【課題】アンコーティングシリコン平凸レンズによる光学設計が施されたサーモパイル型赤外線検出装置へ、外来ノイズ対策として、アンコーティングシリコン平凸レンズ表面への赤外線透過領域の選択性を有する蒸着コーティングを施す必要があった。しかし、この蒸着コーティングを施す工程はレンズ個別での蒸着コーティングが必要であり、工数ＵＰ、及びレンズ曲面の蒸着コーティングという事もあり歩留まりの影響を受け、コスト面に於いて高騰するという課題があった。
【解決手段】アンコーティングシリコン平凸レンズによる光学設計が施されたサーモパイル型赤外線検出装置へ、赤外線透過領域の選択性を有する平面フィルターを組み合わせることで構成している。又、アンコーティングシリコン平凸レンズにではなく別体として組み合わせる平面フィルターをウエハー状態にて全体を蒸着コーティングする事で効率の良い任意のサイズに切り出しが可能。 （もっと読む）

センサキャップアセンブリ（１０）は、放射線入射開口部（１４）が設けられた放射線遮蔽部（１１，１２）と、外側から遮蔽部に搭載される放射線透過レンズ（１３）とを有する。レンズは、直径（Ｄ）に対する厚さ（Ｔ）の比Ｔ／Ｄが、０．１０を超える、好ましくは０．１５を超える厚いレンズである。
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【課題】梁により受光部と基板との間に中空構造を形成した赤外線検知素子において、外力や残留応力が加わっても梁や受光部の変位を制限可能な赤外線検知素子を提供する。
【解決手段】受光部２を支える屈曲形状の梁３の一部に、受光部２、梁３の変位を制限する形状を形成するためのストッパ部５Ａ，５Ｂとして、第１、第２の屈曲部６，７を、互いの外周部を対面させた状態で隣接した位置に配置する。第１、第２の屈曲部６，７の幅、厚みを梁３の他のどの部位の幅、厚みよりも広く、かつ、厚くする。第１、第２の屈曲部６，７の内周部の形状を丸み形状または面取り形状とする。ストッパ部５Ａ，５Ｂのスリット間隔を他のどの部位の間隔よりも狭くする。ストッパ部５Ａ，５Ｂのスリットの形状を、正対した平面形状または傾斜した斜面形状の面を有する形状とするか、あるいは、少なくとも２以上の複数の方向に折れ曲った面を有する形状とする。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出素子の支持梁の特定部位への応力の集中を緩和して、支持梁への亀裂の発生や支持梁の破壊が起こらないようにする。
【解決手段】基板１から分離された受光部３と、受光部３と基枠２とを接続して受光部３を支持する支持梁４とを備える赤外線検出素子Ａであって、支持梁４の幅方向断面における角部のうち、底部１１側の幅方向における両角部を、曲面形状または面取り形状にして応力緩和部とすることで、支持梁４の底部１１側に位置する角部に集中する応力を応力緩和部により緩和させて、応力の集中による支持梁４への亀裂の発生や支持梁４の破壊が起こらないようにした。 （もっと読む）

