【課題】高密度ポリエチレンからなるキャップを具備したサーモパイル型赤外線検出装置に於いて、赤外線透過性の高密度ポリエチレンからなるキャップ測温用サーミスタをサーモパイル型赤外線検出装置へ具備する為の接着剤固定等の組み込み作業が追加される事により、サーモパイル型赤外線検出装置自身のコストアップにつながっている。
また、キャップ測温用サーミスタの組み込み性からリード線を細くする必要があり、組み込み作業の難易度が高いことからコストアップにつながっている。
【解決手段】キャップと測温用サーミスタの組み込み作業となる接着剤固定を廃止し、リード線を太くする事で、予めリードフォーミングされた測温用サーミスタをキャップ成型時に一体成形する事で測温用サーミスタ付きキャップとしてサーモパイル型赤外線検出装置へ具備する事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】低消費電力化、高感度化を図れる赤外線センサおよび赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】薄膜構造部３ａの赤外線吸収部３３とベース基板１とに跨って形成されたｐ形ポリシリコン層３５、ｎ形ポリシリコン層３４、および赤外線吸収部３３の赤外線入射面側でｐ形ポリシリコン層３５とｎ形ポリシリコン層３４とを電気的に接合した接続部３６で構成される熱電対を有し赤外線吸収部３３とベース基板１との温度差を検出する熱電対型の感温部３０とを備える。ｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４それぞれの不純物濃度が１０^１８〜１０^２０ｃｍ^−３に設定され、ｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４の屈折率をｎ_１、検出対象の赤外線の中心波長をλとするとき、ｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４それぞれの厚さがλ／４ｎ_１である。 （もっと読む）

【課題】赤外線吸収部の薄膜化を図りながらも薄膜構造部の反りを防止することが可能な赤外線センサおよび赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】赤外線吸収部３３の赤外線入射面側に、ｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４の形成時に赤外線吸収部３３を保護し赤外線吸収部３３ｃの反りを抑制する補償ポリシリコン層３９ａ，３９ｂが形成されているので、ｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４の基礎となるノンドープポリシリコン層をエッチングする際のオーバーエッチング時に赤外線吸収部３３がエッチングされて薄くなるのを抑制することができるとともに薄膜構造部３ａの応力バランスの均一性を高めることができ、赤外線吸収部３３の薄膜化を図りながらも薄膜構造部３ａの反りを防止することが可能となり、感度の向上を図れる。 （もっと読む）

