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Fターム[2H096GA45]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 現像 (4,506) | 乾式現像 (159) | 露光による直接除去 (71)

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【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される新規なフォトレジスト用化合物、上記のフォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記のフォトレジスト液を使用して所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】下記一般式(A)で表される化合物。


[一般式(A)中、X1およびX2は、酸素原子、等を表し、mおよびnは0〜3の範囲の整数を表し、R1〜R3は水素原子または置換基を表し、L1およびL2は二価の連結基を表す。] (もっと読む)


【課題】ヒートモードの形状変化が可能なフォトレジスト層をレーザ光で除去して凹部を形成する場合において、レーザ光のフォーカスを安定させ、良好に加工を行う。
【解決手段】表面にヒートモードによる形状変化が可能なフォトレジスト層20を有する基板10を用意する準備工程と、フォトレジスト層20にレーザ光を照射してフォトレジスト層20の一部を除去する露光工程と、を有するパターン形成体の製造方法である。露光工程におけるレーザ光として、フォトレジスト層20の表面において反射した反射光をA、フォトレジスト層20を介してフォトレジスト層20と基板10との界面において反射した反射光をA′、フォトレジスト層20が除去された基板10の表面部分において反射した反射光をBとしたとき、AとBの位相差またはA′とBの位相差が±90°以内となるような波長のレーザ光を用いる。 (もっと読む)


【課題】テンプレートを用いる複合印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、テンプレートを用いて感光性エレメントとキャリヤーとから複合印刷版を作製する方法に関する。感光性エレメントは、テンプレート中の切抜き部分を介してエレメントを定置することによりキャリヤー上に位置決めされる。本方法は、凸版印刷用の複合印刷版の作製、特定的には、段ボール基材にフレキソ印刷するための複合印刷版の作製にとくに適する。 (もっと読む)


【課題】
薄膜でありながら高い遮光性と耐傷性を有する感熱マスク層を持つ感光性フレキソ印刷原版を提供する。
【解決手段】
少なくとも(A)支持体、(B)感光性樹脂層、(C)保護層、(D)感熱マスク層が順次積層されてなる感光性フレキソ印刷原版であって、(D)感熱マスク層が、カーボンブラックと、その分散バインダーとしてブチラール樹脂及び極性基含有ポリアミドとを含有することを特徴とする感光性フレキソ印刷原版。 (もっと読む)


【課題】原画フィルムを必要としないでシャープな凸状のレリーフ像を形成することが可能で、印刷品位の優れた水現像可能なフレキソ印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも、順次、支持体、親水性重合体を含有する感光層、マスク層を有する感光性印刷版原版において、画像マスクを通して、波長310nm〜400nmの紫外光で露光、波長200nm〜300nmの紫外光で露光、現像をこの順で行うことを特徴とする感光性印刷版の製造方法。 (もっと読む)


【課題】ヒートモード型のフォトレジスト層に凹部または低耐久性部を形成する際に発生する異物を除去しながら凹部または低耐久性部を形成することができるパターン形成方法と、この方法を用いた凹凸製品の製造方法、発光素子の製造方法および光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ヒートモードの形状変化が可能なフォトレジスト層12に、集光した光を照射することで複数の凹部15を形成するパターン形成方法であって、フォトレジスト層12に対して不活性な気体である空気を吹き付けて、フォトレジスト層12上で移動させながら光を照射して凹部15を形成する。 (もっと読む)


【課題】レーザー光を使用することなく、短時間で高コントラストの親水・撥水パターンを形成することが可能であり、かつ保管容易性が高い印刷原版、その印刷原版を用いた印刷版の製造方法、及び印刷版を印刷原版へと再生する印刷版の再生方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る印刷原版は、酸化ジルコニウムを含有する光触媒層、及び撥水性層を備える。この印刷原版から印刷版を製造する際には、印刷原版の撥水性層に選択的に活性光を照射する。 (もっと読む)


