【課題】反射率を低減でき、エッチング耐性が高く、高い耐熱性、耐溶媒性を有し、特に基板のエッチング中によれの発生がないレジスト下層膜を形成するためのレジスト下層膜形成方法及びこれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】リソグラフィーで用いられる少なくとも３層を有する多層レジスト膜のレジスト下層膜３の形成方法であって、少なくとも、ビスナフトール基を有する化合物をノボラック化した樹脂を含有するレジスト下層膜材料を基板１上にコーティングする工程と、コーティングした該レジスト下層膜材料を３００℃を超え、６００℃以下の温度で、１０秒〜６００秒間の範囲で熱処理して硬化させる工程を含むことを特徴とするレジスト下層膜形成方法。 （もっと読む）

基材と、主鎖中にウレタンまたは尿素部分を含む第１のポリマーバインダーを含む単層画像形成性層とを有する赤外線感受性ポジ型画像形成性要素。第１のポリマーバインダーは、水に不溶性であり、かつ、弱アルカリ溶液に可溶性である。当該画像形成性要素を、画像形成し、シリケートおよびメタシリケートを含まない弱アルカリ性処理液を使用して処理することができる。画像形成され現像された印刷面に「ガム引き」するために当該処理液を使用することもできる。 （もっと読む）

【解決手段】ポジ型レジスト材料を基板上に塗布してレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて上記レジスト膜を現像し、第１のレジストパターンを形成し、その上に少なくとも一つのアミノ基を有すると共に加水分解反応基をもつ珪素化合物を含む保護膜溶液を塗布し、加熱によって第１のレジストパターン表面を該保護膜で覆い、その上に第２のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第２のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記第２のレジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて第２のレジスト膜を現像する工程を有するパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、例えば第１のパターンのスペース部分に第２のパターンを形成することによってパターンとパターンのピッチを半分にするダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングによって基板を加工することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多層レジスト法（特には２層レジスト法及び３層レジスト法）において、レジスト上層膜であるフォトレジスト層より下層を形成するために用いられ、該下層形成後はアルカリ現像液に不溶又は難溶となるレジスト下層膜材料であって、耐ポイゾニング効果が高く、環境への負荷の少ないレジスト下層膜を提供する。
【解決手段】リソグラフィーで用いられる多層レジスト法において、レジスト上層膜であるフォトレジスト層より下層を形成するために用いられ、該下層の形成後はアルカリ現像液に不溶又は難溶となるレジスト下層材料であって、該レジスト下層材料は、少なくとも、熱酸発生剤を含み、該熱酸発生剤は、１００℃以上の加熱により下記一般式（１）で示される酸を発生するものであることを特徴とするレジスト下層材料。
ＲＣＯＯ−ＣＨ_２ＣＦ_２ＳＯ_３⁻Ｈ^＋ （１） （もっと読む）

【課題】液浸露光の際にフォーカス精度の悪化を抑制できるレジストパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】被加工膜１２上にフッ素含有ポリマーを添加した下層膜１３を形成し、この下層膜をベークし、上記下層膜上に中間膜１４を形成し、この中間膜１４上にレジスト膜１５を形成する。上記レジスト膜をベークし、レジスト保護膜１６を形成し、このレジスト膜を液浸露光した後、上記レジスト膜を現像してレジストパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】レーザーによる画像記録が可能であり、充分な耐刷性を維持しつつ良好な汚れ性、現像性が得られる平版印刷版原版、製版方法及び新規な重合性モノマーを提供する。
【解決手段】支持体上に、ラジカル重合開始剤、ならびにスルホンアミド基および少なくとも２つのエチレン性不飽和基を有する重合性モノマーを含有する画像記録層を有することを特徴とする平版印刷版原版；上記平版印刷版原版を用いた平版印刷版の製版方法；スルホンアミド基と少なくとも２つのエチレン性不飽和基を有する重合性モノマー。 （もっと読む）

【課題】パターン転写性（特に、ＲＩＥでのレジスト曲がり耐性）に優れた下層膜を形成する可能なレジスト下層膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】２つ以上のフェノール性水酸基、及び、アルキルチエニル基を有する芳香族環を繰り返し構造単位として含むノボラック樹脂（Ａ）と、有機溶剤（Ｂ）と、を含有するレジスト下層膜形成用組成物。 （もっと読む）