【課題】熱型赤外線検出部の薄膜化を図りながらも熱型赤外線検出部の反りを防止することが可能な赤外線センサの製造方法、赤外線センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板１の一表面側における熱型赤外線検出部３の形成予定領域Ａ１に熱絶縁用シリコン酸化膜３１と熱絶縁用シリコン窒化膜３２とからなる熱絶縁層３３を形成した後で、シリコン基板１の上記一表面側におけるＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２にｐ^＋形ウェル領域４１を形成してから、シリコン基板１の上記一表面側に熱酸化によりゲート絶縁膜４５を形成し、その後、熱絶縁層３３上に温度検知部たる熱電対型の感温部３６を形成し、その後、ｎ^＋形ドレイン領域４３およびｎ^＋形ソース領域４４を形成し、その後、シリコン基板１の上記一表面側に層間絶縁膜４９を形成し、層間絶縁膜４９の表面側にパッシベーション膜６０を形成し、その後、シリコン基板１に空洞１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】雰囲気中の測定対象の気体の濃度を精度良く測定することができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】光源７と、光源７からの光を導く気体サンプル室２と、気体サンプル室２から導かれた光源７からの光を受光する赤外線センサ１４及び光源７と赤外線センサ１４との間に予め定めた波長の光のみを透過させる透過部材１５が設けられた受光部４１と、赤外線センサ１４が受光した光源７からの光の強さに基づいて、気体サンプル室２内の二酸化炭素の濃度を算出するμｃｏｍ５と、を備えた濃度測定装置１において、赤外線センサの冷接点に分圧回路２３を接続して所定のバイアス電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】入射赤外線の有効利用と放熱の抑制とにより、高感度の赤外線撮像素子を提供する。
【解決手段】赤外線撮像素子１０は、Ｓｉ基板１１の上に、空間３０を隔てて、絶縁支持膜１７が設けられている。絶縁支持膜１７の上には、配線１９と、絶縁被覆膜２１と、熱吸収膜２２とが形成されている。第１，第２熱電部材２０ａ，２０ｂは、配線１９の両端から、基板上まで延びている。基板上で、第１，第２熱電部材２０ａ，２０ｂの端部は、第１，第２コンタクト１８ａ，１８ｂにそれぞれ接続されている。第１，第２熱電部材２０ａ，２０ｂは、第１，第２電極１２ａ，１２ｂに電気的に接続されている。絶縁支持膜１７等を，１対の熱電部材２０ａ，２０ｂのみで支持することで、熱伝導による放熱を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高性能化が可能な固体真空デバイスを提供する。
【解決手段】シリコン基板１０の一表面側に、第１のポリシリコン層１２に支持された熱型デバイス要素部２０が形成され、熱型デバイス要素部２０を囲む形で真空封止用キャップ部４０が形成されている。真空封止用キャップ部４０は、シリコン基板１０の上記一表面側に形成した第２のポリシリコン層４１の一部を陽極酸化することにより形成された真空封止用多孔質部４２と、真空封止用多孔質部４２に積層されたキャップ層４３とを有し、熱型デバイス要素部２０におけるシリコン基板１０側の第１の空間１５および真空封止用キャップ部４０側の第２の空間３５が真空となっている。第１のポリシリコン層１２の一部を陽極酸化することにより形成された多孔質ポリシリコン部からなり熱型デバイス要素部２０とシリコン基板１０とを熱絶縁する断熱部１３を備えている。 （もっと読む）

【課題】熱型赤外線検出器は、高い検出性能を得るために、高信頼性の真空パッケージ、また、長期真空度保持のためにゲッターの実装などの要求があるため、構造、生産工程が複雑で、部材、生産のコストが高く検出器が高価な物となっている。
【解決手段】赤外線透過用ウインドウ６を有したキャップ５とベース１からなる真空気密パッケージ内に熱型赤外線センサ素子２とゲッター４を実装した赤外線検出器に於いて、赤外線入射開口部を有したキャップ５とベース１をあらかじめ接合しておき、後工程にて赤外線透過ウインドウ６を接合することにより、真空封止性の要求に応え得る構造を持った熱型赤外線検知器の生産工程において真空中での工程を減少させ従来設備の流用を行うことで、簡素化された工程にて作製することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】赤外線を検出し赤外線強度に比例した電流、又は電圧の出力がえられる多素子の赤外線センサ１０１が持つオフセット、又は、オフセットばらつきによる増幅回路の飽和を防止し、高い増幅率を得ることができかつＳ／Ｎを向上させた信号処理装置を提供すること。
【解決手段】赤外線センサ１０１に大きなオフセット、オフセットバラつきがあっても、Ａ／Ｄ変換器１０９、第一メモリ１１４、Ｄ／Ａ変換器１１２、第二メモリ１１４を制御回路１１３で駆使しながらオフセットを除去し、増幅回路を飽和させることなく第一増幅回路１０２、第二増幅回路１０４で増幅を行い、且つ、デジタル値に変換時の量子誤差もなくしたデジタル出力を得る。 （もっと読む）

