【課題】 シリコン基板の表面にミクロンサイズ以下の三次元形状を精度よく加工できるシリコン基板加工方法を提供する。この加工方法を用いて加工された光学素子用金型及び光学素子用金型母型、更に光学素子用金型により加工された光学素子及び回折格子を提供する。
【解決手段】 このシリコン基板加工方法は、シリコン基板上にレジストを塗布し、レジストを三次元形状に形成し、レジストをマスクとしてドライエッチングによりシリコン基板を加工しシリコン基板の表面に三次元形状を形成し、ドライエッチングの終点をレジストマスクの消失の程度に基づいて決める。 （もっと読む）

本発明は、基板（１１）、回折格子層（１２）、ポリシリコンを含む第１のマスキング層（１３）、誘電体層（１４）、および第２のマスキング層（１５）を含む、積層構造（１００）を設けるステップを含む、回折格子構造（２００）を実現する方法に関する。さらに、レジスト層（１６）が第２のマスキング層（１５）上に堆積され、このレジスト層（１６）は選択されたパターンによって電子ビームに露出され、このパターンに従ってレジスト層（１６）は現像され、現像されたレジスト層をマスクとして使用して第２のマスキング層（１５）がエッチングされて、パターン形成された第２のマスキング層（１５’）が形成され、このパターン形成された第２のマスキング層（１５’）をハードマスクとして使用して誘電体層（１４）がエッチングされて、パターン形成された誘電体層（１４’）が形成され、パターン形成された誘電体層（１４’）をハードマスクとして使用して第１のマスキング層（１３）がエッチングされて、パターン形成された第１のマスキング層（１３’）が形成され、さらにこのパターン形成された第１のマスキング層（１３’）をハードマスクとして使用して回折格子層（１２）がエッチングされて回折格子構造（２００）が形成される。
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眼の色収差および少なくとも１つの単色収差を低減できる屈折パワーおよび回折パワーの両方を持つ非球面の眼科レンズの設計方法は、非球面の屈折面および回折面を組み合わせて、適切な眼モデルを選択し、前記眼モデルでの単色収差を低減する能力を持つ少なくとも１つの非球面を有する設計レンズを確立し、眼モデルの色収差を矯正する回折レンズ要素を確立し、レンズ表面設計を調整して、スペクトルメリット(merit)関数を満たすように重み付けされた形式で適切な高い多色像品質を得る。
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青紫色レーザ光源を使用する高密度光ディスクとＤＶＤとＣＤの３種類のディスク間での互換性を有し、光量確保と球面収差補正を両立した対物光学系、光ピックアップ装置及び光情報記録再生装置を提供する。本発明の対物光学系は、波長λ１〜λ３の光束に対してそれぞれＬ次（Ｌは奇数）、Ｍ次、Ｎ次（Ｍ，Ｎは整数）の回折光が最大の回折効率となるような回折作用を与える第１回折構造と、波長λ１〜λ３の光束のうち１つ又は２つの光束に対して実質的に位相差を与える第１光路差付与構造を備える。 （もっと読む）

本発明は、特に、共振体（９）の表面（１１）に当たるレーザ光（１０）の第一の部分光（１０ａ）が部分反射され、レーザ光の第二の部分光（１０ｂ）が共振体（９）内に入射し、複数の内部全反射をした後に少なくともほぼ入射領域において共振体（９）から出射する、半導体リソグラフィにおける投影オブジェクティブ用の、波面出射レーザ放射（１０ｂ）のコヒーレンスを低減させるためのシステムに関する。２つの部分光（１０ａおよび１０ｂ）は、続いて一緒に照明面に送られる。共振体（９）は、レーザ光を部分光（１０ａおよび１０ｂ）に分割することに加えて、１レーザパルス中に少なくとも１つの部分光（１０ｂ）の波面を変調させるようになっている。共振体（９）で反射されたかもしくは共振体を貫通した部分光（１０ａおよび１０ｂ）は、共振体（９）の下流において重ね合わせられる。共振体（９、９‘）は、局所位相分布の変化する位相面（１２）を備えている。
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本発明は、電磁放射線によりポリマーレリーフ構造体を作製する方法に関する。本方法では、被覆基材の界面張力を低下させる化合物が使用される。その結果、アスペクト比さらには表面の曲率が向上するので、光学素子および複製目的に有益である。 （もっと読む）

