【課題】検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、光を受け取り、電気信号を生成するように具現化され、光入射面を備える光センサを有し、冷却要素を有する検出装置に関する。本発明によれば、冷却要素が、光センサの光入射面において、光センサと、および／または光センサを担持する基板と直接接触する。 （もっと読む）

【課題】検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、光を受け取り、電気信号を発生するように具現化され、筐体を有し、この筐体内に配置された検出器と、筐体内に配置された冷却要素を有する検出装置に関する。本発明によれば、冷却要素が検出器を筐体に関して電気的に絶縁するか、または冷却要素が検出器を筐体に関して電気的に絶縁する絶縁体の少なくとも一部であるようになされている。 （もっと読む）

【課題】検出装置を提供する。
【解決手段】光を受け取り、電気信号を生成するように設計され、筐体と、その中に構成された検出器を有する検出装置。これは、冷却要素が筐体内に構成されるように、および冷却要素を通って延びる光路が、検出対象の光のために画定されるように、および／または熱伝導性と電気絶縁性とを有する中間素子として設計される冷却要素が筐体内に構成されるように、および／または検出器の光センサ、特に光電陰極と直接接触する、および／または光センサ、特に光電陰極を担持する（特に透明な）基板と直接接触する冷却要素が筐体内に構成されるようにされてもよい。 （もっと読む）

【課題】光子計数装置およびその方法を提供する。
【解決手段】光子計数装置１０は検出器ユニット１２と切替ユニット３０とサンプリングユニットと直並列変換ユニットと評価ユニットを有し、切替ユニットには検出器ユニットにより生成された検出信号２６が衝突し、サンプリングユニットは切替ユニットにより生成された状態信号３２をサンプリングし、直列サンプリングデータを生成する。直並列変換器ユニットはサンプリングデータをサンプリングデータパケットにグループ分けし、評価ユニットはサンプリング頻度を下回る所定の動作サイクルタイムで動作し、動作サイクル時間により決定される各クロックサイクル内にそれぞれのサンプリングデータパケットのうちの少なくとも１つのｎビット２進値を評価して部分的カウンタ計数結果を特定し、個々のクロックサイクル内に特定された部分的カウンタ計数結果を加算して検出光子数を示す全体的カウンタ計数結果を得る。 （もっと読む）

【課題】 極低温を安定に維持しつつシステムを小型化し、しかも高い光子検出精度を得ることができる超伝導単一光子検出システムおよび超伝導単一光子検出方法を提供する。
【解決手段】 超伝導単一光子検出器２１〜２４と超伝導単一磁束量子回路３０との間は交流信号伝送経路によって接続され、超伝導単一光子検出器２１〜２４にバイアス電流を供給するバイアス電流経路５１〜５４は、交流信号伝送経路に高インピーダンス素子６１〜６４を介して接続され、高インピーダンス素子６１〜６４は、高周波におけるインピーダンスが超伝導単一磁束量子回路３０の負荷抵抗素子Ｒｒのインピーダンスより高いよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】光検出の装置および方法を提供する。
【解決手段】特に顕微鏡、分光計またはカメラ用の光検出装置は、複数の単一光子アバランシェダイオード（ＳＰＡＤ）のアレイで構成される少なくとも１つのシリコン光電子増倍管（ＳｉＰＭ）を含み、このアレイは面積が入射光より大きく、特定の最低強度の光が当たるＳＰＡＤだけがアクティブ化され、および／または分析される。この装置を利用する方法。 （もっと読む）

