【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】 所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させる波長掃引光源装置。 （もっと読む）

【課題】外部共振器型のレーザ光源を前提として、出力レーザ光のコヒーレンス長を短くすることでスペックルノイズを確実に低減し得る光源装置を提供する。
【解決手段】本発明の光源装置１は、複数の発光素子６を有する光源２と、複数の発光素子６から射出された複数の光を光源２との間で共振させる共振ミラー３と、光源２と共振ミラー３との間の光路上に設けられ、複数の光の全波長域のうち、所定の選択波長域の光を選択的に透過させる音響光学媒体７と音響波を生成する音響波発生素子８（音響波生成手段）とを含む可変波長選択素子４と、を備え、音響波発生素子８を用いて音響光学媒体８内の複数の光の光路と交差する方向に音響波を伝播させることにより複数の光の各々の選択波長域を空間的かつ時間的に変化させる。 （もっと読む）

【課題】ＡＯＴＦを使用した信頼性、及びコストパフォーマンスの良い光波長多重ネットワーク及びそのための装置を提供する。
【解決手段】ＯＡＤＭシステムにおいて、ＯＡＤＭ装置を構成する際、ＡＯＴＦ１０を使用する。ＡＯＴＦは印加するＲＦ信号の周波数を変えることによって、任意の波長を選択することができる。入力から入ってきた波長多重光信号の中から特定の波長の光信号をドロップしたり、アドポートから入力された波長多重信号をスルー光信号と合波することができる。ただし、コヒーレントクロストークが大きくなることを考えて、実際の装置構成においては、ＡＯＴＦをドロップ専用に使用することが現実的である。あるいは、他の方法においては、ドロップ光信号は光カプラで分岐し、波長をトリビュータリ局で選択するようにし、トリビュータリ局で選択された波長をＡＯＴＦでスルー光信号から抽出するようにする。 （もっと読む）

【課題】音響光学型チューナブルフィルタを用いて使用環境や素子の経年変化に左右されることなく、任意の減衰量を指定して選択波長の光を減衰する。
【解決手段】音響光学型チューナブルフィルタ（ＡＯＴＦ）制御装置１００は、ＡＯＴＦ１０５に印加する高周波信号（ＲＦ信号）を変化させて、任意の波長の光を出力させる音響光学型チューナブルフィルタ制御装置１００において、所定の波長および光パワーレベルを有する基準光をＡＯＴＦ１０５に入力して得られた出力光の光パワーレベルと、ＲＦ信号の周波数との関係に基づいて、任意の波長の光（波長選択要求）を選択して出力させる波長選択手段と、基準光の光パワーレベルと、出力光の光パワーレベルと、ＲＦ信号のパワーレベルとの関係に基づいて、任意の波長の光（波長選択要求）を、任意の光パワーレベル（パワー設定変更要求）に減衰する減衰手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】１つの基準波長光源により波長選択の制御が可能な音響光学型チューナブルフィルタ制御装置の提供を図ること。
【解決手段】音響光学型チューナブルフィルタ制御装置１００は、集積ドロップ型ＡＯＴＦ１０１に印加する高周波信号を発生させるＲＦ信号発回路１０２と、集積ドロップ型ＡＯＴＦ１０１から出力された光の強度を検出する光モニタ回路１０３と、光の強度に基づいて、基準光を出力させる高周波信号の周波数を検出するＤＳＰ１０５と、集積ドロップ型ＡＯＴＦ１０１の温度を検出し、光の強度と、基準光を出力させる高周波信号の周波数と、集積ドロップ型ＡＯＴＦ１０１の温度に依存した出力特性とに基づき、所望する波長の光信号を出力させるために印加する高周波信号の周波数を求め、ＲＦ信号発回路１０２によって高周波信号を発生させるＦＰＧＡ１０４とを備え、波長選択を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、波長選択及び切り替えを高速に行うことができる波長選択制御方法及びそれを用いた波長可変フィルタ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 複数の基準波長が入力されるレファレンス用の音響光学型チューナブルフィルタに供給するＲＦ周波数を可変して複数の基準波長それぞれに対応する複数の基準ＲＦ周波数を検出し、複数の基準ＲＦ周波数からＷＤＭ伝送信号波長に対応する複数の従属ＲＦ周波数を計算して第１のレジスタに設定し、基準ＲＦ周波数を最適化するトラッキングを行い、波長選択要求がなければ複数の基準ＲＦ周波数の検出及び複数の従属ＲＦ周波数の第１のレジスタへの設定及びトラッキングを繰り返し、波長選択要求があると前記第１のレジスタから要求波長に対応する従属ＲＦ周波数を選択して運用ポートの音響光学型チューナブルフィルタ用の第２のレジスタに設定し、第２のレジスタに設定された従属ＲＦ周波数のＲＦ信号を発生してＷＤＭ伝送信号が供給される運用ポートの音響光学型チューナブルフィルタに供給する。 （もっと読む）

【課題】光波長選択制御装置に関し、波長選択光フィルタによる波長選択処理を高精度に行なえるようにする。
【解決手段】Ｎ（Ｎは２以上の自然数）波長の光信号が波長多重された光信号から最大でｍ（ｍは１＜ｍ＜Ｎを満足する自然数）波長の光信号を波長選択用の周波数信号に応じて抽出する波長選択部１Ａと、前記周波数信号を出力するｍ個の周波数発振器２ａ−１〜２ａ−ｍと、この周波数発振器２ａ−１〜２ａ−ｍから出力される周波数信号の周波数をそれぞれ制御しうる制御部３Ａと、前記周波数発振器２ａ−１〜２ａ−ｍからの周波数信号の出力をそれぞれ停止しうるｍ個の停止部４ａ−１〜４ａ−ｍとをそなえるとともに、前記制御部３Ａが、周波数発振器２ａ−１〜２ａ−ｍから出力される周波数信号の周波数を変更している間、当該周波数信号の出力を停止させるように前記停止部４ａ−１〜４ａ−ｍを制御する。 （もっと読む）

【課題】 相互作用効率を改善し、ＳＡＷを発生させるための駆動電力を抑制させることができるようにする。
【解決手段】 音響光学効果を有する基板１１と、基板１１に形成され、光を伝搬させるための互いにほぼ平行な第１，第２の光導波路１３ａ−１，１３ａ−２と、基板１１上に形成され第１，第２の光導波路１３ａ−１，１３ａ−２の方向に沿った伝搬方向で伝搬する弾性表面波を生成するためのトランスデューサ１５と、をそなえ、かつ、トランスデューサ１５からの弾性表面波の基板１１上の伝搬方向に垂直な方向についての強度を、第１，第２の光導波路１３ａ−１，１３ａ−２の各位置に応じた２箇所を極大とすべく分布せしめる弾性表面波分布構造１３ｂをそなえるように構成する。 （もっと読む）