本発明は多色性のもしくは準単色性の光束を分散するための２次元回折ネットワークに係るものであって、表面（３）を有する基板（２）と、基板の厚み方向で周期ｄの薄い二周期性層の第1のスタック（５）と第2のスタック（６）とを含んでいる。これらのスタックは少なくとも１０周期を含んでいて、各周期は少なくとも２つの異なる材料（７，８）の層から形成され、前記のスタック（５，６）は幅ｐ／２の、相互に平行な連続ライン（１１）を形成し、これらのラインは基板（２）の表面に平行な方向に沿って周期ｐで規則的に反復している。前記の第２のスタック（６）は前記の第１のスタック（５）と交互に幅ｄ／２だけずれている。前記のスタック（５，６）は基板（２）が支える厚い格子（９）を形成している。本発明に従って、前記の厚い格子（９）はせいぜいｄ／２に等しい幅の薄い表面格子（１０）を上に配している、同じ基本メッシュの２倍周期の反復により形成されている。
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本発明は、第１の屈折率を有する略剛性な第１の材料で形成された回折要素を有する光学系に係る。回折要素は、第２の屈折率を有する第２の材料を有する回折要素の第１の界面での第１の複数の溝と、第３の屈折率を有する第３の材料を有する回折要素の第２の異なる界面での第２の異なる複数の溝とを有する。第１及び第２の複数の溝は、複合された回折効果が達成されるよう互いに対して整列される。更には、第３の材料は液体である。回折要素は、射出成形技術を使用して製造され得、その後に第２及び／又は第３の材料が流体形状において適用され得る。本発明を用いて、２つの複数の溝は、高度な効率性及び信頼性を有して互いに対して整列され得る。
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ナノ構造の光学素子は、提供される入射放射の少なくとも１つの所定の第１の波長未満の幅を有する複数の開口のアレイを有する金属膜又は複数の金属アイランドを含む。金属膜又は金属アイランドは、入射放射が金属膜又は金属アイランド上の少なくとも１つのプラズモンモードと共鳴するように構成される。
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本発明は、光学的セキュリティ素子および、かかる光学的セキュリティ素子を備えた、隠された情報を可視化するためのシステムに関する。光学的セキュリティ素子は、Ｘ軸およびＹ軸によって画成された表面領域に光学的に識別可能な効果を生じさせるために、複数のレリーフパラメータ、特にレリーフ形状、レリーフ深さ、空間周波数および方位角によってレリーフ構造が画成されたサブストレート層を有する。レリーフ構造を画成する複数のレリーフパラメータのうちの一つまたは複数は、表面領域（２７）においてパラメータ変化関数に従って変化せしめられる。表面領域（２７）は、一つまたは複数のパタン領域（２９，３０）と一つの背景領域（２８）とに分割される。レリーフ構造を画成する複数のレリーフパラメータのうちの一つまたは複数は、一つまたは複数のパタン領域（２９，３０）において、背景領域（２８）のパラメータ変化関数に対して位相がずらされたパラメータ変化関数に従って変化せしめられる。さらに、透過関数によって画成されかつその周期がパラメータ変化関数に対応する検証格子を備えた検証素子を備える。
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【課題】 レジストを高精度に加熱・冷却する。
【解決手段】 熱伝導性の悪い基板１１上にレジストパターン形成を行うため、レジスト１２を加熱冷却する際に、温度調整板１３の温度を段階的又は連続的に変化させることにより、レジスト１２のベークの温度管理と時間管理を高精度に制御することが可能となり、レジストパターンの線幅制御性が向上し、特に微細パターンに対応することができる。 （もっと読む）

【課題】偏光分離素子を容易に作製でき、かつ回折格子部分に材料を容易に充填できるようにすること、さらに再現性や均一性の向上、組立工程の簡略化、高効率化を図る。
【解決手段】光学的等方性基板１上に光学的異方性膜２を作製し、その表面に凹凸状の周期構造を形成し、その凹部５ａ，５ｂに光学的に透明で、その屈折率が光学的異方性膜２の常光線方向屈折率、あるいは異常光線方向屈折率と同一である材料３を埋め込んだ偏光分離素子で、２つの基板２ａ，２ｂの凸凹状の周期構造面を合わせて形成する場合に、凸部分４ａと４ｂを合わせるか、あるいは凸部分４ａ（４ｂ）と凹部分５ｂ（５ａ）を合わせて構成する。また、光学的異方性材料を有機材料である、ポリイミドを使用し、これを延伸することにより異方性を加える。 （もっと読む）