【課題】複数の波長に対して使用することができ、しかも波長依存性の小さい回折格子を
提供する。
【解決手段】ガラス等からなるガラス透明基板２と、低屈折率（第１の屈折率）を有する
低屈折率材料３と、低屈折率材料３とは異なる屈折率で、且つ低屈折率材料３の屈折率よ
り高い高屈折率を有する高屈折率材料４とからなり、ガラス透明基板２の出射面側に低屈
折率材料３と高屈折率材料４とを交互に配置するようにした。これにより、ガラス透明基
板２の表面に断面形状が周期的な凹凸となる回折格子を形成するようにしている。そして
、凸部状に形成されている低屈折率材料３の幅Ｗと周期Ｐとの比Ｗ／Ｐを０．５に設定す
ると共に、低屈折率材料３と高屈折率材料４の屈折率、及び低屈折率材料３と高屈折率材
料４との格子深さ（厚さ）を適宜設定するようにしている。 （もっと読む）

【課題】高屈折率と低波長分散性のバランスに優れ、かつ加工性に優れたコンポジット材料、ならびにこのコンポジット材料を用いて構成される光学部品を提供する。
【解決手段】酸化ランタンを少なくとも含む無機物粒子１１を樹脂１２に分散させることにより、屈折率ｎ_ＣＯＭが１．６０以上、アッベ数ν_ＣＯＭが２０以上であり、かつ


の関係が成立するコンポジット材料１０を得る。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、歩留りを向上させることができ、低コストで製造可能な発光
装置、発光装置の製造方法及び電子機器を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置１を構造する過程で有機ＥＬ素子３内に回折格子を形成する必
要がなく、回折格子６ｂが形成された回折格子フィルム６を有機ＥＬ素子３とは別個に作
成し、この回折格子６ｂを保護層４の上面４ａに密接させれば済むことになる。これによ
り、大掛かりな露光装置や特殊な露光装置が不要になると共に、歩留りを向上させること
ができ、低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、良好な特性を呈し得る回折素子を実現することができる。
【解決手段】本発明は、以上の構成によれば、回折素子２０は、第１空気界面ＩＦａで発生する波面収差を相殺するようにカバー層２０Ｄの表面形状を形成するようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐久性を向上することができる。
【解決手段】本発明は、回折素子２０は、光ビームが通過しない光学外領域ＥＯに、ベース層２０Ｃ及びカバー層２０Ｄが嵌合するように上層剥離防止パターンＰＰａを設けるようにする。 （もっと読む）

【課題】半導体用露光装置等の照明光学系で用いられる瞳フィルタを透過する照明光の光量の減少を防ぎ、半導体露光の効率を高め、光近接効果による補正を施す際の負荷を低減し、マスクパターンピッチによりウェーハ上に結像するパタ−ン寸法が変動することがなく、安定した高解像の光学像が得られる瞳フィルタを提供する。
【解決手段】光源より発した光を照明光学系を介してマスクに照射し、マスク上のパターンを投影光学系を介して被露光基板上へ投影露光する露光装置の照明光学系で用いられる瞳フィルタ形成用の回折光学素子であって、前記回折光学素子により形成される瞳フィルタが２つの光透過部を備えた二重極瞳であり、前記２つの光透過部は前記瞳フィルタの中心から所定の距離に対称の扇状形状をなし、前記２つの光透過部の間が光低透過率領域からなり、前記２つの光透過部および前記光低透過率領域の外側が遮光部であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 構造色を工業的に実用化する要件を満たしつつ、リサイクル性に優れた物質の加飾を可能とする。
【解決手段】 物質内部に空隙部１１を有し、この空隙部１１の界面が光回折を起こす周期構造で形成されている。また、周期構造が、構造色を発現する規則的配列を有している。そして、物質の同一面内に形成された複数の空隙部１１が、それぞれ物質の表面から異なる深さのところに形成されている。 （もっと読む）