【課題】感光層を有する平版印刷版原版を、弱アルカリ性水溶液乃至弱酸性水溶液による簡易現像処理をしても、現像性、汚れ性に優れ、現像液中の現像カスの影響を抑制し、かつ耐刷性の高い平版印刷版の製版方法を提供すること。
【解決手段】バインダーポリマー、エチレン性不飽和化合物、重合開始剤、及び、粒径１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の有機修飾微粒子（Ａ）を含有する感光層を親水性支持体上に設けてなる平版印刷版原版を画像露光する工程、及びｐＨが２〜１０である１種の処理液により現像処理する平版印刷版の製版方法。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、現像性、耐汚れ性及び耐刷性に優れた平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】支持体上に、重合性化合物、光重合開始剤、バインダーポリマー、式（１）〜（５）で表され、親水性基を有し、分子量１，５００以下であり、３．８デバイ以上の双極子モーメントを有し、１未満のＬｏｇＰ値を有する化合物を含有する感光層を設けた平版印刷版原版。
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【課題】非アルカリ性水溶液による簡易現像処理型の平版印刷版原版において、現像ランニング性に優れた平版印刷版原版用現像液、及び、平版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】界面活性剤と、分子内に顔料吸着基及び親水性基を有する分子量１，５００以下の化合物とを含有し、ｐＨが２〜１０であることを特徴とする平版印刷版原版用現像液。支持体上に、少なくとも顔料を含有する感光層を設けた平版印刷版原版を、レーザーで画像露光する露光工程、及び、界面活性剤と、分子内に顔料吸着基及び親水性基を有する分子量１，５００以下の化合物とを含有し、ｐＨが２〜１０である現像液の存在下で非露光部の感光層を除去する現像工程を含むことを特徴とする平版印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】長期間保管した後においても、表面張力が増加せず、ストリエーションの発生等の問題を生じることのない塗布膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】レジスト膜に直接接する被膜を形成するための塗布膜形成用組成物であって、少なくとも（ａ）膜形成成分、（ｂ）酸性成分、及び（ｃ）界面活性剤を含有し、且つ前記塗布膜形成用組成物の調製直後からの表面張力の経時変化量が６０℃において、０．２０ｍＮ／ｍ・ｄａｙ以下である塗布膜形成用組成物。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの各着色画素の矩形性を向上させ、且つ赤色画素の形成時に残渣が生じないようにする。
【解決手段】支持体上に第１色目として、ドライエッチング法を用いて、ストライプ状の赤色パターン２７を形成後、青色層３３Ｂを形成し、赤色パターン及び青色層をドライエッチングして、青色・赤色画素２０Ｂ，２０Ｒ及び、緑色画素形成領域３９を形成する。次に緑色層を形成し、赤色画素２０Ｒが露出されるまで、支持体の全露出面を平坦化処理する。 （もっと読む）

【課題】現像処理を行わず直接印刷機に装着して印刷する方式の平版印刷版原版、またはガム液で現像する方式の平版印刷版原版であって、現像性、インキ着肉性および耐刷性が良好で、さらに経時の現像性低下を抑制することができる平版印刷版原版、ならびにこれらの平版印刷版原版を用いる製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、画像記録層および保護層をこの順に有し、画像記録層および保護層の少なくとも一方に、（Ａ）少なくとも２つのヘテロ原子を含有する環状骨格、およびオニウム構造を有する化合物を含有することを特徴とする平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】弱アルカリ性〜弱酸性水溶液による簡易現像処理型の平版印刷版原版において、現像により非画像部における顔料を良好に除去することができ、非画像部における残色をなくして検版性を高め、かつ印刷中の汚れも防止することのできる平版印刷版原版およびこれを用いた平版印刷版の作製方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、少なくとも（Ａ１）支持体吸着性基及び（Ａ２）親水性基を有する高分子化合物を含有する下塗り層、及び前記高分子化合物に吸着しない顔料を含有する感光層をこの順に有するｐＨが２〜１１の現像液で現像可能な平版印刷版原版、並びに、該平版印刷版原版をレーザーで画像露光した後、ｐＨが２〜１１の現像液の存在下で非露光部の感光層を除去することを特徴とする平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】感光性の平版印刷版原版の画像記録層において、非露光部の耐汚れ性を維持できる親水性を保ちながら、露光部の感度および耐刷性を高いレベルで維持できる平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、下塗り層と感光性の画像記録層とをこの順に有する平版印刷版原版であって、前記下塗り層が高分子化合物を含み、該高分子化合物が、繰り返し単位中に、(a)支持体表面と相互作用する官能基を少なくとも一つ及び(b)親水性基を少なくとも一つを有する高分子化合物、または、(ab)支持体表面と相互作用する官能基であるとともに親水性基である基を含む高分子化合物であり、平版印刷版原版を露光後、ｐＨ２から１１の現像液を用いて現像した後に、未露光部の該下塗り高分子化合物による支持体表面の被覆率が２０％以上８０％以下であることを特徴とする、平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】レーザーによる画像記録が可能であり、充分な耐刷性を維持しつつ良好な汚れ性、現像性が得られる平版印刷版原版および製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、ラジカル重合開始剤、増感色素、重合性化合物、および側鎖にスルホンアミド基を介して末端にエチレン性不飽和基を有しているバインダーポリマーを含有する画像形成層を有することを特徴とする、平版印刷版原版；上記平版印刷版原版を用いた平版印刷版の製版方法。 （もっと読む）

