検出器に入射させる
【効果】
より微小な欠陥を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 複数の受光器を備えた異物検査装置において、異物のみを正確にかつ漏れなく検査可能とする。
【解決手段】
本発明の異物検査装置は、被検物の表面に投光された光の表面における散乱光を受光する第１及び第２の受光器が出力する信号の強度分布に基づいて異物の有無を判定する制御器を備える。前記制御器は、第１の受光器の仮の第１走査開始位置に対する第２の受光器の仮の第２走査開始位置の位置関係を変更しながら異物検査を複数回行わせ、複数回の異物検査のそれぞれについて、第１の受光器が出力する信号の強度分布と第２の受光器が出力する信号の強度分布との重なり度合いを算出し、重なり度合いが最大である仮の第１走査開始位置と仮の第２走査開始位置との位置関係に基づいて、被検物の表面を検査するための第１及び第２の受光器それぞれの走査開始位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】 びびりマークの高低差は、研削痕の高低差に比べて微小である。このため、赤外線による像ゆがみを観察する方法等では、研削痕による像のゆがみと、びびりマークによる像のゆがみとを区別することが困難である。
【解決手段】 第１の方向に研削された被研削面を有する研削物を準備する。第１の方向と、被研削面の法線とに平行な仮想平面の一方の側に赤外線光源を配置し、他方の側に赤外線検出器を配置する。赤外線光源によって照射され、被研削面で回折された回折光を、赤外線検出器で検出する。 （もっと読む）

【課題】アライメンに使用するテンプレート画像を最適な方法で登録し、パターンマッチングのエラー、及び評価に要する時間を低減する。
【解決手段】最適なテンプレートのアライメントマークとの選定や識別及び類比判断を、異物検査装置に配備した相関値の演算機能により実践する。すなわち、異物検査装置に、被検査物の表面に形成されるアライメントマークの特徴点を登録する装置と、前記被検査物の表面上に形成されたアライメントマークの画像データを採取する装置と、前記画像データから特徴点を抽出し双方の特徴点より相関値を算出するデータ演算処理装置とを備え、前記相関値の閾値に基いて前記アライメントマークの画像データを登録する。 （もっと読む）