【課題】回折光学素子を認証装置に適用する。
【解決手段】認証装置１００が、回折光学素子１を設けた認証手段２０と、回折光検出器８０とを有して構成され、回折光学素子５０を設けた被認証対象３０を認証手段２０に対して位置を合わせて、回折光学素子１の回折面に入射した入射光による回折光学素子１からの回折光を回折光学素子５０の回折面に入射させ回折光学素子５０からの回折光を回折光検出器８０により検出することにより、被認証対象３０と認証手段２０との照合が可能である。認証手段２０が被認証対象３０の認証手段２０に対する位置決めを行うアライメントマーク２１，２２を有し、被認証対象３０が被認証対象３０の認証手段２０に対する位置決めを行うアライメントマーク３１，３２を有しており、被認証対象３０が認証手段２０に対して光学的に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】 サブ波長格子がその機能を常時有効に発揮することができるサブ波長格子光学素子を提案する。
【解決手段】 本発明のサブ波長格子光学素子は、少なくとも１つが透明な材料で形成されている複数の基材によって気密空間を形成する。この気密空間を構成する少なくとも１面に、光を制御するためのサブ波長格子が設けられている。サブ波長格子が気密空間内に存在するため、サブ波長格子の突起の損傷を防止でき、また、サブ波長格子に対する水や油などの付着を防止できる。 （もっと読む）

【課題】薄膜形成のための時間とコストを低減でき、均一性及び耐熱性のよい薄膜を形成可能な成形金型の製造方法を提供する。
【解決手段】この成形金型の製造方法は、エッチングマスク１５を形成した被加工材１０を用いて成形金型を製造する際に、被加工材をドライエッチングするエッチング工程と、エッチングマスクを除去する除去工程と、被加工材にフッ素系薄膜１７を成膜する成膜工程と、を同一装置内で連続的に実行するものである。 （もっと読む）

【課題】２次元レリーフ型回折格子の高屈折率部の面積比等を最適化してより高性能な入射角依存回折格子。
【解決手段】２方向に周期的に高屈折率部２と低屈折率部３が分布しているレリーフ型２次元回折格子１からなり、入射角によりそれぞれの方向の±１次回折効率が単調に変化する入射角依存性回折格子であって、ブラッグの条件を満たすブラッグ角を正として、ブラッグ角とブラッグ角から最初に出現する極小の回折効率を与える入射角との間に入射角０°を含み、｛（ブラッグ角での回折効率−最初に出現する極小の回折効率）×０．２＋最初に出現する極小の回折効率｝≦入射角０°での回折効率・・・（Ａ）
を満足し、ブラッグ角での回折効率が入射角０°での回折効率の２倍以上であることを満足するように、規格化ピッチ、屈折率変調、面積比、規格化溝深さが設定されている。 （もっと読む）

【課題】幅広い波長領域に対応した光学素子または焦点距離を変えることができ、かつ歪みが少ない光学素子、および該光学素子を容易に製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】光学機能を有する弾性体からなる膜２０と、基板４０上に、膜２０と接合する櫛形アクチュエータ３０が設けられた膜変形手段とを有する光学素子１０；膜２０を射出成形、キャスト法またはインプリント法で形成すると同時に膜変形手段の櫛形アクチュエータ３０と接合させる光学素子１０の製造方法。 （もっと読む）

【課題】共通の光源からの光束を分割して異なる段の偏向反射面に入射させ、異なる被走査面を走査する光走査装置であって、ビームスポット径の劣化の低減が可能な光走査装置および画像形成装置を得る。
【解決手段】光源と、複数の偏向反射面を副走査方向に備えた光偏向器と、光源からの光束を複数の偏向反射面のそれぞれに入射する複数の光束に分割する光束分割用回折光学素子と、光偏向器により偏向された光束を被走査面上に集光する走査光学系とを備え、光偏向器に入射した複数の光束がそれぞれ異なる被走査面上を走査する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、使用温度に拘らず、回折効率ＥＦを殆ど変化させないようにできる。
【解決手段】本発明は、ＣＤ用回折パターンＰＴｃを有するベース層２０Ｃと、上記ベース層２０Ｃを覆うカバー層２０Ｄとを有し、−４０[℃]から７５[℃]まで変化したときの、当該カバー材料ＲＡにおけるカバー材屈折率ｎＡの変化量及び当該ベース材料ＲＢにおけるベース材屈折率ｎＢの変化量がほぼ同一になるように、カバー材料ＲＡ及びベース材料ＲＢが選定されるようにする。 （もっと読む）

