【課題】 良好なパターンを形成することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体装置１００の製造方法は、準備工程Ｓ１と、第１層形成工程Ｓ２と、第２層形成工程Ｓ３と、連通孔形成工程Ｓ４と、塗布工程Ｓ１０５とを備える。準備工程Ｓ１では、半導体基板３が準備される。第１層形成工程Ｓ２では、半導体基板３の上に第１層１０が空洞部分１１を囲むように形成される。第２層形成工程Ｓ３では、第１層１０及び空洞部分１１の上に第２層２０が形成される。連通孔形成工程Ｓ４では、第２層２０において空洞部分１１の上に位置する部分の一部が開口されて、複数の連通孔４０ａ，・・・が形成される。連通孔４０ａ，・・・は、第２層２０の上の空間と空洞部分１１とを連通する。塗布工程Ｓ１０５では、複数の連通孔４０ａ，・・・を埋めるように、第２層２０の上に第１レジスト１５０が塗布される。第１レジスト１５０は、第１材質を主成分とする。第１材質は、ノボラック系樹脂よりも弾性係数が大きい。 （もっと読む）

【課題】Ｃｕ量が少ないアルミニウム合金板から得た平版印刷版用支持体であって、フォトポリマータイプの感光層を設けた場合にも、ハイライト領域において網点サイズが小さくなったり、耐刷性に劣ったりする問題が生じにくい平版印刷版用支持体の提供。
【解決手段】アルミニウム合金板に、硝酸を含有する水溶液中での交流を用いた電気化学的粗面化処理を含む表面処理を施して得られる平版印刷版用支持体であって、前記アルミニウム合金板におけるＣｕの含有量が５０ｐｐｍ以下であり、前記電気化学的粗面化処理により形成されたピットの平均ピット径が１．１〜１．４μｍであり、原子間力顕微鏡を用いて求められる実面積Ｓ_xと、幾何学的測定面積Ｓ₀とから、下記式（１）により求められる表面積差ΔＳが４０％以上である、平版印刷版用支持体。
ΔＳ＝（Ｓ_x−Ｓ₀）／Ｓ₀×１００（％） （１） （もっと読む）

【課題】耐刷性に優れたプラスチック支持体を用いた機上現像タイプの平版印刷版材料及び画像形成方法を提供する。
【解決手段】プラスチック支持体上に下引き層、親水性層、画像形成層を順次設け、印刷機上で現像することで最終的な画像形成を行う平版印刷版材料であり、かつ、該親水性層に側鎖にシラノール基を有する水溶性樹脂が導入されていることを特徴とする平版印刷版材料及び画像形成方法。 （もっと読む）

【課題】ＰＳ版やアルミＣＴＰ版同等の印刷適正を有し、且つ、非画線部の耐キズ性に優れた平版印刷版材料の提供。
【解決手段】プラスチック支持体上に親水性層と画像形成層を順じ積層する平版印刷版材料において、該親水性層の空隙率が２０〜４０％、かつ親水性層の中心線平均粗さＲａ値が０．５〜２μｍであることを特徴とする平版印刷版材料。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、発光波長が３５０ｎｍから４５０ｎｍの範囲にあるレーザー光での露光に適し、高感度であり、耐刷性に優れかつセーフライト性に優れる感光性平版印刷版材料を提供することにある。
【解決手段】支持体上に（Ａ）光重合開始剤、（Ｂ）重合可能な、エチレン性二重結合含有化合物、（Ｃ）増感色素、および（Ｄ）高分子結合材を含有する感光層を有する感光性平版印刷版材料において、該感光層が（Ａ）光重合開始剤としてビイミダゾール化合物を含有し、（Ｃ）増感色素として（１）蛍光寿命が１．９０ナノ秒以上であり、（２）酸化電位が１．００Ｖ以下であり、（３）一重項励起エネルギーが２．８０ｅＶ以上であるクマリン誘導体を含有することを特徴とする感光性平版印刷版材料。 （もっと読む）