【課題】画像記録媒体に形成された画像の欠陥画素を高精度に検出すると共に、的確に欠陥画素を把握することができる画像欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】画像記録媒体にテストパターン画像として出力されたテストパターン画像データを被検査画像データとして取得し、前記テストパターン画像データにおける所定領域に属する画素群と前記被検査画像データにおける前記所定領域に対応する領域に属する画素群との相関値を算出し、前記相関値が所定の閾値以下である際に前記所定の領域に属する画素を欠陥画素として判定し、前記被検査画像データを表示装置に表示する画素を正常画素と識別可能に表示する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置において、膜厚の違いやパターン幅のばらつきなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度な欠陥検査を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成されたパターンの画像を比較して不一致部を欠陥と判定する欠陥検査装置を複数の光学条件の対応する領域の画像の特徴量を特徴空間にプロットし、特徴空間上のはずれ値を欠陥として検出。これにより、ウェハ内の画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても各種の欠陥を高感度に検出できるようにした。また、これらの画像処理部のシステム構成を、画像の分割，タスクの生成を行うタスク管理部とからなり、タスクに応じて並列もしくは時系列に欠陥判定処理を行う構成とすることにより，高速な欠陥検査を行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】欠陥の発生周期が変わっても用いることができ、また、最終圧延ロールだけでなく異なる径の複数のロールで発生する周期性欠陥を高精度で判定することができる帯状体等の周期性欠陥検出装置及びその方法を提供する。
【解決手段】センサ４と、領域長さが領域より短い小領域を複数、周期性欠陥の並び方向に、隣り合う距離間隔がすべて等しくなるように離して、位置を決定し、それら複数の小領域の位置に対応した信号をセンサ出力から選択する小領域選択手段（７２、７４）と、小領域選択手段で選択した複数の信号間で、信号パターン相互の類似性の評価指数を算出する評価指数算出手段７６と、小領域の位置と距離間隔を変更して、小領域選択手段と評価指数算出手段の演算処理を繰り返す設定値変更手段（７３、７５）と、評価指数が予め設定された値より高い場合に、距離間隔を周期と判定する周期判定手段７７とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターンマッチングによる複数種類の組付部品の合否判定に共通に使用でき、かつ信頼性の高い合否判定ができるマスター画像の選択を可能とする。
【解決手段】１つの種類の撮影画像（組付部品）のグループにおける各撮影画像の相関値を算出してその相関値の平均値Ｘ、分散値σｘ及び相関値の最下限値Ｘｍｉｎ（＝Ｘ−３＊σｘ）を算出し、他の種類の部品グループ対しても同様に相関値の平均値Ｙ、分散値σｙを算出し、また最上限値Ｙｍａｘ（＝Ｙ−３＊σｙ）を算出する。そして、各々最下限値Ｘｍｉｎと最上限値Ｙｍａｘとの差（＝Ｘｍｉｎ−Ｙｍａｘ）を算出し、その差が最大となるときの画像をマスター画像に選択するようにした。最下限値Ｘｍｉｎと最上限値Ｙｍａｘの算出に３σの考え方を導入して組付部品のばらつきが考慮された信頼性の高い合否判定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 処理を高速に行うことが可能な欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基準画像の画像データを１画素分ずつアドレス順に抽出する基準画像対象画素抽出部１３を備える。検査画像の画像データの中から、基準画像画素抽出部１３により抽出される画像データと対応するアドレスの画像データ、並びに、その周囲の画像データを抽出する検査画像対象画素群抽出部１４を備える。検査画像対象画素群抽出部１４により一度に抽出される各画像データと１対１で対応する画素比較部２１〜２９と、画素比較部２１〜２９と１対１で対応する二値化データメモリ群３１〜３９を備える。各二値化データメモリ群３１〜３９に記憶された二値化データを集計する二値値集計部８５と、二値値集計部８５による集計結果に応じて、二値化データメモリ群３１〜３９のうちの何れか１つを選択する選択部８６を備える。検査画像における欠陥を検出する良否判定部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の崩れを精度よく検出可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ステージ２０を用いて設定した複数の設定角度において、照明系３０が繰り返しパターンを有するウェハ１０の表面に直線偏光を照射するとともに、受光系４０がウェハ１０からの正反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出し、画像処理部５０は、複数の前記設定角度毎に検出された偏光成分の光量と設定角度との相関から、パターン形状の崩れを検出するようになっている。 （もっと読む）

【課題】ディスク表面に発生する線状，円弧状欠陥に対して、周期的に発生する線状，円弧状欠陥と、孤立に発生する線状，円弧状欠陥とを分類して検出する。
【解決手段】ディスク表面を送光系（101、102）により投光し、その正反射光、散乱光を受光系（102、103、104、105、202）によって受光し、その信号に対して２次元周波数フィルタ処理(4013)により欠陥の顕在化を行う。次に、線状，円弧状欠陥の特徴量である，欠陥幅，長さ等のパラメータにより欠陥判定処理(4015)を行い、線状，孤立欠陥候補を抽出する。次に、周期性特徴量である、欠陥の発生方向，欠陥同士の間隔，発生座標等のパラメータにより周期性判定処理(4016)を行うことによって、周期的に発生する線状，円弧状欠陥と、孤立に発生する線状，円弧状欠陥とを分類して検出する。 （もっと読む）

【課題】簡便にかつ迅速に、より高精度にボイラ等の火炉壁管等の前記亀裂の前記亀裂深さを評価するようにした寿命評価方法を提供する。
【解決手段】検査対象の表面の亀裂長さ分布、亀裂幅分布、亀裂面積比の何れか一つ又はこれらの組合せからなる亀裂評価項目を画像処理により測定し、予め設定された前記亀裂評価項目と亀裂深さの相関関係に基づいて前記測定された亀裂評価項目から亀裂深さを推定する寿命評価方法において、前記相関関係は、予め前記亀裂評価項目と亀裂深さの関係式として複数設定されており、前記検査対象の使用環境、温度条件等を含む環境因子に基づいて前記複数の関係式から選択された関係式を用いて、前記亀裂の表面を撮影した撮影画像から画像処理により検出された前記亀裂評価項目から前記亀裂深さを推定するようにした。 （もっと読む）