【課題】良好な特性を呈する回折素子を容易に設計できるようにする。
【解決手段】設計目標として回折させない波長λ及び回折させる波長λがそれぞれ定められた回折格子ＤＧを設計する際、候補となる材料Ｍ１及びＭ２の各波長λにおけるそれぞれの屈折率ｎの値を（１６）式の左辺に代入し、このとき（１１）式を満たすことにより（１６）式の右辺が簡単な整数の比となり、且つ（１７）式を満たした場合、当該候補となる材料Ｍ１及びＭ２を当該回折格子ＤＧを構成する材料として適切であると判別することができるので、設計通りの回折格子ＤＧを構成し得るような材料Ｍ１及びＭ２を容易に選定することができる。 （もっと読む）

【課題】直線状の回折格子が形成された樹脂からなる光通信用の回折光学素子を射出成形により製造する際に、樹脂材の流れを円滑にして形状転写性を向上させる光通信用の回折光学素子の射出成形金型を提供すること。
【解決手段】回折格子パターンが形成された第１の金型と、当該第１の金型に対向する第２の金型とにより形成される空間内に樹脂材を充填して光通信用の回折光学素子を成形する光通信用の回折光学素子の射出成形金型において、前記回折格子パターンは、直線状であり、第１の金型の回折格子パターンが形成される部位に樹脂材を供給するゲート通路の方向に対して平行に設けられている。 （もっと読む）

【課題】光線の波長よりも短い周期の格子定数のプレナー回折格子を含む合波干渉型光学装置および光エンコーダを提供すること。
【解決手段】本発明の合波干渉型光学装置は、コヒーレント光を照射する光源３０と、光源３０からのコヒーレント光を回折し、光学キャビティを形成する第１の凹凸部を備えた分波器３２と、当該コヒーレント光の波長よりも短い周期で形成された光学キャビティを形成する第２の凹凸部を備えたメインスケール３４と、第３の凹凸部を備えた合波干渉器３６と、合波干渉器３６から出力されたコヒーレント光を受光する検出器３８とを備えており、メインスケール３４から回折される＋１次と−１次の２つの回折光を合波干渉させて正弦波信号として検出する。また、本発明は、メインスケールの相対的変位を検出する合波干渉型の光エンコーダを提供する。 （もっと読む）

【課題】特殊な液晶を用いることなく波長依存性のない回折素子を実現する。
【解決手段】入射光を回折させるための回折素子１には、透明基板３０上に、入射光を回折させるための第１の位相差領域１０と第２の位相差領域２０とが交互に複数配列されて回折パターンが形成されている。第１の位相差領域１０及び前記第２の位相差領域２０には、入射光の複数の波長の位相差を揃えるために、複数の波長域のうち最短波長未満のピッチ間隔で複数の微小凹凸構造がナノオーダーで配列されている。そして、第１の位相差領域１０の微小凹凸構造と前記第２の位相差領域２０の微小凹凸構造とは直交している。ナノオーダーの微小凹凸構造により位相差が揃えられて、回折パターンにより回折効率に波長依存性が少ない回折機能を発揮することができる。 （もっと読む）

【課題】空間的にフィルファクタの変化が可能であり、かつ生産性が高い、周期構造パターン形成方法及び干渉露光装置を提供する。
【解決手段】サブ波長の微細凹凸構造の光学素子製作等のため、光源からの光を２以上の光束に分離した光束を露光面上で合成して露光する周期構造パターン形成方法おいて、光の分割に回折により光を分割する回折光学素子を用い、空間的な濃淡のパターンを有する光学フィルタを光源と光を分離する回折光学素子の間に設けることを特徴とする周期構造パターン形成方法を主たる構成とすることにより、空間的にフィルファクタの変化が可能であり、かつ生産性が高い、周期構造パターン形成方法及び干渉露光装置の提供を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】直線状の格子が形成された樹脂からなる回折光学素子を射出成形により製造する際に、型開き時に成型品が冷却収縮しても、成型品のエッジが金型の回折エッジと干渉して変形することが抑制される回折光学素子の射出成形金型を提供すること。
【解決手段】回折格子パターンが形成された第１の金型と、当該第１の金型に対向する第２の金型とにより形成された空間内に樹脂材を充填して回折光学素子を成形する回折光学素子の射出成形金型において、前記回折格子パターンは、直線状であり、第１の金型の回折格子パターンが形成される部位から第１の金型の樹脂流入部の中心に向かう方向に対して平行に設けられている。 （もっと読む）