【課題】各々の光出射部の光量が異なり、かつ微弱な光量を安定して得ることができる複数の光出射部を備えた光量安定化光源装置を提供すること。
【解決手段】ＬＥＤ２６Ｇから出射された光束をピンホール２８で絞り、光源部１６で積分し、更に出射ポート３２、及び拡散透過部材４４を介して分岐光出射部１８内で更に積分する。ＬＥＤ２６Ｇの光量は受光センサ３０でモニタされているので、安定した光量が得られる。分岐光出射部１８に形成した複数の発光窓４６Ｂ〜発光窓４６Ｅの内側に透過率の異なる第１の光量減衰フィルター４８〜第４の光量減衰フィルター５４が貼り付けられており、発光窓４６Ａから出射される光の光量に対して、各発光窓４６Ｂから出射される光の光量が略１／１０づつ異なるように設定されている。これにより、各々発光窓において、各々の光量が異なり、かつ微弱な光量を安定して得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高強度の高エネルギー放射光の束の断面におけるパラメータの空間分解測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、高エネルギー、高強度放射光のビーム束の断面全体にわたって測定データを空間的に取得する方法および装置に関する。高強度のビーム束の断面内で、検出器の飽和または劣化による測定精度の低下を発生させることなく、高空間分解測定データを取得する放射光測定の新しい可能性を見出すという目的は、本発明によれば、ビーム束（２）の全断面（２１）が遮蔽要素（３）上に結像され、断面（２１）が、少なくとも１つの開口部（３１）の移動を通じて、断面積が小さく、強度が弱い部分ビーム束（２２）へと連続的に分離され、開口部（３１）を通過する部分ビーム束（２２）の測定値が、時間的および空間的に開口部（３１）の位置に関連付けられるように取得され、記憶されることにより達成される。 （もっと読む）

【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】検出器の両端に必要とされるバイアスを増大させずに単一光子による信号の存在を強調するため、従来より高い周波数で動作させることができる光子検出システム。
【解決手段】単一光子を検出するように構成された光子検出器５１と、光子検出器の出力信号を、第１の部分が第２の部分と実質的に同一である第１の部分と第２の部分とに分配する信号分配器５５と、第２の部分を第１の部分に対して遅延させる遅延手段５６と、信号の第１の部分と遅延させた第２の部分とを、遅延させた第２の部分が出力信号の第１の部分における周期的変動を打ち消すために使用されるように合成する合成器６１とを備える光子検出システム。 （もっと読む）

【解決手段】光子検出器 光子検出システムはアバランシェフォトダイオードを具備し、アバランシェフォトダイオードは、第１導電型を有する第１半導体層と第２導電型を有する第２半導体層とから形成されたｐｎ接合を具備し、第１導電型はｎ型またはｐ型から選択され、第２導電型は第１導電型とは異なりかつｎ型またはｐ型から選択され、第１半導体層は第１導電型のドーパントでドープされるドープ層であり、低い場の複数ゾーンに囲まれた高い場の複数ゾーンの複数のアイランドを第１層が具備するように、第１導電型のドーパントの濃度に変化があり、高いおよび低い場の複数ゾーンは、ｐｎ接合の平面で横方向に分布していて、ドーパント濃度は、高い場の複数ゾーンでは低い場の複数ゾーンよりも高く、前記システムは、さらにバイアス部を具備し、前記バイアス部は、時間に関して静的である電圧、および時間変動する電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】
光量を検出する光量検出装置において、微弱光量から強光量まで広いダイナミックレンジで測定できる光量検出技術を提供する。
【解決手段】
光量検出装置において、フォトンカウント型光検出器の検出信号をＡ／Ｄ変換する。Ａ／Ｄ変換された検出信号が、予め設定したしきい値以上の場合にはそのまま後段の光子数算出回路に検出信号を送り、しきい値以下の場合には、あらかじめ設定された基準値を後段に送るしきい値処理をおこなう。光子数算出回路では、光量測定が終了するまで取得した検出信号波形の面積から、フォトンカウント型光検出器に入射した光子数あるいは光量を求める。 （もっと読む）

【課題】アバランシフォトダイオード（ＡＰＤ）の出力に乗る周期的雑音を除去するために従来用いていた差動アンプ等を不要とし、差動アンプ等の代わりに、スタブと呼ばれる単純な線路を用いることによって同様の機能を実現することにより、回路のコストダウンを図るとともに、多段化を容易にして、スタブを連ねることによって、雑音除去の効果をいくらでも強めることを可能にする。
【解決手段】アバランシフォトダイオード（ＡＰＤ）１に周期的なバイアス電圧を印加することにより駆動される単一光子検出器であって、ＡＰＤ１に伝送路３を介して接続され、バイアス電圧Ｖ（ｔ）６に起因して出力信号に加わる周期的な雑音を除去するスタブ型の帯域除去フィルタを備えている。このスタブ型の帯域除去フィルタは、同軸ケーブルまたはプリント基板上のパターンから構成される電気的な線路（スタブ４）から構成される。 （もっと読む）