【課題】高感度で、セーフライト適性に優れた平版印刷版原版をｐＨ２．０〜１０．０の水性現像液で現像する製版方法を提供する。
【解決手段】親水性支持体上に、（Ａ）３５０〜４５０ｎｍの波長域に極大吸収を有する増感色素、（Ｂ）ボレート化合物、（Ｃ）重合性化合物、および（Ｄ）酸価が０．３ｍｅｑ／ｇ以下である疎水性バインダーポリマーを含有する感光層と、保護層とをこの順に有する平版印刷版原版を、３５０〜４５０ｎｍのレーザー露光した後、擦り部材を備えた自動処理機により、ｐＨが２〜１０の現像液の存在下、擦り部材で版面を擦ることにより、保護層および非露光部の感光層を除去することを特徴とする平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】感光層の感度低下を効果的に抑制でき、高感度な感光層が得られ、かつ基体に対して凹凸追従性に優れ、より高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体上に、クッション層と感光層とをこの順に有するパターン形成材料において、該感光層が、増感剤として蛍光増白剤を含み、かつ、該感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが０．１〜５０ｍＪ／ｃｍ^２であることを特徴とするパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置、及び該パターン形成材料を用いて露光するパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び増感剤を少なくとも含む感光性組成物を用いて形成された感光層を有し、該感光層を露光し現像する場合に、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、０．１〜５０ｍＪ／ｃｍ^２であり、前記光重合開始剤が芳香族オニウム塩を含み、前記増感剤が、縮環系化合物、並びに少なくとも２つの芳香族炭化水素環及び芳香族複素環のいずれかで置換されたアミン系化合物から選択される少なくとも１種を含むことを特徴とするパターン形成材料、及び該パターン形成材料を用いるパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】インキを基材に印刷し溶媒を蒸発させた後にタックを有さず、活性エネルギー線に対する感応性に優れ、希アルカリ水溶液による現像によりパターン形成できると共に、後硬化工程として熱硬化させて得られる硬化膜が十分なフレキシブル性を有し、高いレベルでの長期絶縁信頼性を有し、密着性、無電解金メッキ耐性、無電解スズメッキ耐性に優れたソルダーレジストインキ組成物及び該組成物を硬化してなる硬化物（ソルダーレジスト）を提供すること。
【解決手段】カルボキシル基含有ラジカル重合性化合物、脂環構造を有しかつエポキシ基を２個以上有する４０℃で固体である化合物及び有機溶媒を必須成分とする組成物を用いることにより、上記課題を解決できるソルダーレジストインキ組成物及び硬化物（ソルダーレジスト）を得る。 （もっと読む）

【課題】 表示欠陥、表示ムラを十分に防止し、高品位な画像を表示することができる液晶表示装置の製造が可能な感光性フィルム、感光性樹脂組成物、及び液晶スペーサーの製造方法を提供する。
【解決手段】 対向して配設された２枚の基板及びこれら２枚の基板の間に液晶が封入された液晶層を備える液晶表示装置において液晶層の厚さを一定に保つために２枚の基板の間に配設される液晶スペーサーを形成するために用いられる感光性フィルムであって、（１）支持体フィルム２４と、（２）感光性樹脂組成物からなる感光層２２と、（３）膜厚が２０μｍ以上である保護フィルム２５とをこの順に積層してなり、四角錐形状のビッカース圧子を用いて室温で荷重０．０２Ｎを加えたときの押込み変形量が、支持体フィルム２４は６μｍ以下であり、保護フィルム２５は６μｍ以上である感光性フィルム。 （もっと読む）

【課題】原画フィルムを必要としないで凸状のレリーフ像を形成することが可能で、取扱い上で感熱マスク層を傷つけることなく、またレーザー照射による画像マスクの形成が容易な感光性樹脂印刷版原版、およびそれを用いた樹脂凸版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、水またはアルコールに溶解または分散可能な樹脂および紫外光により硬化可能なモノマーを含有する感光性樹脂層（Ａ）、赤外線吸収物質を含有する感熱マスク層（Ｃ）、剥離補助層（Ｄ）および保護層（Ｅ）をこの順に有する感光性樹脂印刷版原版であって、該剥離補助層（Ｄ）の膜厚が０．３μｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】原画フィルムを必要としないで凸状のレリーフ像を形成することが可能な、取扱性に優れた感光性樹脂印刷版原版とその製版方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、少なくとも感光性樹脂層（Ａ）、描画された感熱マスク層（Ｂ’）、保護層（Ｃ）をこの順に有することを特徴とする描画済感光性樹脂凸版原版。 （もっと読む）

【課題】青紫色レーザ露光システム中において、高感度で、表面タック性が小さく、剥離性、基板への密着性、保存安定性に優れ、現像後に優れた絶縁性、耐熱性、耐薬品性、表面硬度などを有する硬化膜が得られる感光性ソルダーレジスト組成物及びこれを用いた感光性ソルダーレジストフイルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性光架橋性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、熱架橋剤、熱硬化促進剤及び着色剤を含有してなる感光性ソルダーレジスト組成物であって、更に、酸価が９０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇで、質量平均分子量が３０，０００〜８０，０００である（メタ）アクリルアミド共重合体（ただし、置換基に自己縮合性基を持つものを除く）を前記アルカリ可溶性光架橋性樹脂の１０〜５０質量％含有する感光性ソルダーレジスト組成物、これを用いた感光性フイルム、永久パターン及びその形成方法。 （もっと読む）

