【課題】光学部材を透過した投影画像のドット画像の形状をぼけにくくし、光学部材から反射した投影画像及び光学部材を透過した投影画像の各光学特性の各計測を同時にでき、かつ正確なドット画像の計測を行うことができる。
【解決手段】計測対象のプロジェクタ２０から投射された光画像を投影する計測用のスクリーン１１の投影光の波長域での反射率を９０％以上９７％以下とする。計測用のスクリーン１１が透過機能に特化した機能を持つことで生じるドット形状の変形という弊害を排除しつつ、スクリーン１１で反射された投影画像を観察すると同時に、スクリーンの背面側に配置された撮影装置１２によって透過した投影画像を撮影する。 （もっと読む）

【課題】照明の影響を極力抑え、同一像高位置の検査精度を向上させた解像度検査用チャート、及び解像度検査方法を提供する。
【解決手段】横縞パターン２２と縦縞パターン２３とが隣接して設けられ、且つ黒色基準部２４がその間に配置されているので、横縞パターン２２と縦縞パターン２３と黒色基準部２４とを、同じ照明環境下で撮像できるため、検査データのバラツキを抑え、例えば縦解像度と横解像度とを精度良く検査することができる。 （もっと読む）

【課題】遠赤外線用レンズについて高い精度の光学性能検査を行う。
【解決手段】テストチャート１０は、矩形状の測定面１１を有する板状のチャート板１２と、測定面１１に形成されたチャートパターン１５とを備える。チャートパターン１５は、測定面１１の中心１１ｘや、測定面１１の四隅に設けられる。チャートパターン１５は、線状パターン１５ａと、線状パターン１５ａに隣接する地パターン１５ｂとからなる。線状パターン１５ａは、チャート板１２の測定面１１にて、垂直方向に延びるように形成される。チャート板１２の形成材料の遠赤外線の放射率εｂと、線状パターン１５ａの形成材料の遠赤外線の放射率εａとは異なる。テストチャート１０には、チャート板１２と線状パターン１５ａとの温度を調節する温度調節部２０が設けられる。温度調節部２０は、チャート板１２の温度と線状パターン１５ａの温度とを均一にする。 （もっと読む）

【課題】観察範囲外の光軸位置を探して、速やかに光軸合わせを行うことができるチャート板と、それを用いたレンズの検査装置を提案する。
【解決手段】チャート板１０は、透明なガラスからなる円盤１１にセンタリングチャート１２と十字チャート１３〜１５とが描かれている。センタリングチャート１２は、透明部分で形成され中心から周辺に放射状に等角度で延ばされた２０本の一定幅の直線１６と、２０本の直線１６の間に遮光性のある金属膜が蒸着されて形成された２０個の扇形１７とで構成される。十字チャート１３〜１５には、透明部分で形成された十字線１８〜２０と、十字線１８〜２０によってそれぞれ等角度に４等分され遮光性のある金属膜が蒸着された４つの四半円を有する３つの円が形成され、十字線１８〜２０は１８，１９，２０の順で、線幅が広く形成される。 （もっと読む）

【課題】解像力チャートとズームレンズとの距離を短く設定した上で、高精度の検査を行うことができるズームレンズの検査方法を得る。
【解決手段】被検体としてのズームレンズ２により解像力チャート１を結像させて該ズームレンズ２を検査するズームレンズの検査方法において、解像力チャート１と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズ２との間に、１未満の角倍率を有するフロントコンバータ３を配置する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、生産コストが低い吸着治具を提供することである。
【解決手段】本発明に係る吸着治具は、吸引源に連通されてテストオブジェクトを吸着するために用いられる。互いに対向する第一面及び第二面にそれぞれ積載凹部及び吸着凹部が設けられ、前記積載凹部と前記吸着凹部との間に接続孔が設けられ、前記積載凹部、前記吸着凹部及び前記接続孔が同軸上に設けられる吸着部と、前記吸着部の側面に設けられ、且つ前記接続孔に連通する通気孔が設けられる少なくとも１つの接続部と、前記積載凹部に載置されて前記接続孔を密封する透光板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
立体ディスプレイの視域、解像度、歪み、色ムラや輝度ムラを効率良く評価する。
【解決手段】
計測装置が立体映像を観察可能な範囲である視域を計測する第１のステップと、計測装置が立体映像の解像度を計測する第２のステップと、計測装置が立体映像の歪みを計測する第３のステップと、計測装置が立体映像の色ムラまたは輝度を計測する第４のステップと、を備える。第１のステップ、第２のステップ、第３のステップ、第４のステップの順序、または、第１のステップ、第２のステップ、第４のステップ、第３のステップの順序で立体映像を計測する。 （もっと読む）