【課題】 大きな受光領域の赤外線センサに最適な光学系を構築使用することにより、高速応答性能だけでなく、測定精度及び測定再現性の面で十分に満足のゆく結果が得られ、高速かつ高精度測定を実現できる放射温度計を提供する。
【解決手段】 高速応答のサーモパイル型赤外線センサ１と測定対象物からの赤外光を赤外線センサ１の受光領域に向けて屈折させる赤外線レンズ５との間に、該赤外線レンズ５側ほど漸次広い開口の内周面７ａを有する円錐形状の集光ミラー７をその内周面の狭い開口端が赤外線センサ１の受光領域に接触もしくは極近接する状態に配置している
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【課題】 取付けが容易でありながら、集光ミラーとセンサホルダーの径方向の位置合わせ精度並びに中心軸方向の位置決め精度を高めてＳ／Ｎ比及び測定精度の著しい向上を実現できる放射温度計を提供する。
【解決手段】 集光ミラー７の外周部にその円周方向に等間隔を隔てて、該集光ミラー７の中心に対する径方向及び中心軸方向にそれぞれ弾性変位可能なばね性を有する複数本のアーム１５を設け、これらアーム１５の径方向のばね性により集光ミラー７とセンサホルダー２との中心軸を一致させるとともに、中心軸方向のばね性により集光ミラー７の狭い開口側の端面７ｂを赤外線センサ１の受光面１Ａに密着させて中心軸方向の位置決めを行うように構成されている。
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【課題】 製造コストの低減及び小型化と検知範囲の設計の自由度との両立が可能な赤外光検知器を提供する。
【解決手段】 複数個の検知範囲からの赤外光をそれぞれ集光レンズ３を通じて赤外光検出部１に入射させるように屈折させるプリズム４を設けた。プリズム４は、３個の検知範囲の１個ずつに対応したそれぞれ向きの異なる３種類の屈折面４１ａ〜４１ｃを有する。検知範囲毎に集光レンズ３を設ける場合に比べて製造コストの低減や小型化が可能であり、回折格子を用いる場合に比べて検知範囲の設計の自由度が高い。 （もっと読む）

【課題】残存熱が存在する環境でも人の退出を静止人体と区別して判定する。
【解決手段】人体検知器１は、検知エリアを設定された赤外線検出素子３から出力される温度情報に基づいて人体の存否を判定する処理部５と、処理部５の判定に従った信号を出力する出力部７とを具備する。処理部５は、検知判定手段１３と非検知判定手段１４とを有する。検知判定手段１３は、温度情報に変化があったと判断したときに人体の存在を判定する。非検知判定手段１４は、温度情報が所定範囲内にある変動状態が所定時間継続したときに人体の不在を判定する。出力部７は、検知判定手段１３にて人体の存在が判定された場合に検知信号を出力し、非検知判定手段１４にて人体の不在が判定された場合に非検知信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】熱型赤外線検出部が形成されたセンサ基板とパッケージ用基板との接合工程の歩留まりの向上を図れ、且つ、センサ基板において熱型赤外線検出部と電気接続用金属層とを電気的に接続する引き出し配線の断線を防止できるセンサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサ基板１は、第１の半導体基板１０の主表面側の絶縁層において熱型赤外線検出部１３が形成された第１の領域と第１の電気接続用金属層１９および第１の封止用金属層１８が形成された第２の領域との間に段差が形成されている。熱型赤外線検出部１３と第１の電気接続用金属層１９とを電気的に接続するように絶縁層の表面に沿って形成された引き出し配線１６の膜厚と第１の封止用金属層１８および第１の電気接続用金属層１９の膜厚とが独立して設定されている。 （もっと読む）

本発明は、熱放射検出用デバイスに関し、このデバイスは、熱放射を電気信号に変換するための少なくとも１つの熱検出器要素が上に配置された少なくとも１つの膜と、膜を支持するとともに、電気信号を読み出す少なくとも１つの読出し回路を支持するための少なくとも１つの回路支持体とを含み、検出器要素と読出し回路は、膜を貫通する電気接点によって電気的に一緒に接続される。さらに、以下の方法ステップを用いてこのデバイスを製造する方法が提供される。ａ）検出器要素および少なくとも１つの電気貫通接続部を有する膜を用意するとともに回路支持体を用意し、ｂ）膜と回路支持体を、膜を貫通する電気接点によって検出器要素と読出し回路が電気的に一緒に接続されるようにして一緒にする。製造作業は、ウェハ・レベルで実施されることが好ましく、機能化されたシリコン基板が互いに積み重ねられ、互いに堅固に接合され、次いで個別の要素に分割される。検出器要素は、集電検出器要素を含むことが好ましい。このデバイスには、動き検出器、存在検出器、および熱画像カメラでの応用が見出される。 （もっと読む）

