【課題】 定置型プローブによる渦流探傷装置において、共振コイルを用いて精度の高い検査を実現することを課題とする。
【解決手段】 渦流深傷用プローブ装置において、互いに平行に配列された、発生する磁界が同相となる一対のプローブコイルと、前記一対のプローブコイルを２辺とし、これらのプローブコイルのインピーダンスが一致しない場合に検出信号を発生するブリッジ回路と、前記一対のプローブコイルの間にこれらと平行で、かつ、ブリッジ回路が検出信号を発生しない状態において、前記プローブコイルから生じる磁界が相殺される位置に配列される共振コイルと、前記共振コイルに接続される共振回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ナノスケールの保磁力分布を画像化可能な保磁力分布解析法並びにその解析装置を提供するにある。
【解決手段】 保磁力分布解析装置では、垂直磁気記録可能な磁性薄膜を備える試料に略垂直に磁界が印加され、試料が平面移動されながら、試料表面の磁区から発生される漏れ磁束に応じて磁束検出信号が発生される。試料の平均的磁化に対応するヒステリシス特性から選定された第１及び第２の閾値に対応する第１及び第２の外部磁界が試料に印加されて第１及び第２の磁区画像データが生成さる。この第１及び第２の画像データが第１及び第２の閾値で２値化処理され、その差分が第１の保磁力分布パターンとして生成される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 複数工程の基板プロセス内で基板上の金属層を測定するシステムおよび方法は、金属層の形成や金属層の少なくとも一部の除去など、基板上の金属層を修正する工程を備える。少なくとも１つのセンサが、基板の表面から所定の距離に配置される。基板の表面上における金属層の均一性を判定するために、基板の表面がマッピングされる。
（もっと読む）