【課題】レンズの解像度の検査を精度良く行う。
【解決手段】テストチャート１４には解像度を評価するためのチャートパターンが設けられている。チャートパターンの中心部は測定光軸Ls上に位置している。この測定光軸Ls上に被検レンズ１２が位置決めされる。チャートパターンの像は、被検レンズ１２を通して、レチクルプレート１６で結像する。レチクルプレート１６には、測定光軸Lsが通る位置を示すレチクルが付されている。レチクルプレート１６上のチャートパターンの像及びレチクルの像は、投影レンズ１７により拡大されてスクリーン１８に写し出される。スクリーン１８に拡大投影されたチャートパターンの像及びレチクルの像によって、被検レンズ１２の解像度及び偏芯状態が評価される。 （もっと読む）

【課題】 安価で簡易な構成で赤外線レンズの近赤外線領域における結像性能を可視化することにより、赤外線レンズの広範囲な赤外領域における光学系の結像性能を客観的に評価可能な評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 評価装置は光源４と、赤外線光学系評価用の標準パターンが形成されたテストパターン５と、光源光が照射された前記テストパターンのパターン像を結像する赤外線レンズ１０と、結像されたパターン像を検知する画像センサ６とを有する。結像されたパターン像と標準パターンとを比較して赤外線レンズを評価する。パターン像はモニタ７のディスプレイ上に表示される。遠赤外線領域の画像評価は近赤外線領域の画像評価から予測する。評価装置がレンズを支持固定する鏡筒内への反射・散乱光の影響を観察評価する場合、鏡筒内に入射される視野外からの反射・散乱光を可視化された近赤外線領域の画像から得る。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の光学特性を精度良く計測する。
【解決手段】ステップ４１７において、ステップ４０６の露光処理によってウエハ上の複数の領域に形成された計測用パターンの像の形成状態の検出結果に基づいて、投影光学系の光学特性計測のための前記パターンの露光の最適ドーズ量が仮に決定される。そして、ステップ４２４で、目標ドーズ量を、上記最適ドーズ量を中心としてより細かいステップピッチで複数段階で変化させて、ステップ４０６と同様の露光処理により前記パターンが投影光学系を介してウエハ上の複数の領域に転写される。従って、投影光学系の光学特性計測のための露光条件の一部が微調整される。そして、その微調整された露光条件の下での露光によってウエハ上の各領域に形成された前記パターンの像の形成状態の検出結果に基づいて、投影光学系の光学特性が求められる（ステップ４３６、４３８）。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の光学特性の計測時間を短縮する。
【解決手段】
スリット板１９０を投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに対して平行に一側から他側に（又は他側から一側に）駆動しつつ、スリット板１９０の光軸ＡＸに平行なＺ軸方向の位置データと、計測用レチクルＲｍに形成された計測マークＰＭの投影光学系ＰＬによる投影像（空間像）の強度データ（すなわち、スリット板１９０のスリット１２２を通過する照明光ＩＬの強度データ）と、を計測する。これにより、初期位置を中心としてスリット板を上方及び下方に往復駆動する従来の空間像計測方法を用いる場合に比べて、投影光学系の光学特性の計測に要する時間を短縮することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】自動撮影条件調整を行う撮影装置の検査において、所望の撮影条件で適切に検査を行うことができる検査装置を実現する。
【解決手段】本発明の検査装置１は、カメラユニット１０の撮影範囲内に配置される検査用チャート２と、カメラユニット１０の環境測定範囲内に配置される少なくとも１つの発光体４と、検査装置１の外部から環境測定範囲に入る光を遮蔽する遮光部５と、カメラユニット１０が検査用チャート２を撮影することによって得られる画像データに応じて、カメラユニット１０が撮影条件を適切に変更するよう発光体４を制御する制御用コンピュータ６とを備える。そのため、カメラユニット１０の露出条件を適切に設定させることができ、より正確な解像度の検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 回折型多焦点眼内レンズの解像力、または屈折力の検査を空気中にて好適に行う。
【解決手段】 検査光を発する光源を有し、設計中心波長を可視光の波長とし複数の焦点を持つ回折型眼内レンズの解像力または屈折力を空気中で検査する眼内レンズ検査装置であって、該光源の中心波長は、所定の屈折率を持つ回折型眼内レンズが被検レンズであることを想定して設定されたものであり、前記所定の屈折率に基づいて求められる前記眼内レンズの空気中における入射波長と回折効率の関係において，空気中での１次回折光に対する０次回折光の回折効率の割合が約１／３〜３となる赤外域の波長領域から選択されたものである。 （もっと読む）