【課題】複雑・高価な光学系を用いることなく、監視領域について同一の視野範囲を有する赤外線センサおよび撮像センサを備えたセキュリティ監視装置を提供する。
【解決手段】同一筐体内に複数のセンサを備えたセキュリティ監視装置において、該装置に入射される可視光線を感知して該装置の監視領域についての映像信号を生成する撮像センサ１１と、該装置に入射される赤外線を感知して監視領域内に存する熱源を検出する赤外線センサ１２と、入射赤外線を赤外線センサに収束させる反射ミラー１３とを備え、撮像センサを反射ミラー背面の略中央部に設け、反射ミラー前面の略中央部には、可視光線透過用のピンホール１３ａ、および該ピンホールに嵌着された反射ミラーによって定められる視野角と同一の画角を持つレンズ１３ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】特定の波長の赤外線を検出する赤外線センサにおいて、簡単な構造により特定の波長の赤外線を選択的に検出できるようにする。また赤外線センサを用いた二酸化炭素センサを得る。
【解決手段】赤外線センサ１０を、シリコン基板１と、シリコン基板１の片側面に形成されたサーモパイル２とで構成する。サーモパイル２はシリコン基板１側に平面部２１を有し、この平面部２１に接触するシリコン基板１の部分に構造体層１１を形成する。構造体層１１はサーモパイル２の平面部２１側に窪んだ凹部１１ａと、平面部２１と反対側に出っ張った凸部１１ｂとを交互に形成したものとす。凹部１１ａと凸部１１ｂは溝と畝を交互に並べたものとし、凹部１１ａと凸部１１ｂの断面形状は矩形波状とする。一組の凹部１１ａ及び凸部１１ａの１周期の長さを、特定の赤外線の波長とする。凹部１１ａと凸部１１ｂの１周期の長さを４．３μｍとした赤外線センサ１０と。赤外線光源とを、窓部を有するケース内に収容して二酸化炭素センサとする。 （もっと読む）

【課題】シリコン基材を透過窓材として具備したサーモパイル型赤外線検出装置と、赤外線を放射する測温対象物の間に、ガラス等の波長依存性のある透過特性を有した透過材が設置された場合、サーモパイル型赤外線検出装置は透過材を介して検出される測温対象物の温度と、波透過材自身の温度の両方を検出する事になり、測温対象物の検出温度の精度の悪さが課題となっていた。
【解決手段】サーモパイル型赤外線検出装置と、赤外線を放射する測温対象物の間に設置された透過材と同一の透過特性を有する材質及び、設置された透過材と同一の透過特性となる様に、コーティングを施した透過材を、サーモパイル型赤外線検出装置の透過窓材として具備した事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】センサ部の内部抵抗のばらつきに関わらず、センサ出力を精度よく検出することができるセンサ装置を提供する。
【解決手段】検出回路３は、センサ部２のセンサ出力と基準電圧Ｖｒｅｆとの電圧差に応じた電流を出力する電圧電流変換器４と、電圧電流変換器４の出力と回路グランドとの間に接続されたコンデンサＣ１と、リセット信号によって駆動されるスイッチング素子ＳＷ１とを有する。ここで、コンデンサＣ１の両端電圧が検出回路３の出力電圧Ｖｏｕｔとして取り出される。電圧電流変換器４は、センサ部２の出力に接続された第１の入力端Ｉｎ１と、基準電圧Ｖｒｅｆが印加された第２の入力端Ｉｎ２とを具備し、第１および第２の両入力端Ｉｎ１，Ｉｎ２間に生じた電圧差に相当する大きさの電流を出力端Ｔｏから出力する。 （もっと読む）

【課題】高密度のレーザ光を照射する環境下において用いるレーザ光の出力の評価が可能なプロファイル測定装置及びレーザ光のプロファイル測定方法を提供する。
【解決手段】本実施の形態に係る第一のプロファイル測定装置１０−１は、レーザ照射手段１１から照射されるレーザ光１２を受光するように一列に配置された複数の熱吸収体１３と、この熱吸収体１３に接触するように設けられ、熱吸収体１３の温度を測定する熱電対（温度測定部）１４と、この熱電対１４の測定結果に基づいて熱吸収体１３の配列方向における入熱密度分布を検出する検出部１５とを有する。レーザ光１２により加熱された熱吸収体１３の温度上昇分布からレーザ光１２による入熱密度分布を評価し、レーザ光１２の照射強度分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサから離れた領域において高い分解能で温度を検出できる赤外線センサを提供する。
【解決手段】基板と、基板の上に設けられた絶縁膜と、絶縁膜上に、１軸上に配置された第１画素と第２画素とを含み、所定の検出領域の温度を検出する赤外線センサが、それぞれの画素は、絶縁膜の上に設けられた温接点と冷接点を有する熱電対と、熱電対の温接点を覆うように設けられた赤外線吸収膜とを含み、第１画素とその検出領域との間の距離は、第２画素とその検出領域との間の距離より大きく、第１画素の赤外線吸収膜の面積は、第２画素の赤外線吸収膜の面積より小さい。 （もっと読む）

