【解決手段】酸不安定基により水酸基が保護された構造を有する繰り返し単位を含有する高分子化合物と、光酸発生剤と、有機溶剤と、フッ素原子を有する繰り返し単位を含有し、かつ水酸基を含有しない高分子添加剤とを含み、高分子添加剤の含有量が全高分子化合物の含有量に対して１〜３０質量％であるレジスト組成物を基板に塗布し、塗布後加熱処理をして作製したレジスト膜を高エネルギー線で露光し、露光後加熱処理を施した後に、有機溶剤を含有する現像液によりレジスト膜の未露光部分を選択的に溶解させるネガ型パターン形成方法。
【効果】本発明のレジスト組成物は、液浸露光可能な高い後退接触角を示すと共に、有機溶剤ネガ現像と組み合わせることで高い解像性、微細トレンチパターンやホールパターンの広い焦点深度を示し、ラインパターン側壁の垂直性を高め、パターン倒れ耐性を向上させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンサイズを必要以上に変動させることなく、レジストパターンのＬＷＲを改善できるレジストパターン改善化材料、レジストパターンの形成方法、及び半導体装置の製造方法の提供。
【解決手段】下記一般式（１）で表される化合物、及び下記一般式（２）で表される化合物の少なくともいずれかと、水とを少なくとも含有するレジストパターン改善化材料である。
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【課題】レジストパターンサイズを必要以上に変動させることなく、レジストパターンのＬＷＲを改善できるレジストパターン改善化材料、レジストパターンの形成方法、及び半導体装置の製造方法の提供。
【解決手段】炭素数４〜１１の直鎖アルカンジオールと、水とを少なくとも含有するレジストパターン改善化材料である。レジストパターンを形成後に、該レジストパターンの表面を覆うように前記レジストパターン改善化材料を塗布する工程を含むレジストパターンの形成方法である。 （もっと読む）

【解決手段】一般式（１）で示されるフッ素アルコール化合物。


（Ｒ¹は水素原子、又は炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状の１価炭化水素基を示し、１価炭化水素基を構成する−ＣＨ₂−が−Ｏ−又は−Ｃ（＝Ｏ）−に置換されていてもよい。Ａａは、炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状の（ｋ¹＋１）価の炭化水素基又はフッ素化炭化水素基である。ｋ¹は１〜３の整数である。）
【効果】本発明のフッ素アルコール化合物は、波長５００ｎｍ以下、特に波長３００ｎｍ以下の放射線に対して優れた透明性を有し、現像特性の良好な感放射線レジスト材料のベース樹脂を製造するための単量体として非常に有用である。 （もっと読む）

【解決手段】式（１）で示される酸不安定基で置換されたカルボキシル基を有する繰り返し単位ａと、ラクトン環を有する繰り返し単位ｂを含有する（メタ）アクリレートポリマーと、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布してレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液として２−ヘプタノンを５０質量％以上含有する溶液による現像を行うパターン形成方法。


（式中、Ｒ2は酸不安定基である。）
【効果】安全にネガティブトーンパターンを形成できるプロセスを構築できる。 （もっと読む）

【課題】水等の液浸露光用液体を介してレジスト膜を露光する液浸露光プロセスに好適に用いられる液浸露光用感放射線性樹脂組成物、硬化パターン形成方法及び硬化パターンを提供する。
【解決手段】本発明の液浸露光用感放射線性樹脂組成物は、式［Ｒ^１_ａＳｉＸ_４−ａ］で表されるシラン化合物、及び式［ＳｉＸ_４］で表されるシラン化合物から選ばれる少なくとも１種を加水分解縮合させて得られる構造を有し、且つＧＰＣによる重量平均分子量が１０００〜２０００００であるケイ素含有重合体と、フッ素含有重合体と、酸発生剤と、溶剤とを含有する〔尚、各式におけるＲ^１はフッ素原子、アルキルカルボニルオキシ基、又は炭素数１〜２０のアルキル基を示し、Ｘは塩素原子、臭素原子又はＯＲ（Ｒ：１価の有機基）を示し、ａは１〜３の整数を示す。〕。 （もっと読む）

【課題】現像欠陥の少ないパターンを形成可能とするパターン形成方法及びレジスト組成物を提供する。
【解決手段】本発明に係るパターン形成方法は、（Ａ）レジスト組成物を用いて膜を形成することと、（Ｂ）前記膜を露光することと、（Ｃ）有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含んでいる。上記レジスト組成物は、酸の作用により分解してアルコール性ヒドロキシ基を生じる基を備えた繰り返し単位を含んだ樹脂と、下記成分（Ｓ１）及び成分（Ｓ２）の少なくとも一方を含んだ溶剤とを含有している。
（Ｓ１）プロピレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート；
（Ｓ２）プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸エステル、酢酸エステル、アルコキシプロピオン酸エステル、鎖状ケトン、環状ケトン、ラクトン、及びアルキレンカーボネートからなる群より選択される少なくとも１つ。 （もっと読む）