【課題】様々な観察目標物をレンズ使用者が目視する際の頭と眼球の動きに関する視覚動作特性を考慮したレンズによる見え方をシミュレーションできるシミュレーション装置を提供する。
【解決手段】シミュレーション装置１は、レンズ使用者が様々な観察目標物に視線を移動する際の頭と眼球の動きに関する視覚動作特性データを取得する視覚動作データ特性取得手段１６５と、この視覚動作特性データ取得手段１６５で取得された視覚動作特性データに基づいて画像移動手段１６８で移動される処理画像データ６２の移動量を制御する画像データ制御手段１６９と、処理画像データ６２を表示する表示部１３とを備えた。そのため、この表示部１３で移動前と移動後との処理画像データ６２の双方が表示されるので、レンズ使用者毎の視覚動作特性に応じたレンズによる見え方をシミュレーションすることができる。 （もっと読む）

【課題】 ＭＴＦを測定する撮像素子に欠陥画素が含まれていても、精度良く披検レンズのＭＴＦ特性を測定できるＭＴＦ測定方法及びＭＴＦ測定装置を提供する。
【解決手段】 所定の画素範囲における欠陥画素を検出する画素欠陥検出ステップ（Ｓ３００）と、撮像素子に結像されたエッジ模様のエッジの、撮像素子の画素配置方向に対する傾斜角を検出するエッジ傾斜角検出ステップ（Ｓ５００）と、エッジに沿って、欠陥画素に隣接する正常画素との差分が少なくなるように、欠陥画素の画素値を補正する欠陥画素補正ステップ（Ｓ８００）と、を備え、欠陥画素補正ステップで補正された画素値を用い、ＭＴＦを測定する（Ｓ９００）。 （もっと読む）

本発明は、光学系を特性評価するための機器（１）であって、照明光ビーム（ＦＥ）を放射するための少なくとも１つの一次光源（３）と、特性評価されるべき光学系（Ｌ）へ向けて前記照明ビーム（ＦＥ）を方向付けるための光学成分と、光学系（Ｌ）からのビームを受けるようになっている波面解析器（４）と、波面解析器（４）からの測定信号を処理して、光学系（Ｌ）の特性情報を提供するようになっているユニットとを含む機器に関する。機器は、光学系（Ｌ）の焦点面内にほぼ設けられる散乱部材（２２）を更に含み、それによって、前記光学系（Ｌ）を通じて流れるとともに、波面解析器へと更に向けられる二次ビームを発生する二次光源を形成する。
（もっと読む）

【課題】照明の影響を少なくし、検査精度を向上させた解像度検査用チャート。
【解決手段】複数本の黒色の線と白色の線とが交互に配置された縞パターン、該縞パターンの一方の側に隣接した黒色の太線からなる基準パターン、及び前記縞パターンの他方の側に隣接した白色の太線からなる基準パターンが各線の幅方向に複数組隣接して配置された検査用パターンを有すること。 （もっと読む）

【課題】 変調度の高い計測信号が得られ、再現性が高く、高速、高精度な計測を可能にする。
【解決手段】 波長より短い幅のスリットと、スリットスキャン信号を得るための第１受光部と、波長より大きな幅を有するアライメント開口と、アライメント信号を得るための第２受光部を備え、かつアライメント信号を信号処理することで、スリット長手方向と、一次元空間光強度分布の強度が変動しない方向を同じにする。 （もっと読む）

【課題】レンズの解像評価値を正確に算出する。
【解決手段】逆ガンマ変換処理部５１は、参照用テーブルに基づいて、画像取得部４２から入力されたチャート画像データに対して逆ガンマ変換処理を施す。スキャン処理部５３は、マーカ検出／位置認識部５２によって決定された測定位置（例えば、第１マーカ３１と第２マーカ３２ｃとの間）を多数回走査して、複数本の走査信号を取得する。ＣＴＦ演算部５４は、スキャン処理部５３によって得られた複数の走査信号うち振幅値の大きい方から所定本数を抽出して、これらの走査信号に基づいて、黒輝度と白輝度を算出する。さらに、ＣＴＦ演算部５４は、これらの黒輝度及び白輝度に基づいて、解像評価値ＣＴＦを算出する。 （もっと読む）

【課題】画像読取装置に用いられるラインセンサの受光面に対して原稿からの反射光を収束させるレンズの検査時間を大幅に短縮化するレンズ検査方法及装置を提供する。
【課題手段】原稿を読み取る画像読取装置に用いられる光電変換素子から成るラインセンサの受光面に対して原稿からの反射光を収束させるレンズの検査方法であって、（ａ）前記レンズの光軸中心を通るラインであって、前記レンズの性能を測定するための測定ラインを決定するステップと、（ｂ）前記測定ラインについて前記ラインセンサのラインに合わせた前記レンズの、解像度、焦点深度、色収差等の各種性能を測定するステップと、の各ステップを有する。 （もっと読む）