【課題】環境温度変化時に於ける検出温度精度向上の為、ヒートシンクとしてサーモパイル型赤外線検出装置へ具備し熱容量を増加させる目的で熱伝導性の高い材質、アルミニウムあるいは銅等の金属材料を使用し、目的の形状に合わせ加工を施す必要がある事、および、サーモパイル型赤外線検出装置へ具備する為の組み込みの作業性が追加される事により、サーモパイル型赤外線検出装置自身のコストアップの要因となる課題があった。
【解決手段】サーモパイル型赤外線検出装置を格納する樹脂または金属からなるケース及びカバーのサーモパイルセンサ視野範囲の前面ケース開口部へ赤外線吸収率が低い平面シリコンフィルターを、サーモパイル型赤外線検出装置の前面位置に具備する事、及び空気層による断熱により、温度変化時に於ける検出温度精度を向上させた事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ変換回路を組み込みながらも、回路規模の拡大を極力抑えることができるセンサ装置を提供する。
【解決手段】増幅回路３は、センサ部２のセンサ出力に応じた電流を出力する電圧電流変換器５と、電圧電流変換器５の出力に接続されたコンデンサＣ０からなる積分器６と、コンデンサＣ０の両端に生じる出力電圧を基準電圧ＶｒｅｆにリセットするためのリセットスイッチＳＷ０とを有する。ＡＤ変換回路４は、増幅回路３の出力電圧を基準電圧Ｖｒｅｆと比較する比較器７と、基準クロックパルスを発生する発振器８と、比較器７からの出力を受けている間に発振器８から出力される基準クロックパルスをカウントするカウンタ９とを有し、増幅回路３の積分器６およびリセットスイッチＳＷ０を利用して、所謂二重積分型ＡＤ変換器を構成する。 （もっと読む）

【課題】
焦電型赤外線センサは、多数開発され安価に市販されているが、センサ単体での検知距離は１０メートル程度であり、レンズで集光したものでも３０メートル程度の検知距離である。海上、空港、大規模工場などの防犯のためのシステムでは、３０メートル程度の検知距離では、配置するセンサの数が膨大になりすぎるためより長距離を検知できるセンサが求められている。
【解決手段】
現状数百円程度で市販されている、焦電型赤外線センサを使用して、遠方より人間や自動車、船舶のエンジンなどから放射せられる遠赤外線を、効率よく集光し焦点に集める放物面鏡または放物面板（ＢＳアンテナなどに用いられている仕様）で反射集光し、焦電型赤外線センサに遠赤外線を密度濃く入光させ検知する長距離検知方法を提案することにより問題を解決する。 （もっと読む）

【課題】屈曲部において熱流路長が電流路長に比べて短くなることによって信号雑音比が悪化することを抑制する。
【解決手段】梁３を伝導する熱流とｐ型ポリシリコン層６及びｎ型ポリシリコン層７を流れる電流の中心が一致しない屈曲部３ａ，３ｂ，３ｃにおけるｐ型ポリシリコン層６及びｎ型ポリシリコン層７の導電率がその他の部位の導電率より高いので、屈曲部３ａ，３ｂ，３ｃにおいて熱流路長が電流路長に比べて短くなることによって信号雑音比が悪化することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】赤外線撮像装置の赤外線検知部の支持体の支持強度を上げることを目的とする。
【解決手段】シリコン基板の主面上に形成された空洞上にある絶縁部材に搭載された赤外線検知部と、この絶縁部材を空洞上に保持する橋部とを備え、この絶縁部材の断面形状が段差を有するようにした。そのため、絶縁部材の２次断面モーメントを大きくでき、赤外線検知部を支持する支持体として絶縁部材の剛性を上げることができる。この様な構造は振動に強く、監視用等の可搬型に好適な赤外線撮像装置を提供できる。 （もっと読む）