【課題】リフロー後のハンダの三次元形状を正確に測定することは難しい。
【解決手段】走査ヘッド１６は、基板１の検査面に投光する落射照明源と、基板１からの反射光を検知するラインセンサ３４を有し、このラインセンサ３４の走査により被検査体の検査面全体の画像を取得する。画像メモリ４４は、走査ヘッド１６により取得された基板１の検査面全体の画像を検査画像として格納する。ハンダ情報記憶部４５は、検査面上のハンダの撮像画像の明度とハンダ面の傾斜角度の相関関係を示す相関マップ６４を記憶する。傾斜角度算出部６１は、相関マップ６４を参照することにより、画像メモリ４４に格納された検査画像４１のハンダ撮像領域の明度から検査面上のハンダ面の傾斜角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法でブレードの画像を取得することができる画像処理装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたタービンブレードを撮像した複数の画像と、予め用意されたテンプレート画像とを比較する。ＣＰＵ３４ｃは、タービンブレードを撮像した複数の画像の中から、画像比較の結果に基づいて一部の画像を選択する。選択されたタービンブレードの画像はメモリカード５０内の保存用フォルダに保存される。 （もっと読む）

【課題】異なる板厚を持つ複数枚の板材をレーザーで溶接する場合でも溶着状態をリアルタイムでかつ正確に検出することができる溶着状態検出方法を提供する。
【解決手段】板厚の異なる複数枚の板材を準備しＳ１、準備した複数枚の板材を少なくとも一部が重なるように固定しＳ２、固定した複数枚の板材が重なる部分に向けてレーザー光を照射しＳ３、前記レーザー光を移動させＳ４、レーザー照射部に形成されるキーホールが反射したレーザー光を受光しＳ５、受光したレーザー光の強度波形に基づいて前記板材の溶着状態を検出するＳ６。 （もっと読む）

【課題】被検査体の周期性パターンにおけるムラの有無を容易に判定し、擬似欠陥をスジ状ムラ欠陥として判定しないこと。
【解決手段】周期性パターンを有する被検査体のスジ状ムラを検出するための欠陥検査方法であって、
被検査体に光源からの光を照射することで生じる回折光の強度分布の取得を複数の照明角度で行い、各照明角度における回折光の強度分布を検査画像として取得し、
取得された被検査体への照明角度が異なる複数枚の検査画像に対し、照明角度の異なる複数の検査画像を比較し、前記被検査体への照射角度に応じて位置が変化するスジ状ムラと変化しないスジ状ムラとを抽出し、その変化するスジ状ムラを検査の際に欠陥としない擬似欠陥とし、その変化しないスジ状ムラを検査の際に欠陥として選別し、
欠陥として選別されたスジ状ムラに対し、それぞれの輝度と面積に基づいて欠陥規模の評価を行う欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの周期性パターンを有する製品において、製品に影響を与えるムラを安定的、高精度に検出できる検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体のパターン形状を測定する測定工程と、測定工程により得られた測定データを基に、エラー種類に応じて分類されたエラー特性データを作成する工程と、測定工程において測定した被検査体の測定領域を、撮像機能を有する検査装置によって撮像条件を任意の変数で変化させて撮像する撮像工程と、撮像工程において撮像した画像データを基に、被検査体の被検査体特徴データを作成する工程と、特性データと、被検査体特徴データとを比較することで、エラー種類と検査条件との相関を求め、得点付けする工程と、得点付けする工程から、所定の検査条件を決定する工程と、を有し、この検査条件に従って被検査体を検査する。 （もっと読む）

【課題】画像解析装置を使用して官能評価の結果と相関性の高い客観的なデータを得ることができるパン類の評価方法を提供すること。
【解決手段】画像解析装置を使用したスポンジ状の内相を有するベーカリー食品の内相評価方法であって、内相が現れるように切断したパン類の内相中央部分を測定範囲とし、前記測定範囲内の内相表面の穴を画像解析装置により少なくとも面積が２０Ｋピクセル以上の穴を認識できる測定条件で測定し、前記穴の個数を面積の大きさにより区分した範囲ごとに求め、その個数に評価係数を乗じた値を合計したパラメータ（Ｆ１）を使用することを特徴とするスポンジ状の内相を有するベーカリー食品の内相評価方法。 （もっと読む）