【課題】光触媒の作用により親水・撥水パターンを形成可能な平版印刷原版であって、親水性部分と撥水性部分とが十分なコントラストを有し、非画線部に印刷インキの付着する地汚れを抑える平版印刷原版を提供する。
【解決手段】基材上に、光触媒含有層と、撥水性薄膜層と、を順次積層した平版印刷原版であって、前記光触媒含有層は、100cmあたり0.5mg以上5.0mg以下の酸化チタンを含有する平版印刷原版である。これによれば、活性線を照射して、撥水性薄膜層を選択的に除去すると共に当該部分を親水化することにより、撥水性部分と親水性部分とが、十分なコントラストを有し、非画線部の印刷インキの付着する地汚れを抑えることができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、フォトレジストの膜厚を略均一にすることで、良好なパターン形状を円筒状の外表面に形成することができる円筒外表面の加工方法およびパターンシートの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ワーク3の円筒状の外表面3aに凹凸パターンを形成する円筒外表面の加工方法であって、液槽2内の塗布液1中にワーク3を浸漬させる浸漬工程と、ワーク3を中心軸CA回りに回転させながら引き上げる取出工程と、ワーク3の外表面3aに塗布された塗布液1を乾燥させてフォトレジスト層5を形成する乾燥工程と、フォトレジスト層5に光を照射することで凹部パターンを形成する光照射工程とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される、新規なフォトレジスト用化合物、上記フォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記フォトレジスト液を使用して、所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】下記一般式(I)で表される化合物であるフォトレジスト用化合物。前記フォトレジスト用化合物を含むフォトレジスト液。前記フォトレジスト液を使用する被加工表面のエッチング方法。


一般式(I)中、R1およびR2は、それぞれ独立に、ハメットの置換基定数σpが0.2〜0.9の範囲の置換基を表し、R3は水素原子または一価の置換基を表し、Φは置換または無置換のアリール基または芳香族ヘテロ環基を表し、R1、R2、R3およびΦのうちの何れか二つ以上が互いに結合して環を形成していてもよい。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される、新規なフォトレジスト用化合物、上記フォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記フォトレジスト液を使用して、所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】アゾ化合物または該化合物と金属イオンとの錯体化合物であるフォトレジスト用化合物。前記フォトレジスト用化合物を含むフォトレジスト液。前記フォトレジスト液を使用する被加工表面のエッチング方法。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される、新規なフォトレジスト用化合物、上記フォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記フォトレジスト液を使用して、所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】フタロシアニン色素骨格を有するフォトレジスト用化合物。前記フォトレジスト用化合物を含むフォトレジスト液。前記フォトレジスト液を使用する被加工表面のエッチング方法。 (もっと読む)


【課題】彫刻感度が高く、レーザー彫刻により直接製版が可能なレーザー彫刻用レリーフ印刷版原版、及び該レリーフ印刷版原版を用いたレリーフ印刷版の製造方法、並びにそれにより得られたレリーフ印刷版を提供すること。
【解決手段】(A)下記一般式(I)で表される部分構造及び下記一般式(II)で表される部分構造の少なくとも1種を有するバインダーポリマーを少なくとも含有するレーザー彫刻用樹脂組成物である。Qは、−Q−Hとなったときの酸解離定数(pKa)が0以上20以下である部分構造を表し、R〜Rはそれぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、A及びBはそれぞれ独立に2価の有機連結基を表す。
(もっと読む)


【課題】新規なフォトレジスト用化合物、前記化合物を用いたフォトレジスト液、当該フォトレジスト液を使用するエッチング方法の提供。
【解決手段】下記一般式(I)または(II)で表される化合物であるフォトレジスト用化合物。前記化合物を含むフォトレジスト液。当該レジスト液を使用するエッチング方法。


X1およびX2は、それぞれ独立にO、S、SO2またはNRを表し、RはHまたは置換基を表し、Y1およびY2は、それぞれ独立にO、SまたはCL1L2を表し、L1およびL2は、それぞれ独立に置換基を表し、R1、〜R8は、Hまたは置換基を表す。 (もっと読む)