【課題】ＡＰＤを用いる光強度測定方法において、ＡＰＤの暗電流の影響が大きい極めて小さな入力光強度を精度よく測定する。
【解決手段】この光強度測定方法は、ＡＰＤ１１が受けた入力光の強度を測定する方法であって、複数の周囲温度下でのＡＰＤ１１の暗電流量を測定する第１ステップと、入力光をＡＰＤ１１に入射させ、ＡＰＤ１１の出力電流量を測定する第２ステップと、第２ステップのときの周囲温度に対応する暗電流量を出力電流量から減算した値を求めることにより、入力光の強度を得る第３ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】検出された光子数を判定できるように構成された光子検出システムの提供。
【解決手段】検出システムは、アバランシェフォトダイオード５１と、照明においてアバランシェによる信号がシステムの飽和値よりも小さいようにフォトダイオードの両端にバイアスを印加する手段と、アバランシェ信号の大きさを測定する手段と、を具備するようにしている。 （もっと読む）

【課題】単一光子検出器が被る１つの問題は、単一光子の検出により出力される信号は弱いことが多く、検出器出力の他のアーチファクトと区別するのが困難な場合がある。
【解決手段】単一光子を検出するように構成された光子検出器（ＡＰＤ５１）と、光子検出器の出力信号を、第１の部分が第２の部分と実質的に同一である第１の部分と第２の部分とに分周する信号分周器（電力分配器５５）と、第２の部分を第１の部分に対して遅延させる遅延手段（遅延線５６）と、信号の第１の部分と遅延させた第２の部分とを、遅延させた第２の部分が出力信号の第１の部分における周期的変動を打ち消すために使用されるように合成する合成器（ハイブリッド結合器６１）とを備える光子検出システム。 （もっと読む）

【課題】微弱な光パルスであっても、光増幅器を使用することなく、高い時間分解能で光パルスを検出することができる時間ゲート付き光検出装置およびこれを用いた多点計測システムを提供する。
【解決手段】時間ゲート付き光検出装置は、所定の変調周波数で光パルスを発生するレーザ光源ＬＡと、レーザ光源ＬＡからの自然放出光の強度を検出するための光検出器ＰＤと、レーザ光源ＬＡからの光パルスと同期した被測定光パルスをレーザ光源ＬＡへ注入するための光カプラＣＰ１と、光パルスと被測定光パルスとの間の時間差を調整するための可動ミラーＭＲと，光パルスと被測定光パルスの偏光状態を揃えるための偏波コントローラなどで構成される。 （もっと読む）

【課題】光検出効率が低いという従来技術における課題を解消し、偏波依存性が小さく、高い光検出効率を有する超伝導光検出素子を提供する。
【解決手段】超伝導光検出素子は、複数のメアンダ（蛇行、雷文、ジクザク）形状の超伝導細線を、結晶基板の表裏、あるいは絶縁膜や接着剤を介して互いに近接かつ細線の方向が互いに直角となるように設置する。この配置構成により、最初のメアンダ細線に直角な偏波を有するため検出されなかった光子は、次のメアンダ細線とは平行な偏波を有するために検出可能となる。すなわち、任意の光子は互いに直角な直線からなる偏波に分解することが可能なため、任意の偏波を有する光子について検出可能となる。また、この配置構成により、偏波による取りこぼしがなくなるため、偏波依存性は小さくなり、光検出効率は従来例に比べて２倍程度向上することができる。 （もっと読む）

【解決手段】光子検出システムは、アバランシェフォトダイオードと、 前記アバランシェフォトダイオードのための電圧源と、を具備し、前記アバランシェフォトダイオードは、シリコンまたはそのヘテロ構造を具備し、前記電圧源は、時間に関して静的な電圧成分と時間と共に変化する電圧成分とで、前記アバランシェフォトダイオードにバイアスをかける。 （もっと読む）

【課題】光電面への入射光量が増えても正確な測定が出来る光量測定装置を提供する。
【解決手段】サンプルからの発光を光電子増倍管により計測する光量測定装置において、前記光電子増倍管の光電面と前記サンプルとの間に透過率が異なる複数の減光部材からなるフィルタユニットを配置し、前記サンプルからの発光を前記減光部材の全てを通過して前記光電面に到達するように前記フィルタユニットを制御し、前記サンプルからの発光を前記減光部材毎に検出し、前記減光部材毎に検出された値の計測可否判断を行い、計測可であれば透過率が一番高い減光部材の検出結果を計測値とする減光率選択手段を備えた光量測定装置。 （もっと読む）