【課題】高感度で、経時での感度や溶出性が低下することなく保存安定性が良好で、耐刷性にも優れたネガ型感光性平版印刷版を提供する。
【解決手段】アルミニウム支持体上に、光または熱によりラジカルを発生する化合物と重合性化合物とを含有する光重合性感光層とｐＨ７〜１２に調整された酸素遮断層を有することを特徴とするネガ型感光性平版印刷版。 （もっと読む）

【課題】耐刷性、耐汚れ性、耐クリーナー性、網点非画像部の耐汚れ性（絡みの防止）およびシャイニーに優れる平版印刷版原版が得られる平版印刷版用支持体の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム板に、少なくとも、ブラシと研磨剤を含有するスラリー液とを用いて平均表面粗さＲ_aが０．２５〜０．４２μｍとなるように粗面化を施す機械的粗面化処理と、硝酸を１１．０〜２０．０ｇ／Ｌ、アルミニウムイオンを２．０〜１０．０ｇ／Ｌ含有する、液温４０〜６０℃の水溶液中で交流電流を用いて粗面化を施す電気化学的粗面化処理と、アルカリ水溶液中でエッチングを施すアルカリエッチング処理とをこの順に施して、平版印刷版用支持体を得る、平版印刷版用支持体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】描画タクト時間が短く、描画パターンの形状に優れるカラーフィルタ、及びその製造方法、並びに該カラーフィルタの製造に用いられるカラーフィルタ用感光性組成物を提供する。
【解決手段】少なくともバインダー、モノマーまたはオリゴマー、及び光重合開始剤または光重合開始系を含み、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査して露光することで２次元画像の形成を行う露光に用いられるカラーフィルタ用感光性組成物であって、露光、現像したときの、現像後の膜厚が、前記露光後現像前の膜厚に対して±１０％以内となるときの露光量が３ｍＪ／ｃｍ^２以上５０ｍＪ／ｃｍ^２以下であることを特徴とするカラーフィルタ用感光性組成物、それを用いたカラーフィルタの製造方法、及び該製造方法により製造されたカラーフィルタ。 （もっと読む）

【課題】同一基板内に形成された複数ショットのカラーフィルタを検査することにより共通欠陥を認識し、共通欠陥発生場所と同位置の露光マスクの状態を確認しながらフィルタの形成を行うカラーフィルタ基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくともパターン露光、現像等のパターニング処理を行ってブラックマトリクスを形成するラックマトリクス形成工程と、複数の着色パターンを形成する着色フィルタ形成工程と、透明電極形成工程と、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って柱状スペーサを形成する柱状スペーサ形成工程とを有し、各種パターンを形成した後に欠陥検査をインラインで実施し、同一基板内に形成された複数ショットカラーフィルタ間のカラーフィルタを検査することにより共通欠陥を認識し、共通欠陥発生場所と同位置の露光マスクの状態を確認しながらカラーフィルタの形成を行う。 （もっと読む）

【課題】経時安定性の良い感光性材料の製造法を提供する。
【解決手段】側鎖にビニル基が置換したフェニル基を有する重合体、光ラジカル発生剤、可視光から赤外光の波長領域に吸収を有し前記光ラジカル発生剤を増感させる増感剤を少なくも含有する感光性組成物を支持体に塗布するに当たり、該感光性組成物の溶媒が少なくとも２種の溶媒を含有し、該溶媒の水／オクタノール分配係数（ＬｏｇＰ）の差が１以下である感光性材料の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 高感度と白灯安全性が両立する平版刷版を良好な細線再現性を有する高画質が得られるように露光処理でき、廉価な紫外線領域に感度を持つ平版刷版用の露光装置を提供する。
【解決手段】 アルミニウム支持体上に、支持体側から、（ａ）エチレン性不飽和基を有する重合性化合物、（ｂ）高分子結合剤、及び（ｃ）光重合開始剤を含有し、波長２５０〜４２０ｎｍの範囲に感光性を有する光重合性感光層を有する平版刷版の原板に対して、波長２５０ｎｍ〜４２０ｎｍの範囲内の波長の光を発光する発光ダイオード（ＬＥＤ）又はエレクトロルミネセンス（ＥＬ）素子で構成したＵＶ光源１０を備えた露光ヘッド２８によって、１画素描画時間が１ミリ秒以下で露光する。 （もっと読む）

【課題】 保存安定性に優れ、高感度、かつ高解像度であり、テント性、パターン形状及び現像性に優れ、エッチング時の剥離性が良好で、高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有し、該感光層がバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び重合禁止剤を少なくとも含んでなり、該重合禁止剤が、Ａ）フェノール性水酸基を有する化合物と、Ｂ）フェノール基を有さない化合物とを含み、その質量比Ａ／Ｂが０．０１〜１００であることを特徴とするパターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成材料及び方法である。重合禁止剤中のフェノール基を有さない化合物が、イミノ基を有する化合物である態様、重合禁止剤の含有量が、６５〜３００ｐｐｍである態様が好ましい。 （もっと読む）