【課題】彫刻感度が高く、レーザー彫刻により直接製版が可能なレーザー彫刻用レリーフ印刷版原版、及び該レリーフ印刷版原版を用いたレリーフ印刷板の製造方法、並びにそれにより得られたレリーフ印刷板を提供すること。
【解決手段】(A)アセチレン化合物、及び(B)バインダーポリマーを少なくとも含有するレーザー彫刻用樹脂組成物、それを用いたレーザー彫刻用レリーフ印刷版原版、レリーフ印刷版及びレリーフ印刷版の製造方法。 (もっと読む)


【課題】カバーフィルムを剥がす際に感熱マスク層に破れやキズを生じない高品位な樹脂凸版印刷版を作製できるコンピューター製版可能な感光性樹脂印刷版原版を提供することにある。
【解決手段】基板上に、水に溶解または分散可能な樹脂および紫外光により硬化可能なモノマーを含有する感光性樹脂層(A)、接着力調整層(B)、および赤外線吸収物質を含有する感熱マスク層(C)がこの順に積層された感光性樹脂印刷原版であって、該接着力調整層(B)が少なくともアミン化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂印刷版原版による。 (もっと読む)


【課題】光による硬化が可能であり、近赤外線レーザー光で彫刻することが可能であり、高精細な彫刻が可能な印刷原版を実現し得るレーザー彫刻用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】以下の(a)〜(c)の各成分、
(a)数平均分子量が1000〜20万の高分子化合物、
(b)分子量が1000未満であり、重合性不飽和基を有する有機化合物、
(c)平均1次粒径が20nmより大きく、80nm未満であり、且つDBP吸油量が60mL/100g〜150mL/100gであるカーボンブラック、
を含むことを特徴とするレーザー彫刻用感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】後染色工程を必要とせずに検版が可能であり、明室での取り扱いが可能で、シリコーンゴム層中での色素定着性に優れ、且つ高感度な水なし平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】基板上に、感光層または感熱層、および有色顔料を含むシリコーンゴム層を有する水なし平版印刷版原版であって、前記有色顔料のシリコーンゴム層中における体積濃度が5体積%以下であり、かつ有色顔料の平均粒子径が400nm以下であることを特徴とする水なし平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】高精細なパターンを形成すること、かつ簡便な工程で形成が可能である導電性パターンの製造方法を提供する。
【解決手段】基材1と、基材上にパターン状に形成された光触媒含有層2とを有する光触媒含有層側基板3と、光触媒含有層中の光触媒の作用により特性が変化する特性変化層5を有するパターン形成体用基板6とを、所定の方向からエネルギーを照射することにより、特性変化層表面に特性の変化した特性変化パターンを形成する特性変化パターン形成工程と、前記特性変化パターンが形成されたパターン形成体用基板表面に、金属ペーストを塗布することにより、パターン状に金属ペーストを付着させる金属ペースト塗布工程と、前記特性変化パターンにパターン状に付着した金属ペーストを固化させて導電性パターンとする導電性パターン形成工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】高精度で電子写真感光体の感光層を製造する方法を提供する。
【解決手段】フレキソ印刷版上の電子写真感光体の感光層を形成するインクを被印刷基板上に転写し、転写されたインク中の溶剤を乾燥除去して、又は転写されたインクに光を照射して硬化させて、被印刷基板上に電子写真感光体の感光層を形成するインクを固定化することによって電子写真感光体の感光層を製造する方法であって、特定構造の繰り返し単位からなり、両末端基が水酸基であり、かつ数平均分子量が300〜50,000であるポリカーボネートジオールから製造されるポリマーを含有する樹脂組成物を硬化して得られるフレキソ印刷版を用いて電子写真感光体の感光層を形成するインクを被印刷基板上に転写する。 (もっと読む)


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