本発明は、熱放射検出用デバイス（１）に関し、このデバイスは、熱放射を電気信号に変換するための少なくとも１つの熱検出器要素（１１１）を有する少なくとも１つの検出器支持体（１１）と、電気信号を読み出すための少なくとも１つの読出し回路（１２１，１２２）付きの少なくとも１つの回路支持体（１２）と、検出器要素を遮蔽するための少なくとも１つのカバー（１３）とを有するスタック（１０）を備え、検出器支持体およびカバーが、検出器支持体の検出器要素とカバーの間に検出器支持体およびカバーと境界を接する第１のスタック空洞（１４）が設けられるように互いに配置され、回路支持体および検出器支持体が、検出器支持体と回路支持体の間に回路支持体および検出器支持体と境界を接する少なくとも１つの第２のスタック空洞（１５）が設けられるように互いに配置され、第１の中空スタック支持体、および／または第２のスタック空洞が排気され、または排気することができる。さらに、このデバイスを製造する方法が提供される。検出器支持体、回路支持体およびカバーは、シリコンでできていることが好ましい。製造作業はウェハ・レベルで行われる。機能化されたシリコン基板が互いに積み重ねられ、一緒になるように堅固に接合され、その後細分される。検出器要素は、集電検出器要素であることが好ましい。このデバイスには動き検出器、存在検出器および熱画像カメラでの応用が見出される。 （もっと読む）

【課題】空気循環を可能として、内部の赤外線センサーの温度を安定させ、測定温度の正確さを確実にすること。
【解決手段】本体、赤外線センサー、熱放散装置により構成し、放散装置は赤外線センサーの後方または下方に設置され、熱放散装置が本体内の空気を導き出したり、外部の空気を導き入れ可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】温度センサユニットの視野角の精度を向上させる。
【解決手段】温度センサユニットにおいて、ヒートシンク３０に対して反射鏡５０が一体化されており、ヒートシンク３０は、回路基板２０に対してＩＲセンサ６０Ａ、６０Ｂの位置を保持する。このため、反射鏡５０に対するＩＲセンサ６０Ａ、６０Ｂの位置の精度のバラツキを抑えることができる。これにより、ＩＲセンサ６０Ａ、６０Ｂの視野角の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサの読出時間が短くても赤外線の受光強度を精度よく検出することを可能にし、かつ周囲温度が変化しても出力値が変動しないようにする。
【解決手段】赤外線センサ１は赤外線の受光光量に応じた出力値を出力する。温度センサ１ａは赤外線センサ１の温度を検出する。演算制御部２は、赤外線センサ１での受光強度が規定の基準強度であるときの赤外線センサの出力値を基準出力値とし基準出力値を時間の２次関数で近似するとともに温度センサ１ａでの検出温度に応じた温度補正係数を用いて補正をして基準出力値を算出する基準出力算出部２４と、赤外線センサ１の駆動開始からの経過時間と温度センサ１ａでの検出温度とに対応して基準出力算出部２４で算出した基準出力値と赤外線センサ１の出力値との差から基準強度に対する受光強度の変化分を算出する受光強度算出部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサの読出時間が短くても赤外線の受光強度を精度よく検出することを可能にする。
【解決手段】赤外線センサ１は赤外線の受光光量に応じた出力値を出力する。演算制御部２は、赤外線センサ１での受光強度が規定の基準強度であるときの赤外線センサの出力値を基準出力値とし基準出力値を時間の２次関数で近似して基準出力値を算出する基準出力算出部２４と、赤外線センサ１の駆動開始からの経過時間と温度センサ１ａでの検出温度とに対応して基準出力算出部２４で算出した基準出力値と赤外線センサ１の出力値との差から基準強度に対する受光強度の変化分を算出する受光強度算出部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】多素子サーモパイルと平凸単レンズの組合せでは、広視野角領域の赤外線を精度よく捉える視野角に限界があり、多素子型サーモパイルモジュールに加え、単素子型サーモパイルモジュールを別途使用する事で広視野角を検出していたが、モジュール間を電気的接続する為のハーネス等が必要となり外来電波Ｎｏｉｓｅ影響、及び、対策部品の追加、スペースの確保が必要であった。
【解決手段】広視野角検出を行う為に同一配線基板上に多素子サーモパイルセンサ、ミラー、及び、平凸単レンズを使用した単素子サーモパイルセンサを１〜１０台搭載し、外来電波Ｎｏｉｓｅ影響を対策し、且つ、高密度ポリエチレンからなる赤外線透過意匠カバーを具備したＡＢＳ樹脂からなるケース、及び、ＡＢＳ樹脂からなるカバーにより１パッケージに格納され、高密度ポリエチレンからなる赤外線透過意匠面カバー部１箇所より広視野角の放射赤外線量を検出する事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】集光部品を光検出素子と効率よく一体化し、簡便で位置合わせの精度が良好で、光検出素子性能を向上させる光学センサを提供する。
【解決手段】光検出素子２の前面にフォトニック結晶立体素子９を一体化して形成し、次いで、フォトニック結晶立体素子に部分的に紫外線を照射して、紫外線を照射した部分の屈折率を変化させることにより、光検出素子の前面にフォトニック結晶レンズ９０を形成する光学センサ。要約するに、光検出素子２の前面に一体化形成したフォトニック結晶レンズ９０を具える光学センサ。 （もっと読む）