【課題】 露光ラチチュード（ＥＬ）及び現像欠陥性能に優れたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るパターン形成方法は、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂（Ａ）と、活性光線又は放射線の照射により下記一般式（ＬＤ）により表される部分構造を備えた酸を発生する化合物（Ｂ）とを含有した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、前記膜を露光することと、前記露光された膜を、濃度が２．３８質量％未満であるテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて現像することとを含んでいる。
【化１】
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【課題】
感度に優れると共に、ＭＥＥＦを良好に維持することが可能な化学増幅型レジストであるフォトレジスト組成物の提供
【解決手段】
下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有し、アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性であり、酸の作用によりアルカリ可溶性となる重合体（Ａ）および感放射線性酸発生剤（Ｂ）を含有するフォトレジスト組成物。
【化１】
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【課題】 フォーカス余裕度（ＤＯＦ）及びラフネス特性に優れ且つブリッジ欠陥及び欠けの少ないパターンを形成可能とするパターン形成方法並びに感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 本発明に係るパターン形成方法は、（Ａ）感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、（Ｂ）前記膜を露光することと、（Ｃ）有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含み、前記組成物は、（ａ）酸の作用により前記現像液に対する溶解度が減少する樹脂であって、酸素原子を含んだ基がエステル結合及び芳香環基の何れも含んでいない２価の連結基又は単結合を介して主鎖と結合している繰り返し単位を備え、前記樹脂に占める前記繰り返し単位の含有率は、前記樹脂中の全繰り返し単位に対して２０ｍｏｌ％乃至１００ｍｏｌ％の範囲内である樹脂と、（ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、（ｄ）溶剤とを含有している。 （もっと読む）

【課題】ＩＣ等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用される、高精度な微細パターンを安定的に形成する方法、該方法に用いられる樹脂組成物、該方法に用いられる現像液及び該方法に用いられるネガ現像用リンス液を提供する。
【解決手段】（ア）基板上に、活性光線又は放射線の照射により、ポジ型現像液に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する、ポジ型レジスト組成物を塗布する工程、（イ）露光工程、及び（エ）ネガ型現像液を用いて現像する工程を含むパターン形成方法、該方法に用いられる多重現像用ポジ型レジスト組成物、該方法に用いられる現像液及び該方法に用いられるネガ現像用リンス液。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れた印刷版を簡便に製造することが可能な印刷版の製造方法、および、印刷版製造用現像剤を提供する。
【解決手段】基板１１上に光導電層１２を設けた感光性原版１０を用意する感光性原版１０用意工程と、前記光導電層１２の表面を帯電させる帯電工程１０１と、帯電させた前記光導電層１２に選択的に光を照射して露光し、前記光導電層の表面に静電潜像を形成する露光工程１０２と、前記光導電層１２表面の前記静電潜像に、エポキシ変性化合物とカチオン型光重合開始剤と樹脂粒子とを含む印刷版製造用現像剤を付与し、前記光導電層表面に前記印刷版製造用現像剤で構成された画像を形成する現像工程１０３４と、形成した前記画像に紫外線を照射し、前記画像を硬化させる硬化工程１０４とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、高いｐＨ値を有する現像液を用いることなく現像処理が可能で、環境負荷が低減され、かつ耐刷性に優れる平版印刷版を与える平版印刷版材料の製版方法を提供することにある。
【解決手段】支持体上に感光層を有する平板印刷版材料をレーザー光源により画像露光を行う画像露光工程および画像露光された平版印刷版材料を現像処理する現像処理工程を有する平版印刷版材料の製版方法であって、該現像処理に用いられる現像液のｐＨが１０．０以下であり、該画像露光工程の画像露光が、平版印刷版材料の版面を７０℃〜１２０℃に加熱しつつ行われ、かつ該画像露光の後に後加熱を行う後加熱工程を有することを特徴とする平版印刷版材料の製版方法。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンで覆われた薄膜トランジスタの特性を劣化させることなく、リソグラフィー直後の形状を維持してレジストパターンを硬化させることが可能は電子機器の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜トランジスタＴｒが設けられた第１基板１上にレジストパターン２４が設けられた電子機器の製造方法であり、薄膜トランジスタＴｒを覆う状態で第１基板上にレジスト膜２２を塗布成膜し、このレジスト膜２２に対して露光および現像処理を行うことによりレジストパターン２４を形成する。次に、レジストパターン２４が形成された第１基板１を乾燥処理する。その後、薄膜トランジスタＴｒのチャネル部ｃｈに対して波長２６０ｎｍよりも短波長の光が照射されることを防止した状態で、乾燥雰囲気下において乾燥処理後のレジストパターン２４に対して紫外線または可視光の少なくとも一方を照射する。次に、レジストパターン２４を熱硬化させる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、ナノパターンを形成する方法、特に、大面積に連続してナノパターンを形成する方法と、ロール状の基板にナノパターンを形成する方法、およびこれによって形成されたパターンを有する基板に関するものである。本発明は、大面積試片と干渉光の光源を互いに相対的に移動させる方法と、ロール状の基板を回転させながら、干渉光の光源と前記ロール状基板との基板の軸方向への相対運動によって露光する方法を利用することにより、ナノパターンを形成するときに求められる広い設備空間、レーザ出力の制限性、およびパターン自由度の制限性などの従来問題を解決したものである。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、導電性に優れ、断面のアスペクト比が高い導電性パターンを形成する方法およびその方法に用いる組成物を提供する。
【解決手段】導電性パターン形成用液状組成物を露光面を有する容器に供給する工程と、導電性パターンが形成される表面を有する基材を前記組成物に浸漬する工程と、露光面と基材の表面との間に所定厚みの組成物層が介在するように基材を配置し、組成物層にマスクを介して露光し、所定パターンの硬化物層を形成する工程と、露光面と形成された硬化物層の表面との間に所定厚みの新たな組成物層が介在するように基材を移動させ、その組成物層にマスクを介して露光し、所定パターンの硬化物層を更に形成する操作を１回以上行い、硬化物層の積層膜を形成する工程と、基材の表面から未硬化の組成物を除去する工程と、積層膜を熱処理する工程とを有する導電性パターンの形成方法およびその方法に用いる導電性パターン形成用組成物。 （もっと読む）