【課題】弱アルカリ性〜弱酸性水溶液による簡易現像処理型の平版印刷版原版において、現像により非画像部における顔料を良好に除去することができ、非画像部における残色をなくして検版性を高め、かつ印刷中の汚れも防止することのできる平版印刷版原版及びこれを用いた平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、少なくとも（Ａ１）支持体吸着性基を有する単位及び（Ａ２）親水性基を有する単位を有する高分子化合物を含有する下塗り層、及び前記高分子化合物に吸着しない顔料を含有する感光層をこの順に有するｐＨが２〜１１の現像液で現像可能な平版印刷版原版、並びに、該平版印刷版原版をレーザーで画像露光した後、ｐＨが２〜１１の現像液の存在下で非露光部の感光層を除去することを特徴とする平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】現像処理工程を行うことなく、機上現像可能なネガ型平版印刷版原版、及びそのネガ型平版印刷版原版を使用する平版印刷方法を提供する。水溶性樹脂を有する水溶液により現像可能なネガ型平版印刷版原版、及びそのネガ型平版印刷版原版を使用する平版印刷方法を提供する。ＵＶインキ（紫外線硬化インキ）を用いた印刷を行っても、非画像部細線再現性に優れたネガ型平版印刷版原版を提供する。また、細線再現性および耐刷性を良好に両立させ、かつ機上現像時のカス発生が抑制されたネガ型平版印刷版原版を提供することである。
【解決手段】支持体上に、親水性基及び主鎖に尿素結合を有し、並びにカルボン酸含有量が０．０５meq/gより少ない高分子化合物を有する光重合性層を有することを特徴とするネガ型平版印刷版原版；該ネガ型平版印刷版原版を用いた平版印刷方法。 （もっと読む）

【課題】赤外線レーザーによる画像記録および機上現像可能であり、充分な耐刷性を有し、かつ積層された状態で保管した場合でも、感度、機上現像性および微小点状汚れが良好な平版印刷版原版の積層体を提供する。
【解決手段】支持体上に、（Ａ）赤外線吸収剤と、（Ｂ）ラジカル重合開始剤と、（Ｃ）重合性化合物を含有し、印刷インキと湿し水とを供給することにより、未露光部分を除去できる画像記録層を有する平版印刷版原版１０と、合紙中の塩化物イオンの含有量が０．５質量％以下であり、中心線平均粗さ（Ｒａ）が２．４μｍ〜５μｍである合紙１４とを交互に重ね合わせて集積したことを特徴とする平版印刷版原版の積層体。 （もっと読む）

【課題】現像速度が速く、耐刷性に優れ、かつ初期及び経時での耐汚れ性に優れる平版印刷版原版、並びに、平版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、（Ａ）式（I）、式（II）又は式（III）で表される基を少なくとも１つ有する化合物、（Ｂ）重合開始剤、（Ｃ）前記（Ａ）成分以外の重合性化合物、及び、（Ｄ）バインダーポリマーを含有する感光層を有し、前記感光層における前記（Ａ）成分と前記（Ｃ）成分との重量比〔（Ａ）／（Ｃ）〕が０．０２以上４以下であることを特徴とする平版印刷版原版、並びに、平版印刷版の製造方法。
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