【課題】光学フィルターの温度が上昇することを回避して、赤外線強度を検出するときの誤差を少なくすることが可能となる加熱調理器用の赤外線強度検出装置を提供する。
【解決手段】加熱手段にて加熱される調理用容器から放射された赤外線のうちの特定波長域の赤外線を通過させる光学フィルター４１ａ，４１ｂと、その光学フィルター４１ａ，４１ｂを通過した赤外線の強度を検出する赤外線受光手段４２ａ，４２ｂとが赤外線放射方向に間隔を隔てて並ぶ状態で備えられ、特定波長域を含む透過可能波長領域の赤外線の通過を許容する光透過部材Ｔが、調理用容器側に位置して赤外線放射方向に間隔を隔てて光学フィルター４１ａ，４１ｂと並ぶ状態で備えられ、光学フィルター４１ａ，４１ｂが、基材を光透過部材Ｔの透過可能波長領域と同じ透過可能波長領域を備える材質にて形成する状態で特定波長域の赤外線を透過させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】調理用容器として放射率変動型の調理用容器を用いる場合であっても、極力誤差を少なくした状態で調理用容器の温度を検出することが可能となる加熱調理器用の温度検出装置を提供する。
【解決手段】赤外線強度検出手段４０が、放射率変動範囲に設定した第１温度計測用の波長域Ｋ１についての赤外線強度、放射率均平範囲に設定した第１温度計測用の波長域Ｋ１についての赤外線強度、及び、放射率均平範囲に異なる波長域として設定した２種の第２温度計測用の波長域Ｋ２の夫々についての赤外線強度を検出し、２種の第１温度計測用の波長域Ｋ１の夫々について検出される一対の赤外線強度の比に基づいて求めた第１予測温度、２種の第２温度計測用の波長域Ｋ２の夫々について検出される一対の赤外線強度の比に基づいて求めた第２予測温度に基づいて調理用容器の温度を判定する。 （もっと読む）

【課題】 一体型チップ内でアンプ部等の発熱による熱分布（熱の不均一）が発生しないようにしたサーモパイル型赤外線センサ装置を提供する。
【解決手段】 半導体チップ１０に形成されたアレイ状に配列された複数のサーモパイル素子からなるサーモパイル型エリアセンサ１２と、エリアセンサ１２の出力を増幅するアンプ１３と、エリアセンサ１２の周辺部の少なくとも一部に近接して配置形成された熱伝導性金属膜１１とを具備する。半導体チップ内のアンプ部の発熱による熱分布（熱の不均一）が発生したとしても、熱伝導性金属膜によって熱が拡散して行き、半導体チップ内は均一な温度分布になる。これにより、サーモパイルアレイ（サーモパイル型エリアセンサ）部とその出力を増幅するアンプとを同一半導体チップに形成した赤外線センサ装置において、高精度な温度測定が可能となる。 （もっと読む）