粒子の生産速度、及び個体から生産された粒子の粒径の範囲を測定する方法及び装置について記述する。装置（１０）は、マウスピース（１２）、フィルタ（１４）、低抵抗一方向弁（１６）、粒子カウンター（２０）とコンピュータ（３０）を含む。任意で、装置は、ガス流量計（２２）も含む。装置を用いて得られるデータは、粒子放出を減らすための製剤が必要かどうか決定するのに使用できる。クリーンルームの基準が維持されることを確実とするために、この装置は、特にクリーンルームの入場の前及び／又は後で使用する。装置は、エアロゾールをより放出する動物及びヒト（「過剰生産者」、「スーパー生産者」または「スーパー拡散者」とも呼ぶ）を特定するのに使用できる。
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【課題】例えば半導体ウェハのプロセス処理工程が行なわれるクリーンルームなどの空気清浄度モニタリング方法及びこれに用いる空気清浄度モニタリング装置を提供する。
【解決手段】クリーンルームと空気環境を異にする隔離部１１内に設けられ、供給される純水を隔離部１１内の空気と接触可能に貯留する水槽１７ａに、貯留した純水が隔離部１１内の空気と非接触となるように被覆部材１７ｃを被覆して、水槽１７ａに純水を供給しつつ越流させることにより被覆部材１７ｃの被覆前に貯留した純水を被覆部材の被覆後に供給した純水で置換するとともに、クリーンルームの空気を隔離部１１内に導入し隔離部１１内をクリーンルームの空気環境と同一にした段階で、被覆部材１７ｃを取り外し、水槽１７ａに貯留した純水に隔離部１１内の空気を接触させつつ純水の清浄度の変化を捉えることによって、クリーンルームの空気清浄度を評価する。 （もっと読む）

【課題】製造環境の気体モニタリングシステムにおいて、クリーンルーム環境または装置内に存在する気体の中で特定の基板表面に選択的に付着する成分を一定周期で検出し、その中で基板の透過率を低下させる成分を効率的にモニタリングする気体モニタリングシステムの提供。
【解決手段】製造環境の気体の中で、特定の基板表面に付着する成分を収集する成分収集手段と、収集された成分を少なくとも定性及び定量分析する分析手段と、該分析結果に基づいてモニタリング項目におけるシミュレーションを行うシミュレーション手段と、を有し、前記シミュレーション手段のモニタリング項目が、特定波長における分析物質の光吸収スペクトル及び分光特性の算出する気体モニタリングシステムを具備する装置、及び該装置を用いて、付着する成分中で基板の透過率を低下させる成分をモニタリングする気体モニタリングシステム。 （もっと読む）

【課題】 ホウ素化合物をサンプリングするに際して希酸性溶液を用いることなく、クリーンルーム内空間のホウ素化合物による汚染状態を簡便に評価する方法を提供すること。
【解決手段】 クリーンルーム内空間ガスを、セルロース製パウダーを充填したカラムまたはセルロース製メンブレンフィルタを装着した濾過器に、通気することにより、該空間ガスに含まれるホウ素化合物を該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタに吸着させ、次いで、吸着されたホウ素化合物を、該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタから脱離させ、脱離したホウ素化合物を分析することを特徴とするクリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】試料から放散される極性化合物の評価において高感度、且つ高精度な評価装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】収納容器２をガラス状カーボン製とし、収納容器２内に試料１を設置し、これにキャリアガスを導入し、収納容器２からキャリアガスを排出し、排出ガス中の試料１から放散された極性化合物を測定する。次に、試料１を収納容器２から取り出し、収納容器２を加熱して容器内面に吸着している残留極性化合物を放出してこれを測定する。この方法によれば、試料１から放散される極性化合物の高感度且つ高精度な測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】極めて低い濃度の不純物まで定量することでき、かつ分析操作中に外部からの汚染を少なくして測定精度を高めることができ、しかも簡単な操作で実施できる水中成分定量用サンプリング装置、およびサンプリング方法を提供する。
【解決手段】水中成分定量用サンプリング装置は、水主配管から分岐されたサンプリングラインに流量調整バルブ、マニホールドを接続し、マニホールドの下流側には、少なくとも一つの流量調整器と複数の固相抽出カートリッジ、さらに必要によりフィルターホルダーが接続される。固相抽出カートリッジには、陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂、あるいはキレート機能のある樹脂が充填され、フィルターホルダーにはフィルターが取付けられる。サンプリング方法は、この装置に水を流して水中の特定成分を濃縮固定させることにある。 （もっと読む）