【課題】 高感度と白灯安全性が両立する平版刷版を良好な細線再現性を有する高画質が得られるように露光処理でき、廉価な紫外線領域に感度を持つ平版刷版用の露光装置を提供する。
【解決手段】 アルミニウム支持体上に、支持体側から、（ａ）エチレン性不飽和基を有する重合性化合物、（ｂ）高分子結合剤、及び（ｃ）光重合開始剤を含有し、波長２５０〜４２０ｎｍの範囲に感光性を有する光重合性感光層を有する平版刷版の原板に対して、波長２５０ｎｍ〜４２０ｎｍの範囲内の波長の光を発光する発光ダイオード（ＬＥＤ）又はエレクトロルミネセンス（ＥＬ）素子で構成したＵＶ光源１０を備えた露光ヘッド２８によって、１画素描画時間が１ミリ秒以下で露光する。 （もっと読む）

【課題】印刷版原版を加熱する際に、印刷版原版全体を均一に加熱することができ、効率よく処理を行うことができ、かつ、コンパクトな加熱搬送ユニットおよびこれを用いる製版装置を提供すること。
【解決手段】枚葉シートを搬送する搬送部と、搬送部により搬送される枚葉シートのシート表面に対向した位置に配置された加熱部と、枚葉シートの搬送に応じて加熱部を移動させる加熱部移動手段とを備えることで、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 原板の画像パターンを感光性スクリーンに正確に焼付けることができ、しかも、優れた作業性の得られる真空密着焼付装置の提供。
【解決手段】 内部に露光用光源が配置された筺体と、この筺体に設けられた透光板上に載置される、原板およびスクリーン枠体に感光性スクリーンが張られてなる感光体材料の感光性スクリーンを真空密着させる減圧手段および押圧手段とを備えた真空密着焼付装置であって、押圧手段は、前記スクリーン枠体内に収容されて、感光性スクリーンにおける有効領域を囲むよう当該感光性スクリーンに当接されて配置されるシール部材と、このシール部材の中央開口を覆うよう設けられた可変形性を有するシート体とにより構成され、押圧手段および感光性スクリーンによって囲まれる密閉空間内が減圧されることにより感光性スクリーンと原板とが真空密着される。 （もっと読む）

【課題】ベースフィルムに感光性樹脂シート片を点在状に配設することにより、感光性樹脂および現像液の使用量を大幅に削減した印刷用樹脂凸版の製造方法において、作業の簡易化および高効率化を図る。
【解決手段】前記所望の印刷イメージを配置デジタル情報として取得し、この配置デジタル情報に基づき、前記印刷凸部を形成するに必要な複数の最適領域を前記印刷イメージの各ブロックとして算定し、前記感光性樹脂シートから各ブロックの最適領域に対応する感光性樹脂シート片を裁断し、前記各ブロックの最適領域の位置情報に基づき、前記各感光性樹脂シート片の前記ベースフィルム表面への設置位置を該ベースフィルム表面にマーキングし、各配置位置マーク上に該各配置位置マークに対応する前記各感光性樹脂シート片を配設する。 （もっと読む）